真空金属放电生成等离子体子体技术广泛用于离子注入等方面。本文对放电持续时间为13μs的真空脉冲放电所生成等离子体进行了研究。采用Langmuir探针及TOF(Times of Flight)法对真空放电等离子体的密度、电子温度、离子的总能量等多种...
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真空金属放电生成等离子体子体技术广泛用于离子注入等方面。本文对放电持续时间为13μs的真空脉冲放电所生成等离子体进行了研究。采用Langmuir探针及TOF(Times of Flight)法对真空放电等离子体的密度、电子温度、离子的总能量等多种重要参数进行了较系统的测量,在对各参数进行解析的基础上,初步讨论了真空等离子体的传播特性。
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