咨询与建议
  • 全部搜索
  • 期刊论文
  • 图书
  • 学位论文
  • 标准
  • 纸本馆藏
  • 外文资源发现
  • 数据库导航
  • 超星发现
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 25 篇 专利

馆藏范围

  • 25 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

机构

  • 18 篇 瓦里安半导体设备...
  • 6 篇 应用材料股份有限...
  • 1 篇 varian semicondu...

作者

  • 19 篇 法兰克·辛克莱
  • 19 篇 罗伯特·c·林德柏格...
  • 10 篇 克里斯多夫·坎贝尔...
  • 8 篇 肯尼士·h·波什
  • 8 篇 亚历山大·利坎斯奇...
  • 6 篇 约瑟·c·欧尔森
  • 5 篇 罗伯特·林德柏格
  • 4 篇 史费特那·瑞都凡诺...
  • 4 篇 丹尼尔·泰格尔
  • 4 篇 彼德·l·凯勒曼
  • 4 篇 常胜武
  • 4 篇 艾德沃·w·比尔
  • 3 篇 艾立克·d·赫尔曼森...
  • 3 篇 格拉汉·莱特
  • 2 篇 丹尼尔·艾凡瑞朵
  • 2 篇 维克多·m·本夫尼斯...
  • 2 篇 艾利克·唐纳德·威...
  • 2 篇 安东尼·雷诺
  • 2 篇 泰勒·b·洛克威尔
  • 2 篇 杰·t·舒尔

语言

  • 24 篇 中文
  • 1 篇 英文
检索条件"作者=罗伯特·林德柏格"
共 25 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备
弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备
收藏
分享
引用
作者： 法兰克·辛克莱 丹尼尔·泰格尔 艾德沃·W·比尔 罗伯特·林德柏格 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
一种弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备，包括：后扫描电极，以扇形束包络的形式接收及传输经扫描束，其中所述经扫描束界定视在扫描原点，其中所述后扫描电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。通过使... 详细信息
来源： 评论
弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备及离子植入方法
弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备及离子植入方法
收藏
分享
引用
作者： 法兰克·辛克莱 丹尼尔·泰格尔 艾德沃·W·比尔 罗伯特·林德柏格 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
一种离子植入机系统设备及离子植入方法，所述离子植入机系统设备包括离子束产生器，产生离子束；扫描系统，接收所述离子束并产生经扫描束；以及电极，接收所述经扫描束。所述电极的至少一部分垂直于所述经扫描束的传播方向。所述电极... 详细信息
来源： 评论
弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备
弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备
收藏
分享
引用
作者： 法兰克·辛克莱 丹尼尔·泰格尔 艾德沃·W·比尔 罗伯特·林德柏格 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
一种弯曲的后扫描电极的离子植入机系统设备，包括：后扫描电极，以扇形束包络的形式接收及传输经扫描束，其中所述经扫描束界定视在扫描原点，其中所述后扫描电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。通过使... 详细信息
来源： 评论
用于离子源中液态金属的坩埚炉设计
用于离子源中液态金属的坩埚炉设计
收藏
分享
引用
作者： 格拉汉·莱特 艾利克·唐纳德·威尔森 丹尼尔·艾凡瑞朵 罗伯特·C·林德柏格 雅格柏·穆林 美国加州圣塔克拉尔 鲍尔斯大道3050号(邮递区号:95054)
公开一种利用熔融金属趋向于朝向最热区流动的观测结果的坩埚炉。坩埚炉包含其中可安置有掺杂材料的内部。坩埚炉具有从内部通向孔口的路径，其中温度沿着路径连续地增加。孔口可安置在离子源的电弧腔室的内部中或附近。液态金属沿着路... 详细信息
来源： 评论
透过主动管理卤素循环以延长阴极与反射极寿命
透过主动管理卤素循环以延长阴极与反射极寿命
收藏
分享
引用
作者： 格拉汉·莱特 丹尼尔·艾凡瑞朵 艾利克·唐纳德·威尔森 罗伯特·林德柏格 美国加州圣塔克拉尔 鲍尔斯大道3050号(邮递区号:95054)
公开一种用于延长间热式阴极离子源中的阴极与反射极的寿命的系统和方法。系统通过使用已知参数集进行操作且测量用于产生所需提取束流或来自电弧电压电源的所需电流的偏置功率来监测阴极的健康状态。基于所测量的偏置功率，系统可确定... 详细信息
来源： 评论
弯曲的后扫描电极
弯曲的后扫描电极
收藏
分享
引用
作者： 法兰克·辛克莱 丹尼尔·泰格尔 艾德沃·W·比尔 罗伯特·林德柏格 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
一种设备用于提供离子束的离子束产生器。扫描系统可接收所述离子束并提供经扫描束。电极可接收所述经扫描束。所述电极的至少一部分垂直于所述经扫描束的传播方向。所述电极的垂直于所述传播方向所述扫描束的所述部分可具有弯曲形状。
来源： 评论
能量纯度模块、离子植入系统及减少其中粒子的方法
能量纯度模块、离子植入系统及减少其中粒子的方法
收藏
分享
引用
作者： 常胜武 法兰克·辛克莱 亚历山大·利坎斯奇 克里斯多夫·坎贝尔 罗伯特·C·林德柏格 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
本文提供减少离子植入机中粒子的方法，具体而言，提供一种能量纯度模块、离子植入系统及减少其中粒子的方法。静电过滤器可包括壳体及位于壳体内的多个导电束光学器件。导电束光学器件围绕朝晶片引导的离子束线排列，且可包括靠近壳体... 详细信息
来源： 评论
包含内部加热元件的导电束光学器件
包含内部加热元件的导电束光学器件
收藏
分享
引用
作者： 常胜武 法兰克·辛克莱 亚历山大·利坎斯奇 克里斯多夫·坎贝尔 罗伯特·C·林德柏格 艾立克·D·赫尔曼森 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
本文提供减少离子植入机中粒子的方法。静电过滤器可包括壳体及位于壳体内的多个导电束光学器件。导电束光学器件围绕朝晶片引导的离子束线排列，且可包括靠近壳体的入口孔的入口孔电极。导电束光学器件还可包括沿着离子束线位于入口孔... 详细信息
来源： 评论
用于向晶片递送离子束的静电过滤器及离子植入系统
用于向晶片递送离子束的静电过滤器及离子植入系统
收藏
分享
引用
作者： 常胜武 法兰克·辛克莱 亚历山大·利坎斯奇 克里斯多夫·坎贝尔 罗伯特·C·林德柏格 艾立克·D·赫尔曼森 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
本文提供减少离子植入机中粒子的方法，具体而言，提供一种用于向晶片递送离子束的静电过滤器及离子植入系统。静电过滤器可包括壳体及位于壳体内的多个导电束光学器件。导电束光学器件围绕朝晶片引导的离子束线排列，且可包括靠近壳体... 详细信息
来源： 评论
用于静电过滤器的电极
用于静电过滤器的电极
收藏
分享
引用
作者： 罗伯特·C·林德柏格 亚历山大·利坎斯奇 惠妮·拉伯斯 法兰克·辛克莱 史费特那·瑞都凡诺 美国加州圣塔克拉尔 鲍尔斯大道3050号
本实用新型提供一种用于静电过滤器的电极。在一些实施例中，系统可包含接收离子束的静电过滤器，静电过滤器包含安置在离子束线的相对侧的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极中的每一个具有位于第一端与第二端之间的中心区域，其... 详细信息
来源： 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共3页 <<  < 1 2 3 >  >>
回到顶部
执行限定条件