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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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84 篇 专利
4 篇 学位论文
1 篇 期刊文献

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学科分类号

5 篇 工学
- 4 篇 光学工程
- 1 篇 机械工程
- 1 篇 仪器科学与技术
- 1 篇 电子科学与技术（可...
2 篇 理学
- 2 篇 物理学
1 篇 管理学
- 1 篇 管理科学与工程(可...

主题

5 篇 亚波长光栅结构
1 篇 各项异性等效材料
1 篇 多模y分支
1 篇 表面浸润性
1 篇 衍射效率
1 篇 针尖轨迹运动加工
1 篇 飞秒激光
1 篇 奇点
1 篇 多模光开关
1 篇 表面浮雕结构
1 篇 模式复用
1 篇 宇称-时间对称性
1 篇 偏振分束
1 篇 硅基光子学
1 篇 有限元法
1 篇 尺寸效应
1 篇 密集波导阵列
1 篇 还原氧化石墨烯
1 篇 模式调控
1 篇 垂直腔面发射激光...

机构

11 篇 东南大学
7 篇 浙江大学
6 篇 上海交通大学
5 篇 上海理工大学
5 篇 之江实验室
4 篇 中南民族大学
4 篇 中山大学
3 篇 中国计量大学
2 篇 华南师范大学
2 篇 江苏中天科技股份...
2 篇 河北工程大学
2 篇 天津大学
2 篇 苏州科沃微电子有...
2 篇 北京邮电大学
2 篇 华侨大学
2 篇 西安电子科技大学
2 篇 哈尔滨工业大学
2 篇 苏州大学
2 篇 中天宽带技术有限...
2 篇 电子科技大学

作者

8 篇 肖金标
4 篇 梁潇
4 篇 曹振洲
3 篇 时尧成
3 篇 冯吉军
3 篇 张艳
3 篇 韩佳晖
3 篇 何赛灵
3 篇 林宗兴
3 篇 梁家理
3 篇 邱学军
2 篇 李宫清
2 篇 刘文霞
2 篇 刘永
2 篇 王跃科
2 篇 刘凯
2 篇 凌进中
2 篇 郭振钊
2 篇 马蔚
2 篇 何辛涛

语言

89 篇 中文

检索条件"主题词=亚波长光栅结构"

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考虑尺寸效应的针尖轨迹运动加工亚波长光栅结构的工艺研究

考虑尺寸效应的针尖轨迹运动加工亚波长光栅结构的工艺研究

引用

作者：张津铭东北林业大学

学位级别：硕士

在特定条件下,具有亚微米级几何特征的表面周期结构可生成基于光学衍射的缤纷色彩,周期小于等于可见光波长时结构称为亚波长光栅结构。理论上亚波长光栅结构拥有仅产生两级衍射的光学能量调控能力。以亚波长光栅结构为代表的各类亚波长... 详细信息

