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本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多，各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene薄膜，为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。

关键词：植入式 parylene MEMS 互连

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基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究

基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究

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avt2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：邱可可刘景全芮岳峰杨春生王宇娟李克勇上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学附属第一人民医院上海200080

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法，随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合，传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等.本文提出一种异步多通路刺激的电针灸针.基于传统的毫针，通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激... 详细信息

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法，随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合，传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等.本文提出一种异步多通路刺激的电针灸针.基于传统的毫针，通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极，微加工工艺包括溅射金属层以及CVD(化学气相沉积)绝缘层parylene(聚对二甲苯).Parylene作为电极间的绝缘材料，具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度.通过连接电针灸仪，在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激.

关键词：电针灸异步多通路电针 CVD parylene

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压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

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avt2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院南昌330099 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌大学机电工程学院南昌330031

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿... 详细信息

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题，为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。

关键词：压电能量采集器真空键合 PZT厚膜湿法化学刻蚀振动

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射频反应磁控溅射法制备N掺杂P型氧化亚铜薄膜

射频反应磁控溅射法制备N掺杂P型氧化亚铜薄膜

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avt2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：林龙李斌斌鲁林峰沈鸿烈刘斌南京航空航天大学材料科学与技术学院南京210016

通过射频反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备N掺杂的CuO薄膜.采用X射线衍射(XRD)、分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)和霍尔效应等检测,研究了氮气掺杂对CuO薄膜性能的影响.结果表明：随着N原子的掺入,薄膜的结晶质量下降,光学带隙从2.2... 详细信息

通过射频反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备N掺杂的CuO薄膜.采用X射线衍射(XRD)、分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)和霍尔效应等检测,研究了氮气掺杂对CuO薄膜性能的影响.结果表明：随着N原子的掺入,薄膜的结晶质量下降,光学带隙从2.29eV升至2.5eV.同时薄膜的电学性能趋于稳定.当N2/O2为0.6时,薄膜的电阻率为1.5Ω·cm,空穴浓度为2.157× 1019cm-3.

关键词：氧化亚铜磁控溅射氮气霍尔效应 XPS

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