检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：樊世燕河北工业大学

学位级别：博士

随着GLSI的高度集成化和立体化,互连线的特征尺寸越来越小,对平坦化的要求越来越高,在多层铜布线的化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)过程中,抛光液和抛光工艺是影响抛光后晶圆的表面质量和平坦化性能的两个关键因素。... 详细信息

随着GLSI的高度集成化和立体化,互连线的特征尺寸越来越小,对平坦化的要求越来越高,在多层铜布线的化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)过程中,抛光液和抛光工艺是影响抛光后晶圆的表面质量和平坦化性能的两个关键因素。抛光液中各成分含量的比例不同,工艺不同,均会导致不同的抛光速率和平坦化效果。因此如何获得抛光液中各成分含量的比例和抛光工艺与抛光速率和平坦化效果之间的映射关系,并根据该映射关系得到满足工业要求的抛光液各组成成分的最佳配比和工艺条件,是目前研究的一个前沿课题。针对该问题,本课题采用我校微电子所自主研发的以FA/O型螯合剂为主要成分的多层铜布线碱性抛光液,通过计算机智能优化技术来分析优化该抛光液中各成分含量的比例和抛光工艺,从而提高抛光速率和平坦化性能。首先,作为一个跨学科的研究课题,在研究了以化学作用为主的CMP碱性技术的反应机理的基础上,通过对计算机智能优化技术中的误差反向传播(Back Propagation,BP)神经网络和人工蜂群(Artificial Bee Colony,ABC)算法的深入学习和研究,将BP神经网络和ABC算法两者相结合,针对现有建模方法BP-ABC算法预测能力不佳的问题,提出了改进后的建模方法:Back Propagation Niche Crowding Artificial Bee Colony算法,简称BP-NCABC算法。通过仿真实验证明BP-NCABC算法在建模能力和泛化能力方面均优于BP-ABC算法。其次,利用BP-NCABC算法对CMP实验数据进行仿真实验,建立抛光液各成分与抛光速率之间的关系模型,实现了对抛光速率的预测。同时利用该方法,针对300mm铜光片的实验数据建立了抛光液各成分和抛光工艺与抛光速率和片内非均匀性(With-In-Wafer-Non-Uniformity,WIWNU)之间的关系模型,实现了对抛光速率和WIWNU的同时预测,大大提高了在CMP工艺和材料的优化过程中的效率。最后,利用统计学中的敏感性分析方法对以上两个模型进行敏感性分析,使抛光工艺和抛光液各组成成分及其交互作用对抛光速率的影响程度和对WIWNU的影响程度得到了量化。根据量化分析结果,结合实际实验验证发现:在工艺条件为:压力1.2psi,流量300ml/min,抛光机转速为87rpm/min,抛光液各组成成分的配比为:磨料浓度为7vol.%,氧化剂浓度为0.5 vol.%,FA/O型螯合剂浓度为2.5 vol.%,活性剂浓度为3vol.%时,抛光速率为907.39nm/min,WIWNU为2.92%,图形片上抛光前后台阶高低差消除了大约3100?,抛光后表面状态良好,粗糙度为0.386nm,缺陷明显减少,实现了低压下的良好的平坦化性能,满足了工业发展对CMP技术的低压低磨料的要求。

关键词：化学机械平坦化抛光液抛光速率片内非均匀性 BP神经网络人工蜂群算法

来源：评论

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多维序列模式挖掘算法在广播收听率分析中的研究与应用

多维序列模式挖掘算法在广播收听率分析中的研究与应用

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作者：樊世燕河北工业大学

学位级别：硕士

随着数据库和计算机网络的广泛应用,加上使用先进的自动数据生成和采集工具,人们所拥有的数据量急剧增大。数据挖掘技术正是目前解决“数据爆炸”但“信息贫乏”的一种有效方法。目前,在广播收听调查领域,从上个世纪30年代尼尔森公司成... 详细信息

