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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 优化设计模拟
  • 1 篇 谐振传感器
  • 1 篇 锆钛酸铅
  • 1 篇 压电微悬臂梁

机构

  • 1 篇 复旦大学
  • 1 篇 合肥学院

作者

  • 1 篇 黄宜平
  • 1 篇 周嘉
  • 1 篇 王锡明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=优化设计模拟"
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排序:
具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计
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复旦学报(自然科学版) 2010年 第6期49卷 674-680,695页
作者: 王锡明 周嘉 黄宜平 合肥学院机械系 安徽合肥230022 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室微电子学系 上海200433
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函... 详细信息
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