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作者

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集成铁电存储器的研究

集成铁电存储器的研究

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：蔡道林李平翟亚红阮爱武陈彦宇欧阳帆电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

铁电存储器由-于-它的低功耗、低电压、高的读写速度以及高保持性而被认为是一种理想的非挥发性存储器。国外已经有了产品,但是国内一直是个还没有集成器件的报道。

关键词：铁电存储器铁电电容铁电薄膜

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磁控溅射ZnO压电薄膜的生长与表征

磁控溅射ZnO压电薄膜的生长与表征

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：孙宏明张翊郭航厦门大学萨本栋微机电研究中心

ZnO薄膜作为半导体材料被广泛应用于光电领域,作为压电薄膜ZnO具备很高的机电耦合系数,因此在MEMS即微机电领域有着广泛的应用。目前,国内对于ZnO薄膜作为光电材料的生长技术与表征都作了大量的研究,但对于ZnO作为压电薄膜的生长技术及... 详细信息

ZnO薄膜作为半导体材料被广泛应用于光电领域,作为压电薄膜ZnO具备很高的机电耦合系数,因此在MEMS即微机电领域有着广泛的应用。目前,国内对于ZnO薄膜作为光电材料的生长技术与表征都作了大量的研究,但对于ZnO作为压电薄膜的生长技术及其极化与表征却做得很少。因此,本文就在不同电极材料衬底上利用磁控溅射法生长ZnO压电薄膜以及不同处理条件对薄膜质量和器件性能的影响进行了探讨。

关键词： ZnO 磁控溅射法压电系数压电薄膜

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摩擦力变化式惯性压电驱动器研究

摩擦力变化式惯性压电驱动器研究

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：曾平温建明程光明李晓韬吉林大学机械科学与工程学院

本文提出利用接触表面摩擦力和压电材料产生的惯性力的有序变化来形成微位移的原理,研制开发了新型压电惯性驱动器,并通过理论推导、有限元计算、摩擦学分析、振动分析以及实验测试等方法对新型驱动器进行了研究。

关键词：压电驱动器摩擦力直线运动机构压电驱动机构压电双晶片理论推导

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以氮化铝压电薄膜作为基板的表面声波谐振器

以氮化铝压电薄膜作为基板的表面声波谐振器

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：吳朗劉為國吳孟軍郭興家邱明誠楊明恭台湾台南县远东科技大学电子系台湾彰化师范大学机电研究所台湾台南县远东科技大学电机系台湾台中县修平技术学院信息管理系

本研究首先以低压化学气相沉积法（LPCVD）在P型硅晶圆上成长厚度约3000（?）的氮化硅（SiN）薄膜,然后以反应性射频磁控溅镀法来溅镀厚度约2μmn的高（002）指向氮化铝（A1N）薄膜,最后在氮化铝薄膜上制作IDT。由测量结果可发现,高（00... 详细信息

本研究首先以低压化学气相沉积法（LPCVD）在P型硅晶圆上成长厚度约3000（?）的氮化硅（SiN）薄膜,然后以反应性射频磁控溅镀法来溅镀厚度约2μmn的高（002）指向氮化铝（A1N）薄膜,最后在氮化铝薄膜上制作IDT。由测量结果可发现,高（002）指向氮化铝（A1N）薄膜具有压电性,其表面声波速度约为5000m/s,温度系数约为-32ppm/℃。

关键词：氮化铝压电薄膜声波谐振器

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具有初应力的压电圆柱层状结构中的SH波传播

具有初应力的压电圆柱层状结构中的SH波传播

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：杜建科金小英王骥宁波大学工学院压电器件重点实验室宁波 315211浙江

基于线性压电弹性理论，通过变换，将耦合波的控制方程简化为贝塞尔方程和拉普拉斯方程。利用位移、剪应力、电势和电位移在压电层与基体的界面上的连续条件，以及压电层表面的自由边界条件和电学开路与短路条件，分析了具有初始应力的... 详细信息

基于线性压电弹性理论，通过变换，将耦合波的控制方程简化为贝塞尔方程和拉普拉斯方程。利用位移、剪应力、电势和电位移在压电层与基体的界面上的连续条件，以及压电层表面的自由边界条件和电学开路与短路条件，分析了具有初始应力的压电圆柱层状结构中SH波的传播特性，研究了压电覆盖层中初始应力对SH波的影响。针对覆盖层为压电陶瓷材料PZT-5H，基体为铝金属的层状结构，分析了初始应力对相速度和机电耦合系数等波传播特性的影响，给出了随应力变化的频散曲线、群速度曲线和机电耦合系数曲线。

关键词：压电圆柱层状结构频散曲线机电耦合系数压电弹性耦合波

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基于压电石英微天平的Cu2+分子印迹传感器的研制

基于压电石英微天平的Cu2+分子印迹传感器的研制

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：徐洁叶芝祥刘沛牛秀玲成都信息工程学院环境工程系

分子印迹技术是近年来发展起来的通过模拟抗体-抗原相互作用制备分子印迹聚合物(Molecular Imprinting Polymers,MIPs)的新技术。MIPs中具有与模板分子的大小、形状和官能团匹配的印迹孔穴,这种刚性的具有特定选择性的孔穴的存在使得MtP... 详细信息

