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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 直线度
  • 1 篇 重复性
  • 1 篇 定位准确度
  • 1 篇 两维微位移工作台

机构

  • 1 篇 中国航空长城计量...

作者

  • 1 篇 曹航
  • 1 篇 崔岩梅
  • 1 篇 周自力

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=两维微位移工作台"
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排序:
纳米级两维微位移工作台的参数测试
收藏 引用
光学技术 2002年 第5期28卷 447-448,451页
作者: 崔岩梅 周自力 曹航 中国航空长城计量测试技术研究所 北京100095
为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差 ,介绍了其机械结构及工作原理 ,进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验 ,实验结果表明 ,工作台的定位准确度较高 ,运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正 。
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