咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 航空宇航科学与技...

主题

  • 1 篇 音叉式陀螺
  • 1 篇 “8悬臂梁-质量块”...
  • 1 篇 (111)硅晶圆
  • 1 篇 微机械陀螺
  • 1 篇 x轴
  • 1 篇 限制槽

机构

  • 1 篇 中国科学院研究生...
  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 li jinpeng
  • 1 篇 mi binwei
  • 1 篇 段飞
  • 1 篇 qian qing
  • 1 篇 张颖
  • 1 篇 宓斌玮
  • 1 篇 jiao jiwei
  • 1 篇 wang yuelin
  • 1 篇 王育才
  • 1 篇 王跃林
  • 1 篇 李金鹏
  • 1 篇 wang yucai
  • 1 篇 焦继伟
  • 1 篇 duan fei
  • 1 篇 zhang ying
  • 1 篇 钱清

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=“8悬臂梁-质量块”结构"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2007年 第10期28卷 1630-1635页
作者: 段飞 焦继伟 王育才 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院
设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏... 详细信息
来源: 评论