提出了一种与传统SOI(silicon on insulator)MMI-MZI光开关结构完全不同的新型结构——完全基于封闭多模波导的MMI-MZI光开关.这种新型结构放弃了传统MZI开关器件中单模传输的要求,采用多模传输,解决了传统脊形单模波导带来的很多设计...
详细信息
提出了一种与传统SOI(silicon on insulator)MMI-MZI光开关结构完全不同的新型结构——完全基于封闭多模波导的MMI-MZI光开关.这种新型结构放弃了传统MZI开关器件中单模传输的要求,采用多模传输,解决了传统脊形单模波导带来的很多设计和制作工艺困难,比如脊形波导比较难以分析,波导刻蚀深度难以控制,器件长度过大,不利于集成等.结构的简化使光开关制作过程大大简化,工艺要求得到有效的降低.
暂无评论