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薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构制备工艺研究
薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构制备工艺研究
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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 黄光俊 石玉 杨杰 赵宝林 钟慧 四川省成都市建设北路二段四号电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
薄膜体声波谐振器是基于MEMS制造技术而迅速发展起来的器件,由于其具有频率高、体积小、承受功率大、Q值高、并与集成电路工艺兼容等诸多优点,它成为无线通信应用领域最具有潜力的器件之一。MEMS制造技术贯穿于体声波谐振器的整个制备... 详细信息
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压电半无限条的混合边界条件
压电半无限条的混合边界条件
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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 高阳 曹迪 赵宝生 北京市中国农业大学理学院 辽宁省鞍山市辽宁科技大学机械工程学院
对于具有混合边界的压电半无限条,利用互易定理和平面压电弹性力学的通解,获得精确到各阶的恰当的边界条件。运用衰减状态的分析技术,建立在板条内存在快速衰减解的边界条件。为了在边界上产生衰减状态,端部必须满足这些条件。对于横向... 详细信息
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存在整流界面的圆板型压电俘能器性能分析
存在整流界面的圆板型压电俘能器性能分析
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2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会
作者： 谭曲 唐宝宝 华中科技大学土木工程与力学学院力学系
本文分析了圆板压电俘能器的性能，压电俘能器由压电俘能单元、储能单元以及整流界面三部分组成，其中，整流界面用以将俘能单元和储能单元连接成一个整体。压电俘能单元由圆板型压电双晶片结构及与其并联的带同步开关的电感线圈(SSHI)... 详细信息
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压电泵驱动粘性流体的设计与性能研究
压电泵驱动粘性流体的设计与性能研究
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2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会
作者： 范尊强 刘建芳 董景石 李建桥 杨志刚 吉林大学 机械科学与工程学院 吉林大学 地面机械仿生技术教育部重点实验室
以压电薄膜泵对不同粘度流体的驱动特性进行仿真分析和实验研究。对压电泵在输送不同粘度液体时液体粘性的影响规律进行了理论分析，得出了压电泵流场压力损失的计算公式;对单腔体有阀压电泵的内部流场进行了数值模拟，得到了泵腔内的... 详细信息
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用改进的Born近似方法对非均匀介质中缺陷形状重构
用改进的Born近似方法对非均匀介质中缺陷形状重构
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2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 郑钢丰 吴斌 何存富 232001 安徽理工大学材料科学与工程学院 100022 北京工业大学机械电子与工程技术学院
近年来关于波在非均匀介质中传播特性方面的研究引起了各领域专家、学者的广泛关注.本文首先导出了非均匀介质中散射体散射截面P(w)的表达式,对含不相关散射体及含相关散射体的非均匀介质中的Kramers-Kronig关系的相值进行量化,并且以... 详细信息
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热释电体中的热-电-弹性平面波
热释电体中的热-电-弹性平面波
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2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 匡震邦 袁晓光 20024 上海交通大学船泊、海洋与建筑工程学院 454000 河南理工大学土木工程学院
用位移、电势和温度表示的热释电体的控制方程共5个,因而其Christoffel特征方程是5阶的,但在均匀无限空间中传播时只有4个不为零的根.而在波的反射和透射问题中,因为所有波的波矢量在界面上的分量都相同,即存在广义Snell定律,这导致额... 详细信息
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宽带指向性圆管水声换能器研究
宽带指向性圆管水声换能器研究
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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 卢苇 兰宇 胡久龄 顾郑强 黑龙江省哈尔滨市南通大街145号哈尔滨工程大学水声工程学院
压电圆管换能器已经被广泛运用到各种水声设备中,其一般采用压电圆管的一阶呼吸模态。本文采用有限元方法对压电圆管换能器进行研究,利用ANSYS软件建立换能器有限元模型,然后进行结构优化。设计了一个采用复合激励方式,利用压电圆管一... 详细信息
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以氮化铝压电薄膜作为基板的表面声波谐振器
以氮化铝压电薄膜作为基板的表面声波谐振器
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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 吳朗 劉為國 吳孟軍 郭興家 邱明誠 楊明恭 台湾台南县远东科技大学电子系 台湾彰化师范大学机电研究所 台湾台南县远东科技大学电机系 台湾台中县修平技术学院信息管理系
本研究首先以低压化学气相沉积法（LPCVD）在P型硅晶圆上成长厚度约3000（?）的氮化硅（SiN）薄膜,然后以反应性射频磁控溅镀法来溅镀厚度约2μmn的高（002）指向氮化铝（A1N）薄膜,最后在氮化铝薄膜上制作IDT。由测量结果可发现,高（00... 详细信息
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基于压电石英微天平的Cu2+分子印迹传感器的研制
基于压电石英微天平的Cu2+分子印迹传感器的研制
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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
作者： 徐洁 叶芝祥 刘沛 牛秀玲 成都信息工程学院环境工程系
分子印迹技术是近年来发展起来的通过模拟抗体-抗原相互作用制备分子印迹聚合物(Molecular Imprinting Polymers,MIPs)的新技术。MIPs中具有与模板分子的大小、形状和官能团匹配的印迹孔穴,这种刚性的具有特定选择性的孔穴的存在使得MtP... 详细信息
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刚性面板对1-3型压电复合材料水听器性能的影响
刚性面板对1-3型压电复合材料水听器性能的影响
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2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会
作者： 张凯 蓝宇 150001 黑龙江省哈尔滨市哈尔滨工程大学水声工程学院
在1-3型压电复合材料的上下表面加刚性面板不仅能提高1-3型压电复合材料水听器的灵敏度，同时还可以降低其等效噪声声压。本文利用有限元方法分析了刚性面板对静压工作状态下的1-3型压电复合材料的影响。结果表明：应选取压电小柱横截... 详细信息
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