在特定条件下,具有亚微米级几何特征的表面周期结构可生成基于光学衍射的缤纷色彩,周期小于等于可见光波长时结构称为亚波长光栅结构。理论上亚波长光栅结构拥有仅产生两级衍射的光学能量调控能力。以亚波长光栅结构为代表的各类亚波长结构在防伪加密、光传输网络、国防装备等领域应用广泛。基于针尖轨迹运动的单点金刚石加工通过超精密驱动模块逐点成形,可以实现成本低、安全环保、几何与表面精度高的大面积亚波长结构生成。实际加工中,受亚微米尺寸下驱动位移精度、轨迹运动参数以及刀具几何误差干涉等影响,往往无法得到符合理论期望的明亮结构颜色。此外,亚微米尺寸下材料塑性变形行为不同于宏观理论,例如几何必须位错的堆积与特定内禀尺寸下的非均匀变形对材料塑性流动的潜在影响,又如在局部晶粒变形中晶体位错滑移模式与几何约束产生的各向异性力学响应机制等。本文基于针尖轨迹运动加工工艺,通过实验与数值模拟建立了工艺参数、结构几何特征与衍射效率之间的联系,同时引入应变梯度理论与晶体塑性理论,研究了尺寸效应与各向异性力学响应对材料变形的影响,提出了工艺改进策略,最终得到了具有良好衍射特性的亚波长光栅结构。本文主要进行的工作有: (1)为建立工艺参数与结构色质量之间的定量可控关系,本文分析了不同工艺条件下结构的理论轮廓、仿真轮廓与实验轮廓几何特征的差异性与产生原因,同时基于时域有限差分方法计算不同轮廓的衍射参数,通过轮廓几何特征建立起结构衍射特性与工艺条件之间的联系。结果表明,结构高度是影响-1级衍射效率的重要几何特征,具体而言,衍射效率随结构高度的提升而增大,在高度相同的情况下,结构轮廓的几何形状对衍射效率无明显影响;其次,预测了给定周期下的最佳结构高度范围,并分析了高度一致性对衍射效率的影响。通过实验对相关分析进行了验证,得到了优化工艺参数,最终获得了衍射效率超过80%的V形复合亚波长结构。 (2)为分析几何必须位错对亚波长光栅结构加工力学响应的影响,本文引入低阶应变梯度理论CMSG理论,研究了因几何必须位错堆积产生的材料非均匀变形引起的尺寸相关塑性行为变化。分别对单一压痕、旋转轨迹运动过程中应变梯度效应对材料变形行为的影响进行研究。结果表明,对于单一快速压痕过程,压痕表面临近区域的几何必须位错累积将导致更大的加工硬化,从而导致了更大的针尖载荷和更小的表面堆积高度,提高了材料硬度,对材料的塑性流动造成了明显的阻碍,加工尺寸越小尺寸效应越明显,需要设置合理的加工尺寸避免硬度的急剧增长对材料成形的影响。 (3)为考虑晶粒内部位错滑移的各向异性特征对材料变形行为的影响,本文采用晶体塑性有限元方法研究了当加工尺寸与晶粒尺寸相当时,单晶与双晶材料的各向异性变形响应,总结了针尖轨迹运动加工亚波长结构中出现的若干变形与应力分布模式,分析了双晶晶界对位错滑移以及结构成形的影响,研究了工艺参数与材料属性对相关模式的改变,从而得到有利于位错滑移变形的工艺条件。综上所述,本文对旋转轨迹运动加工亚波长光栅结构工艺中结构的几何特征对衍射特性的影响进行了研究,同时,基于应变梯度理论与晶体塑性理论分析了材料微尺度的不均匀应变分布与位错滑移的各向异性机制对亚波长光栅结构塑性变形产生的影响,通过对结构几何特征与塑性变形机理实现相关的工艺参数优化。

关键词：针尖轨迹运动加工亚波长光栅结构尺寸效应有限元法衍射效率

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一种基于亚波长光栅结构的弯曲波导及设计方法

一种基于亚波长光栅结构的弯曲波导及设计方法

引用

作者：朱凝王娟丽孙尚森魏波郑晓明邵军 510631 广东省广州市天河区中山大道西55号华南师范大学

本发明涉及基于亚波长光栅结构的弯曲波导及其设计方法，其包括设置有多个依次排列的亚波长非均匀梯形光栅结构的输入直波导部和输出直波导部，还包括设置有多个依次排列的亚波长均匀梯形光栅结构的圆弧波导部，非均匀梯形光栅结构沿其... 详细信息

标准号: CN112379478B

本发明涉及基于亚波长光栅结构的弯曲波导及其设计方法，其包括设置有多个依次排列的亚波长非均匀梯形光栅结构的输入直波导部和输出直波导部，还包括设置有多个依次排列的亚波长均匀梯形光栅结构的圆弧波导部，非均匀梯形光栅结构沿其外侧的占空比大于或等于其内侧的占空比，其外侧与其内侧的占空比之比自输入直波导部或输出直波导部一侧朝向圆弧波导部一侧渐变，均匀梯形光栅结构沿其外侧的占空比小于其内侧的占空比；上述波导部为多模波导，在其波导高度方向上支持一个传输模式，在宽度方向上支持两个或以上的传输模式；该弯曲波导有效减小了辐射损耗和模间失配，提高了传输效率，达到了实现其低损耗、低串扰、高集成度的要求。

关键词：占空比波导输出直波导输入直波导传输模式光栅结构均匀梯形梯形光栅弯曲波导依次排列非均匀亚波长亚波长光栅结构传输效率多模波导辐射损耗高集成度低串扰低损耗渐变减小失配

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具有宽频段光能存储特性的亚波长光栅结构及其制备方法

具有宽频段光能存储特性的亚波长光栅结构及其制备方法

引用

作者：沈少鑫刘雯萱曾越 362000 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号

本发明公开了一种具有宽频段光能存储特性的亚波长光栅结构及其制备方法，涉及先进光学功能超材料设计及微纳加工技术领域，该亚波长光栅结构包括从下至上依次设置的硅基底、第一铝金属薄膜层、介质隔绝层和介质光栅层，介质光栅层设有... 详细信息

