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作者

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薄膜体声波谐振器结构与振动分析

薄膜体声波谐振器结构与振动分析

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：王骥柳建松杜建科黄德进浙江省宁波市江北区风华路818号宁波大学工学院压电器件技术实验室

无线通讯终端的多功能化发展对射频器件提出了微型化、高频率、高性能、低功耗、低成本等高技术要求。现在常用的射频器件技术一般基于介质滤波器技术和声表面波技术,不能完全满足快速发展的通讯技术要求。微波介质技术有很好的性能但... 详细信息

无线通讯终端的多功能化发展对射频器件提出了微型化、高频率、高性能、低功耗、低成本等高技术要求。现在常用的射频器件技术一般基于介质滤波器技术和声表面波技术,不能完全满足快速发展的通讯技术要求。微波介质技术有很好的性能但体积太大,声表面波谐振器体积较小,但存在工作频率低、插入损耗较大、功率容量较小并且容易受温度变化影响的缺点。薄膜体声波谐振器(Film BulkAcoustic Wave Resonators,FBAR)技术是近年来随着加工工艺技术水平的提高和现代无线通讯技术发展,尤其是个人无线通信技术的快速发展而出现的一种新的射频器件技术,具有性能良好和体积小的特点并且频率相对较高。本文介绍了FBAR技术的国内外研究现状和进展,重点说明了FBAR的工作原理、FBAR的厚度拉伸与厚度剪切振动模型,简单总结了FBAR结构以及选择压电材料、电极材料和布垃格反射层材料的问题。在此基础上,着重分析了FBAR结构中电极厚度对压电薄膜振动频率影响问题以及为什么布拉格反射层选择四分之一波长的问题。本文通过对FBAR系统性和全面性的介绍,力图达到使初步接触FBAR的研究人员清晰了解FBAR原理、结构和性能的基本目的。另一方面,通过对薄膜体声波谐振器的结构、材料和振动模式的介绍,相应的振动模型和关键技术问题也就变得清晰明了,为开展必不可少的分析和精确设计奠定了基础。

关键词：薄膜体声波谐振器压电振动频率 FBAR SMR

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超声波用于锚杆测长的技术实现

超声波用于锚杆测长的技术实现

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：王博峰龙熙华秋兴国陕西省西安市雁塔路58号西安科技大学计算机学院

锚杆是煤矿井下生产使用非常广泛的材料。矿用锚杆是一种安设在岩土层中的受力杆件,它的一端与工程建筑物相连,另一端锚固在岩土层中,必要时对其施加预引力,用以有效地承受结构载荷,防止结构变形,从而维护结构建筑物的稳定。锚杆的制作... 详细信息

锚杆是煤矿井下生产使用非常广泛的材料。矿用锚杆是一种安设在岩土层中的受力杆件,它的一端与工程建筑物相连,另一端锚固在岩土层中,必要时对其施加预引力,用以有效地承受结构载荷,防止结构变形,从而维护结构建筑物的稳定。锚杆的制作质量在很大程度上影响到煤矿安全生产。本课题的研究应煤矿安全生产中的锚杆制作质量检测问题而产生。研究目标是设计开发嵌入式仪器对煤矿生产过程中使用的锚杆进行长度测定,满足煤矿安全生产对锚杆制作质量的检测需求。课题研究运用嵌入式系统控制技术,设计了超声波用于锚杆测长的技术实现方案。该技术方案以ARM7芯片LPC2210作为处理器,以uC/OS-Ⅱ作为嵌入式操作系统,通过程序实现对超声波发射电路,超声波接收电路,电源,A/D转换电路,键盘,LCD,扬声器等模块的实时控制以及对超声波反射信号的分析处理。本文主要描述了超声测量的基本原理和系统实现的技术方案。

关键词：锚杆超声波测量嵌入式系统

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逆压电效应对锆钛酸铅阴极电子发射频率的影响

逆压电效应对锆钛酸铅阴极电子发射频率的影响

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：蔡雪梅周应华重庆市南岸区崇文路2号重庆邮电大学光电学院重庆市南岸区崇文路2号重庆邮电大学计算机学院

本文研究了锆钛酸铅阴极中逆压电效应对电子发射频率的影响。采用常规工艺制备了直径为25mm、厚为3mm的锆钛酸铅阴极样品,在阴极表面分别蒸发了直径为20mm的背电极和间隔为200μm的条栅金电极,由高压脉冲源、真空室、示波器和分压电路... 详细信息

