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主题

  • 3 篇 介质阻挡微放电
  • 1 篇 时间分辨
  • 1 篇 等离子体
  • 1 篇 无掩膜加工
  • 1 篇 粒子模拟
  • 1 篇 有限元仿真
  • 1 篇 氮化硅

机构

  • 1 篇 大连理工大学
  • 1 篇 光电系统信息控制...
  • 1 篇 东华大学
  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 zhou hong-ying
  • 1 篇 li liang
  • 1 篇 刘鑫
  • 1 篇 guo ying
  • 1 篇 xiong lu-yao
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  • 1 篇 李强
  • 1 篇 qin wen-chao
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  • 1 篇 ding ke
  • 1 篇 周鸿颖
  • 1 篇 丁可

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  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=介质阻挡微放电"
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介质阻挡微放电过程的二维粒子模拟计算
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东华大学学报（自然科学版） 2016年 第1期42卷 117-123,130页
作者： 秦文超 熊路遥 李良 郭颖 周鸿颖 丁可 东华大学理学院 上海201620
针对介质阻挡微放电的空间尺度较小以及较难进行实验诊断,利用二维PIC-MCC(质点网格法-蒙特卡罗碰撞)对其放电过程进行模拟研究,得到放电过程中带电粒子密度、电势与电场的分布,以及离子入射角度和入射能量分布.模拟结果表明:带电粒子... 详细信息
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用于无掩膜加工的介质阻挡微放电器阵列的制作及性能表征
用于无掩膜加工的介质阻挡微放电器阵列的制作及性能表征
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作者： 李强 中国科学技术大学
学位级别：硕士
在半导体制造和微机电系统领域,等离子体技术是一种不可或缺的加工手段。为了实现任意图形的无掩膜加工,课题组之前提出利用倒金字塔微空心阴极放电器阵列,来实现对样品高精度、高效率的无掩膜扫描加工。该微放电器阵列采用的是电极-绝... 详细信息
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大气压下氮气介质阻挡微放电中振动温度时间分辨的研究
大气压下氮气介质阻挡微放电中振动温度时间分辨的研究
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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
作者： 刘鑫 徐勇 王毕艺 李建峰 光电系统信息控制技术国家级重点实验室 大连理工大学等离子体物理化学实验室
我们利用发射光谱法,使用针-板式电极装置,在大气压氮气介质阻挡微放电中,首次对氮分子第二正带系（CП→BП）发射光谱的时间分辨谱线进行分析,根据振动带序发射光谱强度计算得出N（C,v）振动温度,并研究了压强及放电电压对氮分子（C... 详细信息
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