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文献类型

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  • 3 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 3 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 3 篇 拉伸试验
  • 3 篇 微机电系统
  • 2 篇 坡莫合金
  • 2 篇 机械性能
  • 1 篇 力学性能
  • 1 篇 磁性材料
  • 1 篇 薄膜

机构

  • 3 篇 上海交通大学
  • 3 篇 名古屋大学

作者

  • 3 篇 式田光宏
  • 3 篇 安藤妙子
  • 3 篇 佐藤一雄
  • 3 篇 李雪萍
  • 3 篇 丁桂甫

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"作者=式田光宏"
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一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法
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传感器与微系统 2007年 第2期26卷 85-87,91页
作者： 李雪萍 丁桂甫 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200030 名古屋大学微纳系统工程系
介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型... 详细信息
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一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
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传感技术学报 2006年 第5A期19卷 1595-1598页
作者： 李雪萍 丁桂甫 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200030 名古屋大学微纳系统工程系
坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制... 详细信息
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一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者： 李雪萍 丁桂甫 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 上海交通大学 微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 名古屋大学 微纳系统工程系名古屋日本 上海交通大学 微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 名古屋大学 微纳系统工程系名古屋日本
坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.本文介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方... 详细信息
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