本文研究了锆钛酸铅阴极中逆压电效应对电子发射频率的影响。采用常规工艺制备了直径为25mm、厚为3mm的锆钛酸铅阴极样品,在阴极表面分别蒸发了直径为20mm的背电极和间隔为200μm的条栅金电极,由高压脉冲源、真空室、示波器和分压电路等组成了电子发射实验平台并进行电子发射实验,观察到电子发射波形周期性地出现多个峰值,周期间隔时间为180ns。对收集到的电子发射波形进行频谱分析,得到主要频率成分在5.8MHz左右。与根据压电声表面波理论计算出的表面振动基频6.6MHz接近。基于以上实验结果和计算结果,结合目前铁电电子发射的快极化反转和表面等离子体理论,可得出压电表面振动对电子发射波形进行了频率调制,合理解释了电子发射波形出现多个峰值的现象。本研究结果对于进一步研究压电效应等在电子发射中的作用和揭示电子发射的本质有较重要意义。

关键词： PZT阴极表面振动频率快极化反转表面等离子体

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用于纳米药物定点输送的超声驱动器件的声场设计仿真研究

用于纳米药物定点输送的超声驱动器件的声场设计仿真研究

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：盂龙姜春香郑海荣辽宁省沈阳市东北大学牛物医学工程系 110004 中国科学院深圳先进技术研究院牛物医学与健康工程研究保罗-劳特伯生物医学成像研究中心 518054 中国科学院深圳先进技术研究院生物医学与健康工程研究保罗-劳特伯生物医学成像研究中心 518054 中国科学院深圳先进技术研究院生物医学与健康工程研究所保罗-劳特伯生物医学成像研究中心 518054

在超声药物输送、控制细胞以及捕获分子等领域中,对微粒的操控为其核心任务之一.用超声控制微粒是一种非接触的控制方法,当微粒悬浮在液体中时,超声辐射力能使微粒聚集在指定的位置.本文对一种基于微机电系统的控制微粒装置建立数学模型... 详细信息

在超声药物输送、控制细胞以及捕获分子等领域中,对微粒的操控为其核心任务之一.用超声控制微粒是一种非接触的控制方法,当微粒悬浮在液体中时,超声辐射力能使微粒聚集在指定的位置.本文对一种基于微机电系统的控制微粒装置建立数学模型,并对其进行了有限元仿真,得出不同激励条件下的声场分布,并预测微粒聚集形状.文中前先对该装置进行了一维声场的仿真,通过对装置的PZT施加电压信号,使得PZT产生形变,在水面上形成了声压,通过有限兀谐响应分析得到一维声场.其次对其进行了二维声场的仿真,在PZT的模型上进行了改进.施加1.5MHz、14V交流信号,形成二维对称的声压场,声场的形状为点状,以此通过不州的声场模态来获得不同聚集形状的微粒.

关键词：微粒控制超声驱动器件声场设计纳米药物定点输送数学模型声场仿真

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氮化镓纳米线的压电效应研究

氮化镓纳米线的压电效应研究

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：彭倍吴凌华罗浩文徐文鸿 Espinosa HORACIO 四川省成都市电子科技大学机械电子工程学院微纳机电研究中心 Department of Mechanical Engineering Northwestern UniversityEvanstonIL 60208U.S.A.

本文提出了一种利用微机电系统(MEMS)和电子显微镜技术相结合,研究半导体纳米结构力、电学耦合特性的实验方法。氮化镓纳米线在一个分子束外延系统中制备。电子衍射分析表明此种方法合成的纳米线具有六边形Wurtzite结构和标准的[0001]... 详细信息

本文提出了一种利用微机电系统(MEMS)和电子显微镜技术相结合,研究半导体纳米结构力、电学耦合特性的实验方法。氮化镓纳米线在一个分子束外延系统中制备。电子衍射分析表明此种方法合成的纳米线具有六边形Wurtzite结构和标准的[0001]生长晶向,是一种非常纯净的单晶体。我们设计和制造了一个基于MEMS的纳米材料测量系统作为沟通宏观和纳米世界的桥梁,通过硅微电容差传感器来精确测量应力和应变,并利用透射电子显微镜(TEM)来原位观测晶体结构受应力时的变形和断裂机制。对测试样本加载电压(电场)进而测得所引起的延展(应变)即可得到相应的压电系数。研究结果表明在相似尺寸下掺杂纳米线的压电效应要小于未掺杂的。在相同掺杂的情况下,发现[0001]晶向压电系数随着氮化镓纳米线直径的增大而减小。易知氮化镓纳米线的压电效应一般呈非线性的关系且其压电系数比固状氮化镓要大得多。

关键词：氮化镓纳米线微机电系统原位测量压电效应

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含金属芯压电纤维振动传感器

含金属芯压电纤维振动传感器

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：边义祥裘进浩王鑫伟季宏丽朱孔军江苏省南京市御道街29号南京航空航天大学智能材料与结构航空科技重点实验室