分子印迹技术是近年来发展起来的通过模拟抗体-抗原相互作用制备分子印迹聚合物(Molecular Imprinting Polymers,MIPs)的新技术。MIPs中具有与模板分子的大小、形状和官能团匹配的印迹孔穴,这种刚性的具有特定选择性的孔穴的存在使得MtPs具有预定性、识别性以及抗恶劣环境的能力,表现出高度的稳定性和长的使用寿命等优点,因此,分子印迹技术在传感器领域有良好的应用前景。

关键词：分子印迹传感器分子印迹技术模板分子

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集成式石英谐振器尺寸结构分析及实验

集成式石英谐振器尺寸结构分析及实验

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：宁永怀田文杰北京信息工程学院传感器技术研究中心

利用石英晶振的能限理论和归一化判据对单基集成晶振的电极结构进行了分析,并对不同电极结构的晶振振动特性进行了分析。结果表明理论分析和实验结果一致,并得出了10MHzAT切的单基集成晶振的最佳结构。根据该结构设计的差频式石英谐振... 详细信息

利用石英晶振的能限理论和归一化判据对单基集成晶振的电极结构进行了分析,并对不同电极结构的晶振振动特性进行了分析。结果表明理论分析和实验结果一致,并得出了10MHzAT切的单基集成晶振的最佳结构。根据该结构设计的差频式石英谐振传感器的温度特性得到了较大的改善。

关键词：石英谐振器能限传感器

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典型压电材料SAW陀螺效应的理论分析和比较

典型压电材料SAW陀螺效应的理论分析和比较

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：俞红杰李良儿浙江舟山文化路105号浙江海洋学院电子信息工程系

以压电线性理论为基础，建立并求解了含陀螺效应负载的压电介质电弹波动方程。以石英、铌酸锂和PZT-5H三种典型压电材料为对象，定量分析比较了基体旋转对声表面波传播特性的影响。理论计算与分析表明：不同材料及同种材料在不同切割与... 详细信息

以压电线性理论为基础，建立并求解了含陀螺效应负载的压电介质电弹波动方程。以石英、铌酸锂和PZT-5H三种典型压电材料为对象，定量分析比较了基体旋转对声表面波传播特性的影响。理论计算与分析表明：不同材料及同种材料在不同切割与传播方向的SAW陀螺效应各不相同，同时陀螺效应的灵敏度还与旋转方向有关，且当基体旋转时，大部分情况下原来解耦的波会产生新的耦合，但在某些切型和转轴下仍保持原解耦状态。指出由于旋转引起波的色散以及使SAW传播特性相关参数的改变，在SAW陀螺的设计中应予以注意。本文理论结果为那些与陀螺效应密切相关的SAW器件的设计提供一些参考。

关键词：铌酸锂陀螺效应波动方程求解压电材料声表面波传播特性

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声子晶体器件声带隙性能的声固耦合分析

声子晶体器件声带隙性能的声固耦合分析

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：许震宇同济大学航空航天与力学学院

与光子晶体类似,当声波或弹性波在周期弹性结构中传播时也存在带隙现象,可分别称该结构具有声带隙(AcousticBand Gap)或弹性波带隙(Elastic Wave Band Gap)性能。这种周期结构称为声子晶体(Acoustic Crystal,Phononic Crystal),处于声... 详细信息

与光子晶体类似,当声波或弹性波在周期弹性结构中传播时也存在带隙现象,可分别称该结构具有声带隙(AcousticBand Gap)或弹性波带隙(Elastic Wave Band Gap)性能。这种周期结构称为声子晶体(Acoustic Crystal,Phononic Crystal),处于声带隙频率范围内的振动或声波被禁止在声子晶体中传播。声子晶体这种新型的功能材料将在无源隔音、精密机械平台减振、声波及振动滤波器等方面等领域得到广泛的应用。本文设计了声波导中的一维声子晶体结构,对于这个有限尺寸的器件利用有限元软件Femlab对该结构的声带隙特性进行了声固耦合分析。结果表明,该结构对特定频率范围内的声波具有反射作用。根据本文的工作,可以设计具有滤波功能的声学器件。

关键词：声子晶体声带隙声固耦合

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锆钛酸铅压电薄膜的制备

锆钛酸铅压电薄膜的制备

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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：吳朗陳炳輝李茂順郭興家吳金昆台湾台南县远东科技大学电子系台湾台南县南荣技术学院电机系台湾高雄应用科技大学电子系台湾台南县远东科技大学电机系

利用添加微量甘油在0.2M～0.3M的锆钛酸铅凝胶溶液中,然后在多层结构Al/SiN/Si（100）基板上沉积锆钛酸铅压电薄膜。探讨凝胶溶液之浓度及烧结温度对压电薄膜表面结构的影响。结果显示,以0.3M的凝胶溶液浓度沉积锆钛酸铅压电薄膜,并且在... 详细信息

利用添加微量甘油在0.2M～0.3M的锆钛酸铅凝胶溶液中,然后在多层结构Al/SiN/Si（100）基板上沉积锆钛酸铅压电薄膜。探讨凝胶溶液之浓度及烧结温度对压电薄膜表面结构的影响。结果显示,以0.3M的凝胶溶液浓度沉积锆钛酸铅压电薄膜,并且在700℃进行30分钟烧结,可大幅改善压电薄膜表面裂痕的现象。此一压电薄膜的矫顽电场为84.52kV/cm,残余极化为11.39μC/cm。本文同时将所制备的锆钛酸铅压电薄膜作为基板以制作表面声波滤波器。

关键词：锆钛酸铅压电薄膜

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