检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：韦寿祺黄小东朱国坤秦玉江张建飞黄兴泉覃胤鸿费翔陆苇唐强刘新才 541004 广西壮族自治区桂林市空明西路创业工业园5-1号

本发明公开一种具备在线监测功能的电子束快速成型设备及其运行方法，包括中央控制单元、电子枪电源、偏扫电源、工作台电源、电子枪、工作室、装粉箱、工作台、二次电子收集器和二次电子变送器；二次电子收集器接收电子束微束扫描过程... 详细信息

标准号: CN106180718A

本发明公开一种具备在线监测功能的电子束快速成型设备及其运行方法，包括中央控制单元、电子枪电源、偏扫电源、工作台电源、电子枪、工作室、装粉箱、工作台、二次电子收集器和二次电子变送器；二次电子收集器接收电子束微束扫描过程产生的二次电子信息；二次电子变送器对上述二次电子信息进行整形放大后送入中央控制单元；中央控制单元对同步记录的二次电子信号进行分析处理，判断制造层是否存在缺陷。本发明利用二次反射电子信号对电子束快速成型设备制造元件过程进行质量在线监测，从而克服了光学监测手段易受污染的缺点。

关键词：二次电子电子束中央控制单元二次电子收集器快速成型设备变送器工作台电源二次电子信号在线监测功能质量在线监测电子枪电源电子信号二次反射分析处理光学监测扫描过程同步记录整形放大制造元件电子枪制造层工作室微束装粉送入污染

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送丝型电子束增材制造设备及其运行方法

送丝型电子束增材制造设备及其运行方法

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作者：韦寿祺朱国坤黄小东秦玉江张建飞黄兴泉覃胤鸿 541004 广西壮族自治区桂林市空明西路创业工业园5-1号

本发明公开一种送丝型电子束增材制造设备及其运行方法，其电子枪还进一步装设了偏扫装置和二次电子接收装置，偏扫装置和二次电子接收装置与中央控制单元连接；当电子枪发出的电子束加工完工件一固定段的制造层后，由中央控制单元控制... 详细信息

标准号: CN105904079A

本发明公开一种送丝型电子束增材制造设备及其运行方法，其电子枪还进一步装设了偏扫装置和二次电子接收装置，偏扫装置和二次电子接收装置与中央控制单元连接；当电子枪发出的电子束加工完工件一固定段的制造层后，由中央控制单元控制偏扫装置的励磁电流，使得电子枪的电子束回头快速扫描该固定段的制造层，二次电子接收装置将回扫过程中接收到的二次电子信号传送到中央控制单元，由中央控制单元同步记录该固定段上各扫描点二次电子信号；扫描结束后，中央控制单元对记录的二次电子信号数据进行分析处理，判断该固定段的制造层的边缘是否达到希望值，以及判断该固定段的制造层是否存在空洞缺陷，以便及时进行修补。

关键词：中央控制单元固定段制造层二次电子信号二次电子电子枪扫装置电子束电子束加工分析处理空洞缺陷快速扫描励磁电流同步记录制造设备扫描点回扫送丝装设修补扫描记录

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复合带电粒子检测器、带电粒子束装置以及带电粒子检测器

复合带电粒子检测器、带电粒子束装置以及带电粒子检测器

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作者：野间口恒典扬村寿英日本东京都

本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB‑SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照... 详细信息

标准号: CN104956461B

本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB‑SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照射条件，检测与调制周期同步的信号。另外，涉及对来自发光特性不同的2种以上的荧光体的发光进行分光而检测各自的信号强度，根据设定只向样本照射第一带电粒子束时的第一信号强度和只向样本照射第二带电粒子束时的第二信号强度的比率的机构的比率来处理信号。根据本发明，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，也能够只提取出因希望的带电粒子束产生的信号。例如在FIB‑SEM装置中，能够在使用了二次电子的FIB加工中进行SEM观察。

关键词：带电粒子束样本照射二次电子信号电子束照射离子束照射处理信号第二信号调制周期二次电子发光特性照射条件同步的荧光体检测分光调制发光观察加工

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复合带电粒子束检测器、带电粒子束装置以及带电粒子束检测器

复合带电粒子束检测器、带电粒子束装置以及带电粒子束检测器

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作者：野间口恒典扬村寿英日本东京都

本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB-SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照... 详细信息

标准号: CN104956461A

本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB-SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照射条件，检测与调制周期同步的信号。另外，涉及对来自发光特性不同的2种以上的荧光体的发光进行分光而检测各自的信号强度，根据设定只向样本照射第一带电粒子束时的第一信号强度和只向样本照射第二带电粒子束时的第二信号强度的比率的机构的比率来处理信号。根据本发明，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，也能够只提取出因希望的带电粒子束产生的信号。例如在FIB-SEM装置中，能够在使用了二次电子的FIB加工中进行SEM观察。

关键词：带电粒子束样本照射二次电子信号产生电子束照射离子束照射提取处理信号第二信号调制周期二次电子发光特性信号强度照射条件加工中同步的荧光体检测分光调制发光涉及设定观察各自进行

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扫描电子显微镜成像信号分析

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真空 2001年第6期38卷 42-44页

作者：陈长琦干蜀毅朱武王先路合肥工业大学机械与汽车工程学院安徽合肥230009

介绍了扫描电子显微镜 (SEM)的基本工作原理 ,着重分析了在 SEM初始电子束作用下 ,各种成像信号产生的方式及其特点 ,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为 SEM的最终信号源。针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷 ,... 详细信息

介绍了扫描电子显微镜 (SEM)的基本工作原理 ,着重分析了在 SEM初始电子束作用下 ,各种成像信号产生的方式及其特点 ,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为 SEM的最终信号源。针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷 ,介绍了解决办法 ,从而使 SEM的成像性能得以大幅提高。

关键词：扫描电子显微镜成像信号二次电子信号工作原理成像分辨率信号处理信号分析

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