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氧化锆氧传感器Ag/Pd电极的表征
氧化锆氧传感器Ag/Pd电极的表征
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 罗志安 肖建中 武汉科技大学材料与冶金学院 华中科技大学材料科学与工程学院
采用陶瓷注射成型技术制备了氧化锆固体电解质基体,在烧成的氧化锆基体上涂制 Ag/Pd 电极浆料,然后将电极在不同温度下烧结。利用扫描电镜（SEM）对所制备的电极表面微观形貌进行表征。结果表明电极烧结温度对电极微观形貌影响很大;利... 详细信息
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热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究
热稳定自旋阀磁传感器及其性能优化研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 郑洋 曲炳郡 叶双莉 李伟 任天令 刘理天 清华大学微电子所 清华大学微电子所 清华大学微电子所 清华大学微电子所 清华大学微电子所 清华大学微电子所
对一种 Ta/NiFeCr/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta 结构的顶钉扎自旋阀进行了优化。对自旋阀各层材料在整个结构中所起的作用进行了分析,并通过实验,研究自旋阀中每一层的厚度对磁电阻变化率（MR）的影响。最终得到了在80℃下磁电阻变化率高达10... 详细信息
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无线移动传感器网络自适应体系结构的设计
无线移动传感器网络自适应体系结构的设计
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 郭江 冯斌 美国加利福尼亚州立大学洛杉矶分校 中国电力科学研究院
随着无线网络技术的日益成熟及其对小型、微型移动设备的支持,无线移动传感器网络已经逐渐成为一个研究的热点。主要讨论了为无线移动传感器网络设计的一个自适应的体系结构。在该体系结构中,使用了一个区域和核心路由节点相结合的多层... 详细信息
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可穿戴型下肢助力机器人感知系统研究
可穿戴型下肢助力机器人感知系统研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 孙建 余永 葛运建 陈峰 中科院合肥智能机械研究所 中科院合肥智能机械研究所 中国科技大学自动化系 中科院合肥智能机械研究所
在分析可穿戴型下肢助力机器人所需要的控制信息的基础上,设计了一套基于 CAN 总线的人体下肢运动信息感知系统。该系统主要包括可获取人体腿部和脚底状态的力传感器和获取髋关节和踝关节角度信息的编码器。实验结果表明,所设计的多传... 详细信息
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MEMS机油压力传感器可靠性研究
MEMS机油压力传感器可靠性研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 关荣锋 河南理工大学材料科学与工程学院
研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂... 详细信息
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TiO2纳米材料对甲醛气体的气敏性能研究
TiO2纳米材料对甲醛气体的气敏性能研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 赵萌 王金兴 邹博 冯彩慧 吴凤清 吉林大学化学学院
采用溶胶-凝胶法合成了对甲醛气体(HCHO)敏感的纳米晶 TiO材料。利用 X 射线衍射 (XRD)、X 射线光电子能谱(XPS)等测试方法对 TiO纳米晶结构和表面态进行了表征。X 射线衍射结果表明,随温度的增加,TiO的晶型会由锐钛矿型逐渐转变为金红... 详细信息
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GaAs基共振隧穿微加速度计的研究
GaAs基共振隧穿微加速度计的研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 胡杰 薛晨阳 张文栋 熊继军 张斌珍 中北大学电子测试技术国家重点实验室
研究了一种新型的 GaAs 基压阻式共振隧穿微加速度计结构。该微加速度计的压敏元件采用 AlAs/InGaAs 双势垒共振隧穿纳米薄膜结构。加速度计的压敏元件和悬臂梁的加工分别利用空气桥工艺和控制孔工艺。对加工出来的加速度计结构进行振... 详细信息
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基于无线SAW压力传感器的FADS研究
基于无线SAW压力传感器的FADS研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 江城 李宁 倪世宏 空军工程大学工程学院 空军工程大学工程学院 空军工程大学工程学院
嵌入式大气数据系统（FADS）是先进的大气数据系统。由于 SAW 压力传感器能进行无线测量,将无线 SAW 压力传感器应用于 FADS,与 MIMU 相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了 FADS 的基本原理、无线双单端 SAW 谐振器压力传感器... 详细信息
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微声学器件封装特性研究
微声学器件封装特性研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 杨轶 任天令 蔡坚 王水第 刘理天 清华大学微电子学研究所 清华大学微电子学研究所 清华大学微电子学研究所 清华大学微电子学研究所 清华大学微电子学研究所
分别采用 TO-CAN 和 SMT 形式对微声学器件进行了封装,并对封装后的器件进行了耦合腔测试和指向性测试。测试结果表明,通过减小前入声孔直径大小,能够抑制微音频器件的高频响应;另外通过采用不同的封装结构参数,能够实现∞形和心脏形指... 详细信息
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低矫顽力GMR磁传感器及其单畴模型的研究
低矫顽力GMR磁传感器及其单畴模型的研究
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 刘鹏 李伟 叶双莉 任天令 刘理天 清华大学微电子学研究所
在硅片上制备结构为 Ta/NiFeCr/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta 的 IrMn 顶钉扎自旋阀薄膜,并最终制成了一组基于此自旋阀结构的 GMR 磁传感器芯片。利用弱磁场下的退火工艺,改变薄膜易磁化轴的方向,当退火温度为150℃、外加磁场为120 Oe 时... 详细信息
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