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  • 2 篇 恩格尔伯塔斯·安东...
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  • 2 篇 中文
检索条件"作者=斯蒂芬·格特鲁德·玛丽·亨德瑞克斯"
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光刻设备和传感器校准方法
光刻设备和传感器校准方法
收藏 引用
作者: 尔伯塔斯·安东尼斯·弗朗西斯克斯·范帕斯克 艾米尔·尤泽夫·梅勒妮·尤森 斯蒂芬·格特鲁德·玛丽·亨德瑞克斯 埃瑞克·鲁埃洛夫·鲁普斯卓 雅克布·威尔埃姆·文克 ·安东尼斯·安萨丽娜·玛丽安·比伦斯 威杰克·亚历山大·席杰文阿斯 汤姆·范祖 荷兰维德霍温
公开了一种用于校准辅助传感器系统的方法以及一种光刻设备。所述 辅助传感器系统测量光栅相对于参考物的位置,所述光栅形成编码器测量 系统的一部分。所述编码器测量系统适用于测量光刻设备的衬底台的位 置,并且还包括安装到衬底台上...
来源: 评论
光刻设备和传感器校准方法
光刻设备和传感器校准方法
收藏 引用
作者: 尔伯塔斯·安东尼斯·弗朗西斯克斯·范帕斯克 艾米尔·尤泽夫·梅勒妮·尤森 斯蒂芬·格特鲁德·玛丽·亨德瑞克斯 埃瑞克·鲁埃洛夫·鲁普斯卓 雅克布·威尔埃姆·文克 ·安东尼斯·安萨丽娜·玛丽安·比伦斯 威杰克·亚历山大·席杰文阿斯 汤姆·范祖 荷兰维德霍温
公开了一种用于校准辅助传感器系统的方法以及一种光刻设备。所述辅助传感器系统测量光栅相对于参考物的位置,所述光栅形成编码器测量系统的一部分。所述编码器测量系统适用于测量光刻设备的衬底台的位置,并且还包括安装到衬底台上的... 详细信息
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