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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 应力分布
  • 1 篇 comsol有限元仿真
  • 1 篇 谐振子
  • 1 篇 自溯源光栅干涉仪
  • 1 篇 灵敏度
  • 1 篇 计量学
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机构

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作者

  • 1 篇 韩晓玲
  • 1 篇 沈箫雨
  • 1 篇 程鑫彬
  • 1 篇 牛鹏飞
  • 1 篇 宋松
  • 1 篇 张婉怡
  • 1 篇 常郅坤
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语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=沈箫雨"
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排序:
自溯源型MOEMS加速度计谐振子设计仿真研究
收藏 引用
计量科学与技术 2023年 第6期67卷 9-15,43页
作者: 常郅坤 张婉怡 沈箫雨 牟群 韩晓玲 宋松 牛鹏飞 邓晓 程鑫彬 同济大学精密光学工程技术研究所 上海200092 先进微结构材料教育部重点实验室 上海200092 上海市数字光学前沿科学研究基地 上海200092 上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台 上海200092 同济大学物理科学与工程学院 上海200092 苏州大学物理科学与技术学院 苏州215000 浙江水利水电学院基础教学部 杭州310018 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
MOEMS加速度计是加速度传感器未来的发展趋势之一,光学位移检测手段是决定测量精度的核心因素,与之配套的谐振子设计、匹配关系是充分发挥其性能的关键要素。自溯源光栅干涉仪是一种超精密位移测量方法,具有测量直接溯源、精度高、小型... 详细信息
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