含金属芯压电纤维是一种新型的压电传感器。金属芯位于纤维的中心位置,圆柱形状的压电陶瓷包裹在外面。金属芯可以用作一个电极,喷镀在纤维表面的金属层可以另一个电极。在金属芯和表面电极上外加电压后,压电陶瓷内部的电场沿径向分布... 详细信息

含金属芯压电纤维是一种新型的压电传感器。金属芯位于纤维的中心位置,圆柱形状的压电陶瓷包裹在外面。金属芯可以用作一个电极,喷镀在纤维表面的金属层可以另一个电极。在金属芯和表面电极上外加电压后,压电陶瓷内部的电场沿径向分布。极化后,压电陶瓷的极化方向也是沿径向分布。由于于结构细小,含金属芯压电纤维可以方便地埋入基体结构中,或粘贴在基体结构表面,用作结构健康监测的传感器。把含金属芯压电纤维粘贴在悬臂梁表面。当悬臂梁振动时,压电纤维将产生轴向应变;由于压电效应,将在金属芯和表面电极上产生电荷或电压。基于第一类压电方程,建立了粘贴在悬臂梁表面的含金属芯压电纤维的输出电荷和悬臂梁振动之间的关系模型,分析了金属芯弹性柔顺系数、纤维长度、金属芯和压电陶瓷半径比对产生电荷的影响。基于第四类压电方程,建立了纤维输出电压与悬臂梁振动之间的关系模型,分析了金属芯弹性柔顺系数、纤维长度、金属芯和压电陶瓷半径比对产生电压的影响。搭建了实验系统,用实验验证了理论模型;测定了等强度梁的冲击时间响应和频域响应,测定等强度梁的一阶弯曲共振频率。理论和实验结果表明,含金属芯压电纤维这种新型压电传感器具有很好的振动传感性能。

关键词：压电陶瓷纤维传感器金属芯振动

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熔盐法制备KNLNTS无铅压电陶瓷及其应用

熔盐法制备KNLNTS无铅压电陶瓷及其应用

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：褚祥诚邬军飞李龙土钟亮赵世玺北京市海淀区清华大学大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室深圳市清华大学深圳研究生院新材料研究所

本文采用NaCl-KCl熔盐法制备了纯钙钛矿结构(KNaLi)(NbTaSb)O粉体和陶瓷。研究了温度和保温时间对粉体物相及形貌的影响,利用XRD和SEM对粉体的结构和形貌进行了分析,并与固相法进行了比较,结果表明熔盐法可以有效的降低合成温度,缩短反... 详细信息

本文采用NaCl-KCl熔盐法制备了纯钙钛矿结构(KNaLi)(NbTaSb)O粉体和陶瓷。研究了温度和保温时间对粉体物相及形貌的影响,利用XRD和SEM对粉体的结构和形貌进行了分析,并与固相法进行了比较,结果表明熔盐法可以有效的降低合成温度,缩短反应时间,且所得粉体颗粒细小,尺寸在200nm～300nm之间,有明显的取向性,颗粒呈片状,无团聚现象。熔盐法1150℃烧结所得陶瓷密度达到最大值4.69g/cm,随温度升高,密度下降,化学组成偏离计量比,碱金属元素挥发量增大,K的挥发速度大约为Na的2倍。烧结后陶瓷片经过极化,测得压电常数d为250pC/N。将其应用于小型方柱压电超声电机（即摇头式压电陶瓷超声电机）作为电机的驱动部分。采用激光多普勒测振仪（Polytec300-F）测量了电机的振动谱特性,测得一阶弯曲振动发生在129.6 kHz处;采用转速转矩测量仪测量了电机的转速和转矩输出特性,在100Vp-p下,电机转速可达330rpm,堵转力矩达32uNm,基本可以代替PZT基含铅压电陶瓷在驱动器上的应用。

关键词：熔盐法 KNLNTS 无铅压电陶瓷压电超声电机

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采用延迟线法测量压电材料的声表面波机电耦合系数

采用延迟线法测量压电材料的声表面波机电耦合系数

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：陈晓阳范子坤张辉北京长峰声表面波公司

压电材料的声表面波机电耦合系数K是表示声表面波能量和电能相互转换效率的一个重要参数,它也是研究压电材料以及设计和制做声表面波器件时必须考虑的一个重要参数。声表面波机电耦合系数K可以近似的采用公式K=2（V_f-V）/V_f来进行计算... 详细信息

