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5MW氢等离子体热解煤生成乙炔装置及实验研究进展
5MW氢等离子体热解煤生成乙炔装置及实验研究进展
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 郭文康 熊新阳 新疆天业集团公司 复旦大学
简要介召由新疆天业集团公司主持,前后联合了浙江巨化集团公司、中科院等离子体物理研究所、复旦大学、清华大学、俄罗斯科学院新西伯利亚分院应用力学研究所,从2003年开始到目前所进行的大功率氢等离子体热解煤生成乙炔项目的研究历程。
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在玻璃基底上沉积大面积功能性薄膜
在玻璃基底上沉积大面积功能性薄膜
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 牛金海 于乃森 冯志庆 刘东平 大连民族学院光电子技术研究所
介质阻挡放电,亦称无声放电,是一种可在高气压,特别是大气压下产生等离子体的一种放电形式。介质阻挡放电从臭氧产生,材料表面改性到制备大屏幕等离子显示器,高功率单色光源,CO激光器等均有重要应用。目前对于介质阻挡放电的基础和应用...
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大气压下等离子体喷流的传播
大气压下等离子体喷流的传播
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 卢新培 熊青 熊紫兰 胡静 邹菲 龚维维 鲜于斌 邹长林 唐志渊 江中和 潘坦 华中科技大学电气学院
目前人们对大气压下等离子体喷流的"等离子体弹丸"现象产生了很大的兴趣。在这篇文章中,我们利用一种专门设计的等离子体射流装置来研究这种现象。研究发现氦初级等离子体可以穿越绝缘管壁进行传播并在绝缘管内保持传播(次级... 详细信息
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大气压下大尺度的等离子体射流的实验研究
大气压下大尺度的等离子体射流的实验研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 冯岩 任春生 王德真 大连理工大学物理与光电工程学院 等离子体中心
大气压下冷等离子体射流是近年来兴起的一种新型的大气压类辉光等离子体发生技术。它具有温度低、化学活性高、可控性好、发生装置较为简单等特点,在应用领域表现出一定的优势。目前我们利用悬浮电极、单电极、针电极、等发生装置,实现... 详细信息
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带柱形凹槽电极表面双频偏压等离子体鞘层物理特性的研究
带柱形凹槽电极表面双频偏压等离子体鞘层物理特性的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 郝美兰 戴忠玲 王友年 大连理工大学 物理与光电工程学院
在大规模集成电路和微机电系统制造中,等离子体刻蚀工艺已经成为关键技术。双频电容耦合等离子体(dual frequency capcitive coupled plasma-DFCCP)刻蚀的优势是可以实现对等离子体密度和能量的独立控制,既可以提高等离子体密度提高刻蚀... 详细信息
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真空紫外单光子电离质谱在等离子体诊断中的应用
真空紫外单光子电离质谱在等离子体诊断中的应用
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 周忠岳 张奎文 谢铭丰 齐飞 中国科学技术大学国家同步辐射实验室
等离子体加工作为一门新兴的技术,是当前国际上一个重要而活跃的前沿领域,是21世纪产业和科学技术的重要基础.介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge),因其设备结构简单、放电均匀稳定、能耗低、电子平均能量高等优点,成为目前产... 详细信息
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ECR等离子体沉积原子层氧化铝薄膜的研究
ECR等离子体沉积原子层氧化铝薄膜的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 桑利军 张跃飞 陈强 李兴存 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室
采用自行设计和加工的微波ECR装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝(TMA)为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积(ALD)氧化铝薄膜的实验研究。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子
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EAST双零偏滤器位形边界等离子体光谱辐射行为
EAST双零偏滤器位形边界等离子体光谱辐射行为
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 张凌 吴振伟 明廷凤 高伟 杨建华 查文清 中国科学院等离子体物理研究所
双零偏滤器位形放电以及偏滤器等离子体脱靶状态可大大降低偏滤器靶板的热通量和总功率,有利于延长偏滤器寿命。2009年春季EAST双零偏滤器物理实验在不同纵场方向的密度爬升以及局部加料的条件下均观察到偏滤器等离子体不同程度的脱靶现
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HL-2A装置高能粒子物理的实验研究
HL-2A装置高能粒子物理的实验研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 陈伟 丁玄同 刘仪 杨青巍 宋宪英 周俊 雷光玖 段旭如 HL-2A team Southwestern Institute of Physics
在未来的燃烧等离子体中,D-T反应会产生大量的高能α粒子(3.5MeV),同时也会存在大量的高能离子和高能电子。因此,研究这些高能粒子行为对聚变反应是及其重要的。高能粒子由于能量高,轨道半径比热离子或热电子的轨道半径大得多,因此它的... 详细信息
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空间用空心阴极研制进展
空间用空心阴极研制进展
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 郭宁 兰州物理研究所
空心阴极是离子推力器、霍耳推力器、空间等离子接触器的核心组件。近年来,空间任务对空心阴极的寿命、电流发射能力的要求都在不断增加。近年来,国外通过采用新技术、新材料、新工艺、新方法,在提高空心阴极性能、延长空心阴极寿命、... 详细信息
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