检索结果-内蒙古大学图书馆

Engineering 2023年第5期24卷 184-191,I0005页

作者： Zhifei Han Jun Hu Licheng Li Jinliang He State Key Lab of Power Systems Department of Electrical EngineeringTsinghua UniversityBeijing 100084China China Southern Power Grid Guangzhou 510623China

随着智能电网和能源互联网的发展,大规模实时电压/电场监测成为电力系统的迫切需求,这依赖于先进传感器件的大规模布置。电场测量在电力系统中具有重要意义。一方面,基于电场测量的电压反演可以实现高电压的非接触式测量,替代传统高压... 详细信息

随着智能电网和能源互联网的发展,大规模实时电压/电场监测成为电力系统的迫切需求,这依赖于先进传感器件的大规模布置。电场测量在电力系统中具有重要意义。一方面,基于电场测量的电压反演可以实现高电压的非接触式测量,替代传统高压互感器,从而减少测量设备绝缘成本和安装难度;另一方面,电场测量还可以被应用于设备故障诊断、雷电预警、电磁环境测量等应用场景。传统的电场测量设备,如场磨等,往往体积大、成本高,无法大规模灵活布置。本文提出了一种静电力驱动的压阻式微型电场传感器。传感器被设计为四悬臂结构,悬臂在静电力的驱动下产生位移和应变,通过压阻材料转化为可测信号。所提出的传感器具有尺寸小、成本低、功耗低、易于批量生产的优点。同时,该传感器该具有高信噪比、高分辨率及宽电场测量范围。实验结果表明,所提出的传感器具有1.1~1100.0kV·m^(-1)的线性测量范围、112 V·m^(-1)·Hz^(-1/2)的交流电场分辨率以及496 Hz的截止频率。这一微型电场传感器将在智能电网及能源互联网中具有广泛的应用价值。

关键词：传感器件电场测量非接触式测量静电力驱动能源互联网交流电场悬臂结构压阻

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基于NiFe_(2)O_(4)-SE的电势型氨气传感器件的性能研究

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传感技术学报 2021年第12期34卷 1603-1608页

作者：杨斌王瑜琛谢宁王超肖建中安康学院化学化工学院纳米新材料工程技术研究中心陕西安康725000 华中科技大学材料成型与模具技术国家重点实验室湖北武汉430074

使用溶胶-凝胶法制备并在900℃煅烧6 h获得了NiFe_(2)O_(4) 粉体,用于制备敏感电极。采用流延技术制备了5YSZ膜和Al_(2)O_(3) 膜,并在膜上分别丝网印刷了参比电极和加热电极,将它们叠层并在1 480℃烧结后,再印刷NiFe_(2)O_(4) 敏感电极... 详细信息

使用溶胶-凝胶法制备并在900℃煅烧6 h获得了NiFe_(2)O_(4) 粉体,用于制备敏感电极。采用流延技术制备了5YSZ膜和Al_(2)O_(3) 膜,并在膜上分别丝网印刷了参比电极和加热电极,将它们叠层并在1 480℃烧结后,再印刷NiFe_(2)O_(4) 敏感电极并在1 150℃烧结,最终获得了电势型NH_(3)传感器件。在11 V、13 V和15 V的加热电压下测试了器件的NH;响应性能,响应性能在13 V和15 V时较稳定,NH;敏感度分别为-47.24 mV/decade和-28.57 mV/decade。并在13 V加热电压下研究了器件对320×10^(-6) 和200×10^(-6) NH_(3)混入不同浓度NO_(2) 后的响应信号,发现测试气氛中NH_(3)浓度较高时的抗NO_(2) 信号干扰能力较强。还在此加热电压下研究了氧气浓度由10%变化到7%、4%和14%时器件对320×10^(-6) NH_(3)的响应信号,发现氧气浓度低时的响应信号变化率较大。

关键词： NH 传感器件电势型 NiFe_(2)O_(4)-SE 加热电压性能稳定性

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氧化物功能薄膜材料在柔性传感器件中的应用

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中国科学：信息科学 2018年第6期48卷 635-649页

作者：潘泰松廖非易姚光王宇轩高敏林媛电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054 南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京210016

柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器... 详细信息

柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器件中得到了广泛的应用.将氧化物功能薄膜应用于柔性传感器件,有望进一步提高柔性传感器件的性能,并为新型柔性传感器件的设计提供材料保障.本文分析了目前氧化物功能薄膜在柔性传感器件中应用所面临的重点科学技术问题,并介绍了近年来在基于氧化物功能薄膜的柔性传感器件所涉及的关键技术和器件应用上的研究进展.

