检索结果-内蒙古大学图书馆

人工晶体学报 2005年第6期34卷 1141-1145页

作者：董淑梅李言李留臣王庆楚波西安理工大学晶体生长设备研究所西安710048 西安理工大学机械与精密仪器工程学院西安710048

自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械结构及控制系统.使用上称... 详细信息

自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械结构及控制系统.使用上称重法自动直径控制系统已成功地生长出φ51～76mmYAG晶体及φ51～76mm铌酸锂晶体,取得了良好的控制效果.

关键词：激光晶体炉自动直径控制上称重法

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提拉法生长晶体的自等径控制

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人工晶体学报 2008年第1期37卷 15-19页

作者：于永贵姚淑华徐民王旭平张怀金王继扬山东大学晶体材料国家重点实验室济南250100

采用JPG技术有限公司所开发的自等径控制程序,利用上称重法实现了晶体生长的自等径控制(ADC)。通过对生长曲线PID的具体分析及其他晶体生长相关参数的设置,以铌酸锂晶体为对象,成功实现了按预设程序进行的晶体生长自等径控制。

关键词：自等径控制上称重法晶体生长 PID参数

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激光晶体自动直径控制（ADC）技术的研究

激光晶体自动直径控制（ADC）技术的研究

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作者：董淑梅西安理工大学

学位级别：硕士

本课题的主要研究对象是激光晶体生长设备中的核心技术—自动直径控制（ADC）技术。自动直径控制技术是Czochralski法(简称：Cz法)晶体生长设备的一项关键技术，随着晶体生长向优质大尺寸方向发展以及坩埚内投料量的加大,对晶体直径测... 详细信息

本课题的主要研究对象是激光晶体生长设备中的核心技术—自动直径控制（ADC）技术。自动直径控制技术是Czochralski法(简称：Cz法)晶体生长设备的一项关键技术，随着晶体生长向优质大尺寸方向发展以及坩埚内投料量的加大,对晶体直径测量和精度控制的要求也愈来愈高，研究开发技术先进、精度高、性能稳定可靠的自动直径控制（ADC）系统，对于大幅提升国产晶体生长设备的自动化程度和产品质量是非常必要的。\n 本课题依据激光晶体生长的工艺要求，在多年研究工作的基础上开发了一种性能先进的上称重法自动直径控制系统。分析了上称重法自动直径控制技术的工作原理，从理论上给出了控制模型，在此基础上，研究了实现上称重法自动直径控制的机械结构、真空密封、电气控制、系统标定等关键技术，实现了晶体瞬时生长速率精确而平稳的自动控制，成功生长出φ2－3英寸Nd∶YAG晶体及LiNbO3晶体，解决了激光晶体生长中自动直径控制的难题。通过对该系统的静态试验及用户的实际生产状况来看，该上称重法自动直径控制系统能够大大减少晶体在直径方向上的波动，提高了晶体的内在品质及晶体生长设备的自动化水平，减少了人为因素对晶体生长的影响，降低了从事晶体生长人员的劳动强度，对晶体生长实现规模化、产业化具有重要意义。

关键词：激光晶体材料晶体生长自动直径控制上称重法

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大尺寸EFG蓝宝石晶体生长设备控制系统研究

大尺寸EFG蓝宝石晶体生长设备控制系统研究

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作者：仵晨西安理工大学

学位级别：硕士

蓝宝石晶体凭借着优良的物理、化学性能,在军事、工业、电子设备等领域都有广泛的应用。其中大尺寸的片状蓝宝石晶体常用作装甲车视窗的基材,目前国内针对大尺寸的片状蓝宝石晶体研究有限,多数仍然依赖进口。晶体生长炉作为制备晶体的设... 详细信息

蓝宝石晶体凭借着优良的物理、化学性能,在军事、工业、电子设备等领域都有广泛的应用。其中大尺寸的片状蓝宝石晶体常用作装甲车视窗的基材,目前国内针对大尺寸的片状蓝宝石晶体研究有限,多数仍然依赖进口。晶体生长炉作为制备晶体的设备,对蓝宝石晶体品质有着十分重要的影响。本文从等径控制为出发点,着力提高晶体生长设备的自动化程度。首先,全面分析掌握了各种常规蓝宝石晶体生长工作原理以及工艺特点,本文选择以生长大尺寸片状蓝宝石晶体的EFG(边缘限定薄膜供料提拉生长技术)方法作为重点,以晶体生长能量守恒定律和晶体生长等径控制原理为技术基础,研究等径控制策略。以LJB85型单晶炉为对象,对其中主要组成部分:提拉运动装置、提拉运动控制系统、上称重及温度控制系统等进行重点研究。从EFG工艺出发,设计了满足等径生长要求的晶体生长提拉运动装置,以此为对象完成了提拉运动控制系统设计研究。根据提拉运动功能要求,采用台湾永宏PLC作为电机控制器,联合伺服电机和伺服驱动器,以及合理的程序设计,保证提拉运动的精度。设计等径控制策略,以蓝宝石晶体的实际生长率和理论生长率作比较,二者数值不同从而调控温度的控径方法为基础,搭建上称重系统和温度控制系统的硬件平台,使用合理的接线方式进行设备之间的接线设计,并根据重量变送器的标准通讯协议和程序设计要求,使用C#.net进行上称重软件设计。最后搭建软件测试平台,使用水滴模拟蓝宝石晶体生长的实际过程,取得实验数据,绘制晶体理论生长率曲线,将实验结果与之比对,验证上称重软件的可靠性和等径控制方法的可行性。