标准号: CN114895394A

本发明公开了一种具有宽频段光能存储特性的亚波长光栅结构及其制备方法，涉及先进光学功能超材料设计及微纳加工技术领域，该亚波长光栅结构包括从下至上依次设置的硅基底、第一铝金属薄膜层、介质隔绝层和介质光栅层，介质光栅层设有以周期宽度周期性间隔设置的脊部，相邻两个脊部之间设有沟槽，脊部的周期宽度远小于入射光的波长，介质光栅层的脊部的顶部和侧壁以及沟槽的底部覆盖有第二铝金属薄膜层，第二铝金属薄膜层具有非均匀厚度，解决现有纳米结构加工领域中难以大面积制备且流程复杂的问题，从而达到便于高质量的长程有序制备，制备产品均匀性好、多参数可调的效果，该结构具有显著的大角度宽频段光能存储及非线性谐波偏振增强特性。

关键词：脊部制备铝金属薄膜介质光栅亚波长光栅结构光能存储宽频段纳米结构加工微纳加工技术非线性谐波周期性间隔长程有序均匀性好先进光学依次设置超材料多参数非均匀隔绝层可调的入射光波长侧壁硅基偏振覆盖

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基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器

基于亚波长光栅结构的TE<Sub>0</Sub>模式阻塞滤波器

引用

作者：曹振洲肖之伟梁潇 430074 湖北省武汉市洪山区民族大道中南民族大学

本发明公开了基于亚波长光栅结构的TE0模式阻塞滤波器，包括矩形二氧化硅基板，还包括设置在矩形二氧化硅基板上的第一总线波导和第二总线亚波长光栅波导，第一总线波导包括第一圆弧波导、第二圆弧波导、第一直波导、第三圆弧波导和第... 详细信息

标准号: CN111708115A

本发明公开了基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，包括矩形二氧化硅基板，还包括设置在矩形二氧化硅基板上的第一总线波导和第二总线亚波长光栅波导，第一总线波导包括第一圆弧波导、第二圆弧波导、第一直波导、第三圆弧波导和第四圆弧波导，第二总线亚波长光栅波导包括沿直线依次连接的第二直波导、亚波长光栅波导和第三直波导。本发明结构紧凑，便于集成，功能配置灵活，滤波性能好。

关键词：波导亚波长光栅二氧化硅基板总线波导直波导总线亚波长光栅结构阻塞滤波器功能配置滤波性能依次连接灵活

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一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件

一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件

引用

作者：王钦华夏傑孙倜陆颢文 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号

本发明公开了一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件，所述偏振器件包括基底和薄膜结构；所述基底上具有光栅，所述薄膜结构设置在所述光栅的顶部和底部；所述薄膜结构包括至少两层金属层和至少一层介质层，其中，每层所述介质层均位于... 详细信息

标准号: CN110308508B

本发明公开了一种基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件，所述偏振器件包括基底和薄膜结构；所述基底上具有光栅，所述薄膜结构设置在所述光栅的顶部和底部；所述薄膜结构包括至少两层金属层和至少一层介质层，其中，每层所述介质层均位于两个所述金属层之间。本发明实施例的偏振器件基于多腔亚波长光栅结构的偏振器件为实现超带宽，性能优异，容易制备的偏振器件提供了一个新的思路。

关键词：偏振器件薄膜结构亚波长光栅结构光栅介质层金属层多腔基底两层制备带宽

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基于亚波长光栅结构的可调选频滤波器

基于亚波长光栅结构的可调选频滤波器

引用

作者：曹振洲梁潇邱学军 430074 湖北省武汉市洪山区民族大道中南民族大学

本发明公开了基于亚波长光栅结构的可调选频滤波器，包括矩形二氧化硅基板，还包括矩形硅块、第一总线波导、第二总线波导和微环谐振腔，矩形硅块嵌设在二氧化硅基板的底部，微环谐振腔位于矩形二氧化硅基板的上表面的几何中心处，第一... 详细信息

标准号: CN109597219A

本发明公开了基于亚波长光栅结构的可调选频滤波器，包括矩形二氧化硅基板，还包括矩形硅块、第一总线波导、第二总线波导和微环谐振腔，矩形硅块嵌设在二氧化硅基板的底部，微环谐振腔位于矩形二氧化硅基板的上表面的几何中心处，第一总线波导和第二总线波导以微环谐振腔为中心对称设置在矩形二氧化硅基板的上表面，本发明结构新颖，便于集成；直接通过加载电压，既可以调节谐振波长，调谐方便；滤波性能好。

关键词：二氧化硅基板总线波导微环谐振腔上表面硅块亚波长光栅结构滤波器中心对称设置调谐几何中心加载电压滤波性能谐振波长

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一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器

一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器

引用

作者：肖金标钟宛芩 211102 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器，属于硅基光子学领域。该功分器部件包括输入波导(1)、输入锥形波导(2)、多模干涉耦合区(3)、第一输出锥形波导(4)、第二输出锥形波导(5)、第一输出波导(6)、第二输出... 详细信息

