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MEMS传感器电学参数批测试平台示值误差测量结果的不确定度评定
MEMS传感器电学参数批测试平台示值误差测量结果的不确定度评定
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2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会
作者： 杨楷 李志刚 景玉鹏 陈大鹏 中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室 北京 100029
针对用于监测危险化学品的MEMS传感器的特点,研制了监测危险化学品敏感元件或传感器的电学参数批测试平台.为了研究本测试平台对MEMS传感器阻抗的测量不确定度与阻抗的函数关系,以利用该平台测量精密电阻时示值误差测量结果的不确定度... 详细信息
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工业自动化仪器仪表嵌入式系统开发平台
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本研究由重庆市科技攻关计划重大专项项目《工业自动化仪器仪表嵌入式系统开发平台》（CSTC，2007AB2041）资助。工业自动化仪器仪表嵌入式系统开发平台是一个面向工业自动化仪表及相关行业的大型软硬件系统。平台利用先进的分布式组件...
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