随着数据库和计算机网络的广泛应用,加上使用先进的自动数据生成和采集工具,人们所拥有的数据量急剧增大。数据挖掘技术正是目前解决“数据爆炸”但“信息贫乏”的一种有效方法。目前,在广播收听调查领域,从上个世纪30年代尼尔森公司成立和BBC对听众进行每日调查开始,关于广播传播效果的分析与描述就越来越被“数字”所替代,但是由于缺乏对收听率数据进行再分析的能力,不善于剖析数据,而只能被动地、表面化地接受调查机构给予的原始数据或简单结论。针对广播收听调查领域存在的这种情况,本文将数据挖掘技术中的多维序列模式挖掘算法应用到广播收听率分析当中,可以使广播电台根据指标数据和数据挖掘信息来改善管理,进行更科学合理的节目评估、人员考核、听众群体分析等,同时也为广播媒体领域的专业研究的提供了很有价值的信息。本文在研究了一些经典的序列模式挖掘算法的基础上,结合广播收听情况分析的具体问题和业界相关知识,提出了一种基于时态约束的多维序列模式挖掘算法,这种算法首先将多维信息作为序列的一个元素嵌入到序列之中,形成一个新的序列,然后在基于模式增长的序列模式挖掘算法PrefixSpan算法的基础上,引入了时间区间的归并与扩展技术,使挖掘出来的多维序列模式具有了时效性。本文以“北京中视广联收听率分析系统”为研究背景,在实现了计算各种收听指标等基本功能的基础上,将基于时态约束的多维序列模式挖掘算法应用其中,基本实现了从原始数据的预处理到最后的对挖掘结果的评估与优化这样一个数据挖掘过程。最后,对本文工作进行了总结,提出了进一步的工作方向和思路。

关键词：数据挖掘多维序列模式时态约束广播媒体数字化

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自适应特征细化的遥感图像有向目标检测

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计算机工程与应用 2023年第24期59卷 155-164页

作者：刘恩海许佳音李妍樊世燕河北工业大学人工智能与数据科学学院天津300401 河北工业大学河北省大数据计算重点实验室天津300401

目标检测是遥感研究中重要且具有挑战性的任务。遥感图像大多通过俯视视角拍摄,其背景复杂、方向任意的特点,使得自然场景中的目标检测算法直接应用于遥感领域会面临一些挑战。针对上述问题,提出一种自适应特征细化网络AFR-Net,生成与... 详细信息

目标检测是遥感研究中重要且具有挑战性的任务。遥感图像大多通过俯视视角拍摄,其背景复杂、方向任意的特点,使得自然场景中的目标检测算法直接应用于遥感领域会面临一些挑战。针对上述问题,提出一种自适应特征细化网络AFR-Net,生成与物体之间具有高匹配度的有向候选框。设计特征增强模块增加具有判别力的特征表示,提升复杂背景下空间细节的捕捉能力;为得到适应于物体方向的有向候选框,提出自适应特征对齐模块缓解卷积特征与有向目标的空间错位问题,得到旋转不变特征;通过解耦检测头模块获取旋转敏感特征并细化精确的边界盒回归。提出的网络在公开的遥感目标检测数据集DIOR-R和HRSC2016达到了66.71%和97.12%的准确率,相比原始算法分别提高了2.3和0.9个百分点的检测精度,同时与一些主流的目标检测算法相比,该算法具有一定的优越性。

关键词：卷积神经网络遥感图像目标检测特征细化特征对齐

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Benzotriazole removal on post-Cu CMP cleaning

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Journal of Semiconductors 2015年第6期36卷 161-164页

作者：唐继英刘玉岭孙鸣樊世燕李炎 Institute of Microelectronics Hebei University of Technology Electrical Engineering Department Tianjin Metallurgical Vocation-Technology Institute

This work investigates systematically the effect of FA/O II chelating agent and FA/O I surfactant in alkaline cleaning solutions on benzotriazole （BTA） removal during post-Cu CMP cleaning in GLSI under the con- dition of static etching. The best detergent formulation for BTA removal can be determined by optimization of the experiments of single factor and compound cleaning solution, which has been further confirmed experimentally by contact angle （CA） measurements. The resulting solution with the best formulation has been measured for the actual production line, and the results demonstrate that the obtained cleaning solution can effectively and efficiently remove BTA, CuO and abrasive SiO2 without basically causing interfacial corrosion. This work demonstrates the possibility of developing a simple, low-cost and environmentally-friendly cleaning solution to effectively solve the issues of BTA removal on post-Cu CMP cleaning in a multi-layered copper wafer.

关键词： chelating agent non-ionic surfactant BTA removal static etching rate contact angle

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关于广播收听调查领域中数据处理问题的研究

关于广播收听调查领域中数据处理问题的研究

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2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议

作者：樊世燕彭玉清贾莲河北工业大学计算机与软件学院

随着数据库和计算机网络的广泛应用,加上使用先进的自动数据生成和采集工具,人们所拥有的数据量急剧增大。在广播收听调查领域,广播媒体数字化成为一种趋势、一种必然。本文针对在广播媒体收听调查领域中的数据处理问题,提出两种处理方... 详细信息

随着数据库和计算机网络的广泛应用,加上使用先进的自动数据生成和采集工具,人们所拥有的数据量急剧增大。在广播收听调查领域,广播媒体数字化成为一种趋势、一种必然。本文针对在广播媒体收听调查领域中的数据处理问题,提出两种处理方法:一种方法是用统计的方法计算衡量广播收听情况的各种指标;另一种方法是对广播收听调查数据进行再分析,即利用数据挖掘的知识对广播收听调查数据进行深度分析和预测,从大量的数据中提取隐含在其中的潜在有用的信息和知识。

