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ECR-MOPECVD低温沉积GaN薄膜的研究
ECR-MOPECVD低温沉积GaN薄膜的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 陈俊芳 李炜 郭超峰 王燕 薛永奇 华南师范大学物理与电信工程学院
宽禁带直接带隙GaN蓝光薄膜材料,具有高亮度、低能耗,GaN材料激发的蓝光辐射和红光、绿光一起构成白光三基色,在平板显示、光存储、蓝光激光器和功率晶体管等光电子领域发挥广泛的应用。
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大气压下氮气介质阻挡微放电中振动温度时间分辨的研究
大气压下氮气介质阻挡微放电中振动温度时间分辨的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 刘鑫 徐勇 王毕艺 李建峰 光电系统信息控制技术国家级重点实验室 大连理工大学等离子体物理化学实验室
我们利用发射光谱法,使用针-板式电极装置,在大气压氮气介质阻挡微放电中,首次对氮分子第二正带系（CП→BП）发射光谱的时间分辨谱线进行分析,根据振动带序发射光谱强度计算得出N（C,v）振动温度,并研究了压强及放电电压对氮分子（C... 详细信息
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受非均匀磁场约束的大气环境电子束等离子体特性研究
受非均匀磁场约束的大气环境电子束等离子体特性研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 邓永锋 韩先伟 谭畅 陕西动力机械设计研究所
由于大气环境电子束等离子体在材料表面改性、气体净化、飞行器进气道控制及等离子体辅助燃烧方面的独特优势,近年来其受到了越来越多的国内外学者的重视。为了揭示大气环境中电子束等离子体的性质,基于蒙特卡罗程序包Geant4,本文建立... 详细信息
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电弧等离子体窗隔绝真空效果研究
电弧等离子体窗隔绝真空效果研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 耿松 罗辰 陈志鹏 李斌 王慧慧 刘万东 中国科学技术大学
本文介绍了电弧等离子体窗隔绝真空系统,此系统可以作为大气-真空隔绝层保持真空,阻碍空气分子进入真空,但不妨碍电子、质子等粒子由真空经电弧等离子体窗通道发射到大气中。文中对此系统的结构、工作原理做了分析陈述,系统研究了此装... 详细信息
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质子束在等离子体中传输的PIC模拟
质子束在等离子体中传输的PIC模拟
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 周东方 马燕云 田成林 陈湛 邵福球 国防科学技术大学理学院物理系
本文利用2D3V PIC程序PLASIM研究了质子束在等离子体中的传输特性,提出了使质子束通过优化密度分布的等离子体实现其稳定传输的方法,模拟结果显示,我们的方案可以明显改善质子束的空间传输特性。我们首先研究了密度为双向高斯分布
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纳秒激光预脉冲在低密度等离子体中形成通道的PIC模拟
纳秒激光预脉冲在低密度等离子体中形成通道的PIC模拟
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 陈湛 马燕云 邵福球 周东方 银燕 欧阳建明 国防科学技术大学理学院物理系
在许多涉及激光等离子体相互作用的研究中,物理结果对等离子体的密度非常敏感,例如,在激光尾波场加速中,加速电子束的能量和品质对等离子体的密度非常敏感。然而,对于目前广泛使用的超短超强激光器,主脉冲峰值强度可以高达10W/cm,对
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感应耦合等离子体技术低温制备纳米晶相氮化硅粉体材料
感应耦合等离子体技术低温制备纳米晶相氮化硅粉体材料
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 赵文锋 陈俊芳 孟然 王燕 薛永琪 华南师范大学 广东省高等学校物理与电信工程学院 量子信息技术重点实验室 华南农业大学 工程学院
纳米晶体氮化硅粉体材料具有优良的应用前景,采用硅烷和氮气为反应气体在感应耦合等离子体CVD系统中合成了氮化硅纳米粉体材料。利用朗缪尔静电单探针诊断了反应室内的等离子体密度分布。氮化硅纳米粉体材料的TEM、IR和XRD分析表明:在... 详细信息
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大面积均匀矩形表面波等离子体源的实验研究
大面积均匀矩形表面波等离子体源的实验研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 刘明海 陈兆权 唐亮 胡鹏 江中和 胡希伟 菅井秀郎 华中科技大学电气与电子工程学院 名古屋大学工学部电气研究科
近年来,作为新一代的表面波等离子体源在刻蚀,薄膜制备、材料表面改性等微电子工业中的应用引起了广泛的研究,目前的主要焦点是大面积均匀且放电高效稳定。本文介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,采用商业软件(MAFIA、CST)结... 详细信息
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容性耦合等离子体电子加热模式分析
容性耦合等离子体电子加热模式分析
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 姜巍 王虹宇 赵书霞 王友年 大连理工大学物理与光电工程学院
低温等离子体的加热机制通常可以分为四种:欧姆加热,随即加热,波-粒子相互作用的共振加热和二次电子加热。不同参数的不同装置起主导作用的加热机制不同,改变外界参数(如电源电压,气压等)参数时,加热机制会发生显著的变换,从而导致等离... 详细信息
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Ni/SiO2甲烷化催化剂的等离子体改性
Ni/SiO2甲烷化催化剂的等离子体改性
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 施鹏 刘昌俊 天津大学化工学院
镍催化剂由于其成本低廉,是一种应用广泛的催化剂。但是,镍催化剂由于积碳,中毒以及活性组分聚积等原因,容易失活。在以前的研究中,用室温辉光放电等离子体对浸渍法制得的镍催化剂（Ni/AlO,Ni/SiO）前驱体进行处理,并将其用于CH-CO重整... 详细信息
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