压电材料的声表面波机电耦合系数K是表示声表面波能量和电能相互转换效率的一个重要参数,它也是研究压电材料以及设计和制做声表面波器件时必须考虑的一个重要参数。声表面波机电耦合系数K可以近似的采用公式K=2（V_f-V）/V_f来进行计算,式中V_f为声表面波的自由表面传播速度,V为声表面波在表面短路情况下的传播速度,为了比较准确的测量压电基片材料的声表面波机电耦合系数,我们设计了两种频率约为100MHz的声表面波双延迟线的图形,一种是自由表面的声表面波双延迟线,用以确定声表面波在自由表面的传播速度V_f,另一种是带有金属膜短路覆盖部分的声表面波双延迟线,用以确定声表面波在表面短路情况下的传播速度V。将这两种声表面波双延迟线分别作在同一个基片上,然后,采用矢量网络分析仪Agilent E5062A对每一种随机抽取一定数量的样品进行延时测量,分别计算出平均的V_f、V,代入上述公式求出K。采用此方法分别对128°Y-X LiNbO、64°Y-X LiNbO、Y-Z LiNbO以及X-112°YLiTaO、36°Y-X LiTaO进行了测量和计算,其结果和松村祯夫等人所发表的结果比较一致。

关键词：压电材料声表面波机电耦合系数延迟线延时测量

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有限弹性体声表面波传播的高性能有限元计算方法及其应用

有限弹性体声表面波传播的高性能有限元计算方法及其应用

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：王骥王羽胡文科杜建科浙江宁波江北区风华路818号宁波大学工学院压电器件技术实验室

声表面波在有限弹性体中的传播特性一直是声表面波器件设计的主要问题,是高效、精确地设计产品的理论依据。对声表面波器件进行有限元分析,计算弹性波在器件中的传播特性是非常必要的,特别有助于反映结构参数改变对声表面波传播特性的... 详细信息

声表面波在有限弹性体中的传播特性一直是声表面波器件设计的主要问题,是高效、精确地设计产品的理论依据。对声表面波器件进行有限元分析,计算弹性波在器件中的传播特性是非常必要的,特别有助于反映结构参数改变对声表面波传播特性的影响。由于针对固体材料的有限元分析技术是大家所熟悉的,对声表面波器件的三维有限元模拟最终归结为大规模线性方程的特征值计算和求解,而其高频特性决定了计算涉及到几十万甚至上百万的自由度。庞大的矩阵运算对计算机的运算速度及内存有很高的要求,超出了现有企业的一般可以利用的计算资源。由于这样的原因,我们迫切需要充分利用计算机集群的优势,通过并行有限元计算来提高计算效率,扩大应用领域。基于我们现有的有限元程序,在特征值计算方面,我们采用基于隐式重启动Arnoldi方法的PARPACK软件包,实现指定区间特征值的高效计算;在矩阵存储方面面,我们采用非零存储代替原来的一维变带宽,减少内存的需求;在线性方程组求解方面,我们使用了高效线性求解器PETSc。最后,在Linux并行集群系统上对程序进行并行化处理,从而提高能解决的问题的规模,可以满足实际器件设计的需要。基于集群技术的三维有限元并行计算方法将更加精确的分析有限弹性体中声表面波的传播特性,为声表面波器件的设计和优化提供重要的理论依据,有重要的实用价值。

关键词：声表面波有限元并行计算振动谐振器

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活性炭微反应器法制备PZT压电纤维的研究

活性炭微反应器法制备PZT压电纤维的研究

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：陈彩风刘军骆英徐祥宁江苏镇江江苏大学材料科学与工程学院

PZT压电纤维在传感和驱动领域有着广泛的应用前景。制备PZT压电纤维的方法很多,如溶胶-凝胶法、挤出法等,但采用活性炭微反应器法制备直径为微米级且排列规整的PZT纤维目前尚未见报道。本文利用活性炭具有丰富的贯通孔、规则的孔结构和... 详细信息

PZT压电纤维在传感和驱动领域有着广泛的应用前景。制备PZT压电纤维的方法很多,如溶胶-凝胶法、挤出法等,但采用活性炭微反应器法制备直径为微米级且排列规整的PZT纤维目前尚未见报道。本文利用活性炭具有丰富的贯通孔、规则的孔结构和在高温下易于除去的特点,构建活性炭微反应器并将其作为微反应场所,制备了PZT(Pb(Zr0.53Ti0.47))纤维,采用TG-DSC、XRD、SEM等测试手段对纤维进行了表征。实验结果表明:在烧结温度为1000℃,保温1小时的烧结制度下,采用活性炭微反应器法可获得物相为钙钛矿型的PZT纤维,纤维表面光滑、平直,排列规整有序,直径约为几十微米。

关键词： PZT压电纤维制备微反应器活性炭

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