关键词： EFG 等径控制上称重法蓝宝石晶体生长速率

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晶体生长超低速控制技术的研究

晶体生长超低速控制技术的研究

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作者：王延军北京化工大学

学位级别：硕士

人工晶体生长过程的关键控制技术以晶体生长运动装置低速控制、基于生长模型的等径控制和晶体生长系统可视化等技术最为重要。成份均匀、结构完整、缺陷少的高质量晶体生长主要受到生长控制技术和设备稳定精确运行等条件的制约,等径控... 详细信息

人工晶体生长过程的关键控制技术以晶体生长运动装置低速控制、基于生长模型的等径控制和晶体生长系统可视化等技术最为重要。成份均匀、结构完整、缺陷少的高质量晶体生长主要受到生长控制技术和设备稳定精确运行等条件的制约,等径控制精度决定着晶体生长的成败;低速运动的速度稳定性和速度跟踪精度主要受摩擦力矩、电机波动力矩等因素影响,高精度且稳定的晶体生长运动装置低速控制技术是等径生长的保障;晶体生长过程工艺参数复杂、可重复性差,摸索最佳的生长工艺参数周期长,费用高。依据激光晶体生长的工艺要求,完成了低速运动装置的系统设计,针对装置低速运行时摩擦转矩的不确定性带来的速度不稳定问题,采用具有预紧力的精密滚珠丝杆副和导轨副;通过负载转矩和转动惯量的计算,合理选择伺服电机,速度控制回路采用变增益的控制方案以抵消各种干扰因素。在分析了上称重法自动直径控制技术工作原理的基础上,研究了上称重法自动直径控制的机械结构、电气控制、系统标定等关键技术,实现了晶体瞬时生长速率精确而平稳的自动控制,解决了激光晶体生长中自动直径控制的难题。建立了晶体生长过程实时数据采集系统,实现了过程数据的备份、查询及分析。对提拉法生长晶体的工艺流程进行详细的分析,结合对结晶过程产生主要影响的因素,建立描绘晶体生长的物理模型,并对晶体的生长过程进行仿真建模,采用OpenGL编写计算机仿真软件,实现提拉法生长晶体的数据可视化。超低速控制技术系统设计方案确保了提拉装置的速度跟踪精度,提拉装置实时运行数据表明,速度跟踪误差小于1%,性能满足生产要求;该上称重法自动直径控制系统能够大大减少晶体在直径方向上的波动,波动偏差小于0.5mm,直径误差在±1%以内,提高了晶体的内在品质及晶体生长设备的自动化水平;晶体生长系统可视化研究在一定程度上解决了晶体生长的工艺试验难题,生长过程数据库实现了晶体生长过程的复现,数据表明晶体生长稳定。

关键词：晶体生长自动直径控制上称重法提拉装置数据可视化

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激光晶体生长自动直径控制（ADC）技术研究

激光晶体生长自动直径控制（ADC）技术研究

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作者：董淑梅西安理工大学

学位级别：硕士

本课题的主要研究对象是激光晶体生长设备中的核心技术—自动直径控制（ADC）技术。自动直径控制技术是Czochralski法（简称:Cz法）晶体生长设备的一项关键技术,随着晶体生长向优质大尺寸方向发展以及坩埚内投料量的加大,对晶体直径测... 详细信息

本课题的主要研究对象是激光晶体生长设备中的核心技术—自动直径控制（ADC）技术。自动直径控制技术是Czochralski法（简称:Cz法）晶体生长设备的一项关键技术,随着晶体生长向优质大尺寸方向发展以及坩埚内投料量的加大,对晶体直径测量和精度控制的要求也愈来愈高,研究开发技术先进、精度高、性能稳定可靠的自动直径控制（ADC）系统,对于大幅提升国产晶体生长设备的自动化程度和产品质量是非常必要的。本课题依据激光晶体生长的工艺要求,在多年研究工作的基础上开发了一种性能先进的上称重法自动直径控制系统。分析了上称重法自动直径控制技术的工作原理,从理论上给出了控制模型,在此基础上,研究了实现上称重法自动直径控制的机械结构、真空密封、电气控制、系统标定等关键技术,实现了晶体瞬时生长速率精确而平稳的自动控制,成功生长出φ2—3英寸Nd∶YAG晶体及LiNbO3晶体,解决了激光晶体生长中自动直径控制的难题。通过对该系统的静态试验及用户的实际生产状况来看,该上称重法自动直径控制系统能够大大减少晶体在直径方向上的波动,提高了晶体的内在品质及晶体生长设备的自动化水平,减少了人为因素对晶体生长的影响,降低了从事晶体生长人员的劳动强度,对晶体生长实现规模化、产业化具有重要意义。

关键词：晶体生长激光炉自动直径控制上称重法

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材料制备工艺

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电子科技文摘 2000年第10期 30-31页

0016254晶体提拉生长过程自适应智能控制系统[刊]/陈秋良//兵工自动化.—2000,(1).—8～12(D)针对上称重法大直径 Nd:YAG 晶体提拉生长过程,设计了一个由自适应 PID 控制与仿人智能模糊控制相结合的混合型自适应智能控制系统,实现了对Nd... 详细信息

0016254晶体提拉生长过程自适应智能控制系统[刊]/陈秋良//兵工自动化.—2000,(1).—8～12(D)针对上称重法大直径 Nd:YAG 晶体提拉生长过程,设计了一个由自适应 PID 控制与仿人智能模糊控制相结合的混合型自适应智能控制系统,实现了对Nd:YAG

关键词：晶体提拉生长智能控制系统自适应制备工艺仿人智能模糊控制上称重法相结合瞬时生长速率自动化大直径

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