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三种溅射深度剖析定量分析模型解析表达式的比较
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真空 2023年 第3期60卷 24-41页
作者: 钟凤敏 王穗鹏 郑锦权 杨浩 Siegfried Hofmann 徐从康 王江涌 汕头大学物理系 广东汕头515063 马克斯普朗克智能系统研究所 德国斯图加特D-70569 汕头大学半导体材料与器件研究中心 广东汕头515063
本文系统地讨论了三种广泛应用于溅射深度剖析定量分析的原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型上下坡(UDS)模型与粗糙度-级联混合-反冲注入(RMR)模型的解析表达式。先从定义、公式推导、仿真结果分析三方面逐一分析了这三种模型对应的... 详细信息
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