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作者

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第十届全国敏感元件与传感器学术会议(STC2007)会议组织机构
第十届全国敏感元件与传感器学术会议(STC2007)会议组织机构
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议(STC'07)将于2007年8月29~31日在北京召开
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微纳电子技术 2007年 第5期44卷 271-271页
第十届全国敏感元件与传感器学术会议(sensors and transducers conference of China,简称“STC’07”),将于2007年8月29-1日在北京召开。
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议在京召开
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中国高新技术企业 2007年 第10期 16-16页
全国敏感元件传感器学术团体联合组织委员会主办,中科院电子所传感技术联合国家重点实验室承办的第十届全国敏感元件与传感器学术会议,于2007年8月25至28日在北京召开。
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议征文通知
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红外 2006年 第11期27卷 F0004-F0004页
全国敏感元件传感器学术会议(Sensors and Transducers Conference of China,以下简称“STC学术会议”)是由我国敏感元件传感器领域内多家全国学术组织、国家重点研究单位与企业共同主办的大型专业会议,两年一,至今已成功举办... 详细信息
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议(STC'07)将于2007年8月29~31日在北京召开
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微纳电子技术 2007年 第6期44卷 340-340页
第十届全国敏感元件与传感器学术会议(sensors and transducers conference of China,简称'STCO07'),将于2007年8月29~31日在北京召开。会议传感技术国家重点实验室负责承办。会议期间将邀请科技部和中科院的领导做高层演讲... 详细信息
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议(STC 2007)会议组织机构
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微纳电子技术 2007年 第7期44卷 I0001-I0001页
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第十全国敏感元件传感器学术会议(STC2014)第二次征稿通知
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传感技术学报 2014年 第4期27卷 F0003-F0003页
二、会议介绍STC2014学术会议介绍根据全国申办会议学术组织投标结果,全国敏感元件传感器学术团体联合组织委员会决定,第十iSTC学术会议.即STC2014将由中航工业太原航空仪表有限公司和北京航空航天大学负责承办。本会议以“... 详细信息
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硅压力传感器可靠性强化试验研究
硅压力传感器可靠性强化试验研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 吴虹 李延夫 沈阳仪表科学研究院 沈阳仪表科学研究院
为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。
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在线式SF6微水含量传感器
在线式SF6微水含量传感器
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 李振波 徐丹辉 张春晓 申安安 孙克 沈阳仪表科学研究院
研制了一种在线式 SF气体微水含量检测传感器。该传感器采用露点测量法能够准确测试气体的微量水分,并且可安装在罐体上,实时在线检测。这样,就可以通过计算机等显示装置,随时检测 SF气体的微量水分值,对高压开关运行起到很好的保障作用。
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硅晶圆CMP抛光速率影响因素分析
硅晶圆CMP抛光速率影响因素分析
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 谭刚 中国工程物理研究院电子工程研究所
化学机械抛光(CMP)技术是半导体工艺中不可缺少的重要工艺。针对硅晶圆 CMP 平坦性问题,系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响,从中找到它们之间的优化参数,减少 CMP 工艺中的表面划伤、抛光雾... 详细信息
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