关键词：广播媒体数字化数据挖掘序列模式

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关于广播收听调查领域中数据处理问题的研究

关于广播收听调查领域中数据处理问题的研究

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2007年北京地区高校研究生学术交流会

作者：樊世燕彭玉清贾莲河北工业大学计算机与软件学院 300401

关键词：广播媒体数字化数据挖掘序列模式

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综合特征的图像检索方法研究

综合特征的图像检索方法研究

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2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议

作者：贾莲彭玉青樊世燕河北工业大学计算机科学与软件学院

在基于内容的图像检索(CBIR)中,不同的图像特征反映了图像不同的内在特性,如何有效地组织这些特征来提高系统的检索性能是一个值得研究的课题。本文对颜色特征的累计直方图法,纹理特征的共生矩阵方法,形状特征的形状无关矩方法做了介绍... 详细信息

在基于内容的图像检索(CBIR)中,不同的图像特征反映了图像不同的内在特性,如何有效地组织这些特征来提高系统的检索性能是一个值得研究的课题。本文对颜色特征的累计直方图法,纹理特征的共生矩阵方法,形状特征的形状无关矩方法做了介绍。最后综合三个特征进行检索,通过实验证明综合特征检索的有效性。

关键词：基于内容的图像检索颜色纹理形状综合特征

来源：评论

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综合特征的图像检索方法研究

综合特征的图像检索方法研究

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2007年北京地区高校研究生学术交流会

作者：贾莲彭玉青樊世燕河北工业大学计算机科学与软件学院天津 300130

关键词：图像检索颜色特征综合特征

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基于改进残差结构的肺结节检测方法

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计算机应用 2020年第7期40卷 2110-2116页

作者：石陆魁马红祺张朝宗樊世燕河北工业大学人工智能与数据科学学院天津300401 河北省科学技术情报研究院石家庄050000

针对肺结节检测方法中网络结构复杂所导致的模型计算量大、过拟合的问题,提出了一种结合深度可分离卷积和预激活的改进残差网络结构,将提出的网络结构应用于肺结节检测模型。该模型以目标检测网络Faster RCNN为基础,采用U-Net编码解码... 详细信息

针对肺结节检测方法中网络结构复杂所导致的模型计算量大、过拟合的问题,提出了一种结合深度可分离卷积和预激活的改进残差网络结构,将提出的网络结构应用于肺结节检测模型。该模型以目标检测网络Faster RCNN为基础,采用U-Net编码解码器结构,利用深度可分离卷积和预激活操作改进了三维残差网络结构。首先,通过使用深度可分离卷积,模型复杂度和计算量大幅度降低;其次,通过使用预激活,模型的正则化得到改善,缓解了过拟合现象;最后,采用矩形卷积核在少量增加模型计算量的前提下扩大了卷积操作的感受野,有效地兼顾了肺结节的全局和局部特征。在LUNA16数据集上的检测中所提方法的灵敏度为96.04%,无限制接收者操作特征曲线下面积(FROC)得分为83.23%。实验结果表明:该方法提高了肺结节检测的灵敏度,又有效降低了检测结果的平均假阳性个数,同时提高了检测效率,可有效辅助放射科医师对肺结节进行检测。

关键词：肺结节检测 U-Net Faster R-CNN 深度可分离卷积预激活

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否定选择算法中高性能检测器的生成

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计算机工程与设计 2014年第8期35卷 2773-2777页

作者：刘恩海宋瑞平樊世燕河北工业大学计算机科学与软件学院天津300401

将自体集合依据r值分段提取出自体集合的补集,将这些补集连接成检测器集合的机制仍然存在大量冗余检测器,增大了时间和空间消耗,降低了检测器的性能和检测效率。为生成覆盖最大非自体空间的最小检测器集合,利用集合间划分与覆盖关系的原... 详细信息

将自体集合依据r值分段提取出自体集合的补集,将这些补集连接成检测器集合的机制仍然存在大量冗余检测器,增大了时间和空间消耗,降低了检测器的性能和检测效率。为生成覆盖最大非自体空间的最小检测器集合,利用集合间划分与覆盖关系的原理,改进检测器集合的生成机制。理论分析与仿真结果表明,该策略能最大限度减小冗余检测器规模,降低产生检测器集合的时间消耗,提高检测器集合的检测性能。

关键词：否定选择算法检测器划分与覆盖覆盖率去除冗余

来源：评论

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