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ECR等离子体沉积原子层氧化铝薄膜的研究
ECR等离子体沉积原子层氧化铝薄膜的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 桑利军 张跃飞 陈强 李兴存 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室
采用自行设计和加工的微波ECR装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝(TMA)为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积(ALD)氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子
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EAST双零偏滤器位形边界等离子体光谱辐射行为
EAST双零偏滤器位形边界等离子体光谱辐射行为
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 张凌 吴振伟 明廷凤 高伟 杨建华 查文清 中国科学院等离子体物理研究所
双零偏滤器位形放电以及偏滤器等离子体脱靶状态可大大降低偏滤器靶板的热通量和总功率,有利于延长偏滤器寿命。2009年春季EAST双零偏滤器物理实验在不同纵场方向的密度爬升以及局部加料的条件下均观察到偏滤器等离子体不同程度的脱靶现
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HL-2A装置高能粒子物理的实验研究
HL-2A装置高能粒子物理的实验研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 陈伟 丁玄同 刘仪 杨青巍 宋宪英 周俊 雷光玖 段旭如 HL-2A team Southwestern Institute of Physics
在未来的燃烧等离子体中,D-T反应会产生大量的高能α粒子(3.5MeV),同时也会存在大量的高能离子和高能电子。因此,研究这些高能粒子行为对聚变反应是及其重要的。高能粒子由于能量高,轨道半径比热离子或热电子的轨道半径大得多,因此它的... 详细信息
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大气压等离子体烟气脱硫机理及影响因素研究
大气压等离子体烟气脱硫机理及影响因素研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 周澜 陈维 陈成 于航 中国科学院物理研究所软物质物理实验室 长春理工大学
煤炭是我国的主要能源,煤炭燃烧产生的SO等气体是大气污染的根源。等离子体烟气脱硫技术作为一种新兴的烟气脱硫技术,具有广阔的发展前景。本文在无任何催化剂及还原剂条件下,使用自行研发的大气压等离子体介质阻挡放电（DBD）装置,对实
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空间用空心阴极研制进展
空间用空心阴极研制进展
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 郭宁 兰州物理研究所
空心阴极是离子推力器、霍耳推力器、空间等离子接触器的核心组件。近年来,空间任务对空心阴极的寿命、电流发射能力的要求都在不断增加。近年来,国外通过采用新技术、新材料、新工艺、新方法,在提高空心阴极性能、延长空心阴极寿命、... 详细信息
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电子回旋共振放电电离特性的PIC/MCC模拟
电子回旋共振放电电离特性的PIC/MCC模拟
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 金晓林 黄桃 杨中海 宫文英 电子科技大学物理电子学院
发展了能够模拟电子回旋共振(ECR)放电电离过程的准三维计算机模拟程序,该程序考虑了等离子体的集体运动、粒子间的碰撞、带电粒子与边界的相互作用、微波场的传播。考虑了电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞;离子与中性粒子的弹性... 详细信息
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离子发动机沉积污染对太阳电池性能影响
离子发动机沉积污染对太阳电池性能影响
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 任军学 汤海滨 顾佐 钟凌伟 仇钎 北京航空航天大学 宇航学院 兰州物理研究所
离子发动机溅射产物沉积在太阳帆板上将对会降低太阳帆板输出功率。采用点源模型和经验公式分析了离子发动机羽流中引起污染的几种主要成分的分布规律以及在卫
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EAST等离子体运行间隔放电清洗的研究
EAST等离子体运行间隔放电清洗的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 余耀伟 胡建生 赵燕平 高翔
主题:等离子体与表面相互作用EAST是世界上第一个非圆截面全超导托克马克,壁处理对于等离子体的运行是必不可少的。GDC和ICRF清洗已经是EAST实验中常规的清洗方法。在实验的准备阶段,经常使用辉光这一简单而有效的清洗方法。而等离子体... 详细信息
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大气压射频等离子体中活性物种的发射光谱原位诊断
大气压射频等离子体中活性物种的发射光谱原位诊断
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 刘忠伟 李斌 陈强 李朝阳 王正铎 北京印刷学院等离子体物理与材料实验室
利用发射光谱技术在大气压下测量了以氩气为工作气体并添加了少量空气（含量小于0.5%）射频放电（电容耦合等离子体,CCP）产生的OH（AΣ→XП,0-0带）自由基和激发态的N（CПu→BПg,第二正带）的发射光谱。由N的Δv=-2和Δv=-3振
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Ar/H2/SiCl4大气压射频等离子体射流的光谱诊断
Ar/H2/SiCl4大气压射频等离子体射流的光谱诊断
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 刘莉莹 张家良 郭卿超 王德真 大连理工大学 物理与光电工程学院
多晶硅薄膜太阳能电池所用多晶硅薄膜的沉积工艺备受关注。以SiCl和H为反应气体,Ar为载气,利用大气压射频等离子体射流辅助沉积多晶硅薄膜是一种崭新的方法。科学地诊断用于沉积薄膜的等离子体参数可以为沉积工作提供有力的支持。
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