标准号: CN110618487B

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器，属于硅基光子学领域。该功分器部件包括输入波导(1)、输入锥形波导(2)、多模干涉耦合区(3)、第一输出锥形波导(4)、第二输出锥形波导(5)、第一输出波导(6)、第二输出波导(7)、输入端锥形亚波长光栅结构(8)、亚波长光栅结构(9)。本发明结合了亚波长光栅结构和多模干涉耦合器，利用亚波长光栅结构的折射率可调性以及双折射特性，实现功分器的偏振不敏感。本发明功分器具有插入损耗低、反射损耗低、工作带宽大、结构紧凑、制造方便等优势，且采用绝缘体上硅材料系统，便于与其他器件集成。

关键词：亚波长光栅结构功分器锥形波导偏振不敏感输出波导多模干涉耦合器多模干涉耦合区绝缘体上硅材料多模干涉型光子学领域双折射特性插入损耗反射损耗器件集成输入波导输出工作带可调性输入端折射率硅基制造

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基于亚波长光栅结构的偏振无关定向耦合器

基于亚波长光栅结构的偏振无关定向耦合器

引用

作者：田永辉陈力周旭东肖恢芙袁明瑞韩旭蒋永恒张朴马明阳尹若宇郝沁汾 730000 甘肃省兰州市城关区天水南路222号

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的偏振无关定向耦合器，包括镜像设置的两根波导，每根波导均包括依次相连的输入直波导、输入锥形波导、耦合直波导、输出锥形波导和输出直波导，输入直波导宽度与输出直波导宽度相同，输入直波导宽... 详细信息

标准号: CN116400460A

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的偏振无关定向耦合器，包括镜像设置的两根波导，每根波导均包括依次相连的输入直波导、输入锥形波导、耦合直波导、输出锥形波导和输出直波导，输入直波导宽度与输出直波导宽度相同，输入直波导宽度大于耦合直波导宽度；输入锥形波导、耦合直波导和输出锥形波导的两侧分别与第一光栅波导和第二光栅波导相连，第一光栅波导和第二光栅波导均为亚波长光栅；第一光栅波导的占空比大于第二光栅波导的占空比。该定向耦合器充分发挥亚波长光栅调控模式折射率以及增强倏逝耦合的特性，可以在实现偏振无关耦合这一功能的基础上进一步缩减了器件的尺寸，为未来大规模、高密度集成化的偏振无关系统提供关键性元器件。

关键词：光栅波导锥形波导耦合输入直波导偏振无关直波导定向耦合器输出直波导亚波长光栅占空比波导亚波长光栅结构高密度集成模式折射率镜像设置系统提供依次相连输出耦合的元器件调控

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一种基于亚波长光栅结构的硅光啁啾切趾光栅

一种基于亚波长光栅结构的硅光啁啾切趾光栅

引用

作者：王继厚余辉尹坤张强刘士圆郭清水 311121 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的硅光啁啾切趾光栅，包括：输入的倒锥形端面耦合器和硅光啁啾切趾光栅。其中，输入的倒锥形端面耦合器由亚波长光栅组成，可通过微调亚波长光栅的占空比和光栅周期，有效地增大输入光耦合效率。该... 详细信息

标准号: CN117075265B

本发明公开了一种基于亚波长光栅结构的硅光啁啾切趾光栅，包括：输入的倒锥形端面耦合器和硅光啁啾切趾光栅。其中，输入的倒锥形端面耦合器由亚波长光栅组成，可通过微调亚波长光栅的占空比和光栅周期，有效地增大输入光耦合效率。该硅光啁啾切趾光栅采用啁啾的方式实现了在厘米长度范围内具有数百皮秒的高时延量；采用波导中间刻蚀孔洞的方式，通过调节孔洞的尺寸，有效地抑制光栅旁瓣，增大了边模抑制比；采用螺旋波导的方式，使其结构紧凑，尺寸较小；在光栅区上方施加热电极的方式，有效地实现了波长的调谐。最终可实现数百皮秒的高时延的具有箱型响应谱线的低损耗片上器件。

关键词：切趾光栅硅光孔洞亚波长光栅端面耦合倒锥形有效地亚波长光栅结构调谐边模抑制比有效地实现光栅光栅周期螺旋波导耦合效率低损耗光栅区热电极时延量输入光响应谱占空比波长波导刻蚀旁瓣时延箱型微调施加

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基于亚波长光栅结构的可调选频滤波器

基于亚波长光栅结构的可调选频滤波器

引用

作者：曹振洲梁潇邱学军 430074 湖北省武汉市洪山区民族大道中南民族大学

标准号: CN109597219B

关键词：二氧化硅基板总线波导微环谐振腔上表面硅块亚波长光栅结构滤波器中心对称设置调谐几何中心加载电压滤波性能谐振波长

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