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空心阴极放电的蒙特卡罗模拟研究
空心阴极放电的蒙特卡罗模拟研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 何锋 姜鑫先 何寿杰 欧阳吉庭 北京理工大学 物理学院 河北大学 物理科学与技术学院
引言空心阴极放电具有维持电压低、高电流密度、高离子密度等特点,在光源、光谱分析、航天推力器等领域都获得了应用。空心阴极还可以在低气压射频放电中提高等离子体的密度,增加薄膜沉积或材料表面处理的速度。小尺寸的空心阴极放电也... 详细信息
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射频感应耦合等离子体的模式跳变及偏压效应的实验研究
射频感应耦合等离子体的模式跳变及偏压效应的实验研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 高飞 刘巍 张钰如 赵书霞 李雪春 王友年 大连理工大学 物理与光电工程学院
引言射频感应耦合等离子体源(ICP)具有等离子体密度高(10-10cm)、工作气压低(0.1-100 mTorr)、独立的控制离子能量和等离子体密度及装置结构简单等优点,从而被广泛地应用于等离子体辅助加工领域,尤其是应用于半导体芯片刻蚀工艺。... 详细信息
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大气压介质阻挡放电还原负载型金属离子的机理研究
大气压介质阻挡放电还原负载型金属离子的机理研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 底兰波 徐志坚 亓滨 王凯 张丽娟 张秀玲 大连大学 物理科学与技术学院
等离子体种非热力学平衡等离子体,在室温下就可以实现催化剂的分解、还原、再生和改性。与传统制备方法相比,冷等离子体种环境友好型制备方法,无污染、可以降低能耗、缩短催化剂制备周期,同时可以明显提高催化剂的活性、选择... 详细信息
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螺旋波等离子体源诊断及其特性
螺旋波等离子体源诊断及其特性
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 赵高 马超 宋相娟 刘忠伟 陈强 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室
个螺旋波等离子体源被用于等离子体性能的研究。我们使用了朗缪尔静电探针,OES和ICCD为诊断手段研究螺旋波的性质。通过对放电气压和功率,外加磁场的控制在不同模式下测量等离子体的密度及电子温度的变化来确保螺旋波放电模式。结果为... 详细信息
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催化剂辅助大气压DBD等离子体降解有机染料的研究
催化剂辅助大气压DBD等离子体降解有机染料的研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 黄俊 陈光良 郑旭 陈致力 司晓雷 薛飞 浙江理工大学 先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室 浙江理工大学 生态染整技术教育部工程研究中心
引言利用产生高活性自由基降解有机染料是种高级氧化技术。根据产生自由基的方式和反应条件的不同可分为湿式空气氧化法、超临界水氧化法、光化学氧化法、低温等离子体氧化法等。为了探讨等离子体降解有机染料的机理,本次研究利用DBD... 详细信息
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等离子体的真空紫外线与植物种子中生物大分子的作用效应与机制
冷等离子体的真空紫外线与植物种子中生物大分子的作用效应与机制
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 邵汉良
2005年我们首次揭示了个极其有意义的发现:冷等离子体能对作物种子产生积极的生物学作用,使种子的生理活性大大增强,具体表现在潜在抗逆基因得到表达,提高了作物的生长活力和抗逆性能,增加作物产量和改善产品品质。其作用机理是,冷等... 详细信息
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脉冲放电等离子体参数的高时间分辨静电探针诊断技术
脉冲放电等离子体参数的高时间分辨静电探针诊断技术
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 张文兰 陆文琪 大连理工大学 物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室
引言目前,脉冲放电等离子体在工业生产和实验室研究中正在获得越来越多的应用。与稳态放电等离子体相比,磁控溅射沉积工艺中使用脉冲放电能够抑制弧光放电、靶中毒、阳极消失等问题,并显著提高沉积速率;刻蚀过程使用脉冲调制的射频放电... 详细信息
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大气压冷等离子体制备贵金属修饰二氧化钛光催化剂的研究
大气压冷等离子体制备贵金属修饰二氧化钛光催化剂的研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 张秀玲 亓滨 徐志坚 王凯 张丽娟 底兰波 大连大学 物理科学与技术学院
等离子体技术在负载型金属催化剂制备中的应用常见报道。冷等离子体制备的负载型金属催化剂具有高的金属分散性,独特的金属粒子结构、形貌,以及金属-载体相互作用强等特点,是等离子体化学与应用领域的研究热点之。但其通常在低气压... 详细信息
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表面电势分布对SDBD气流加速作用的实验研究
表面电势分布对SDBD气流加速作用的实验研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 闫慧杰 杨亮 任春生 大连理工大学 物理与光电工程学院
引言流动控制在航空领域有很大的作用,可以减少飞行器飞行阻力,减少噪音,提高升阻比,使飞行器更加快速平稳高效地运行。沿面介质阻挡放电(SurfaceDielectricBarrier Discharge,SDBD)等离子体流动控制技术相对于以往的机械结构来说有很... 详细信息
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脉冲介质阻挡放电脱除N2/NO体系中氮氧化物的模拟研究
脉冲介质阻挡放电脱除N2/NO体系中氮氧化物的模拟研究
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
作者: 王艳辉 张瑞丽 孙继忠 张建红 王德真 大连理工大学 物理与光电工程学院
氮氧化物(NO)是大气主要污染物之,在脱除NO的诸多技术中,低温等离子体脱销是最具竞争力的种脱硝技术,尤其是脉冲介质阻挡放电(DBD),由于其能量传输效率高,并能产生更多的活性粒子,被认为是目前最具发展前景的脱硝方法。本文采用流...
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