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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 计算机科学与技术...
    • 1 篇 软件工程

主题

  • 1 篇 任意形状图形
  • 1 篇 灰度掩模
  • 1 篇 铺路法
  • 1 篇 objectarx
  • 1 篇 设计算法

机构

  • 1 篇 大连理工大学

作者

  • 1 篇 冼宗明
  • 1 篇 杜立群
  • 1 篇 王大志

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=任意形状图形"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
任意形状图形的灰度掩模图的设计系统研究
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纳米技术与精密工程 2013年 第2期11卷 152-158页
作者: 杜立群 冼宗明 王大志 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连116024 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室 大连116024
灰度掩模技术是制作三维微纳结构的有效方法之一,灰度掩模图设计是灰度掩模技术的重要组成部分.目前,在微机械器件制作领域中,通常只给出常用规则形状三维结构对应的灰度掩模图的设计方法,对于任意形状图形的灰度掩模图设计鲜有报道.本... 详细信息
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