关键词：无机功能材料氧化物功能薄膜柔性器件传感器件

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基于石墨烯复合微结构的光学非线性调控特性与传感器件研究

基于石墨烯复合微结构的光学非线性调控特性与传感器件研究

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作者：安宁电子科技大学

学位级别：博士

信息光子器件作为光物联系统的核心节点,已被公认为重要的研究方向。作为当代信息科学的基石之一,服务精密测量、物联感知、空天正时、精确制导、医疗诊断等多个重要领域。而在众多类型的信息光子器件中,以调控器为代表的信息调制器件,... 详细信息

信息光子器件作为光物联系统的核心节点,已被公认为重要的研究方向。作为当代信息科学的基石之一,服务精密测量、物联感知、空天正时、精确制导、医疗诊断等多个重要领域。而在众多类型的信息光子器件中,以调控器为代表的信息调制器件,操纵光信号实现信息的加载,是“控制器”;以传感器为代表的信息感知器件,感应真实世界信息,是“神经元”,因此光子调控与传感器件的研究,既是当前基础前沿研究的热点主题、也是全球信息技术的战略高地、更是我国卡脖子的关键痛点之一。随着物联网需求的提升,光子调控与传感器件的发展面临性能瓶颈,难以满足更快速度、更低能耗、更宽波段、更高灵敏和更方便可控的广泛应用需求,因此亟需探索新原理、结合新材料、开发新结构。石墨烯自从问世以来就得到了研究人员的广泛关注,并以其崭新和卓越的物理化学特性,特别是光子、电子、声子的灵活交叉调控和传感增敏特性,为光子调控与传感器件开辟了新的器件设计和功能实现路径,驱动其性能革新。然而,石墨烯难以单独作为光学器件加以使用,其在信息光子器件中的性能发挥依赖与之结合的光学微结构。因此对石墨烯复合微结构光子器件的研究,不仅能够揭示光与物质相互作用的深层次机制,更能直接推动光子调控与传感器件的功能扩展与性能提升,具有重要的研究意义。近年来,基于石墨烯复合微结构的调控与传感器件研究已经取得了众多实质性进展,但由于目前复合微结构调控响应机制的局限性和结构设计的单一性,光子调控与传感器件目前存在两个关键科学挑战:调控器件多元调控难,限制信息的灵活加载;传感器件敏感增强难,限制信息的精确获取。因此,通过探索石墨烯复合微结构调控响应新机理、创新石墨烯复合微结构设计制备新方法、实现性能优异的调控和传感新器件,将有利于推动石墨烯信息光子器件进一步发展。本论文在国家自然科学基金项目(G0561975025,U2130106)、国家科技部重点研发项目(2021YFB2800602)的支持下,以光学微结构为核心载体、石墨烯为赋能介质,探索具有新功能和高性能的石墨烯复合微结构信息光子调控与传感器件。本论文的创新点及研究内容主要包括: 1.提出了石墨烯复合微结构光学非线性调控和传感响应新机理。具体包括: (1)探明了影响石墨烯复合微结构二阶与三阶非线性过程的物理因素。首先提出了非线性差频过程的激发和调控机理,在同时满足非线性差频过程相位匹配条件和石墨烯等离激元色散的情况下,通过改变石墨烯费米能级可实现对二阶非线性系数和石墨烯等离激元色散的调控;其次提出了四波混频过程的激发和调控机理,在满足四波混频相位匹配条件的情况下,通过改变石墨烯费米能级可实现对三阶非线性系数的调控;最后提出了石墨烯带内饱和吸收的调控机理,在满足饱和吸收阈值的情况下,通过改变泵浦光强可实现对与带内饱和吸收过程相关的石墨烯带内电导率的调控。 (2)揭示了提升石墨烯复合微结构综合传感性能的响应机制。首先提出了基于非线性转换效率“陡降”特性的敏感增强机制,该特性可从物理机制上提升器件的传感性能;其次提出了基于布里渊激光和锁模光机微梳“高稳定、低噪声”特性的性能提升机制,该特性可从技术方案上提升器件的传感性能;最后提出了基于“双模”和“多模布里渊”特性的多组分气体探测机制,该特性可从分析策略上扩展器件的传感应用范围。 2.制备了一系列多维、高效的石墨烯光纤复合新结构。具体包括: (1)光纤微结构制备方面:通过机械抛磨法制备出抛磨长度、抛磨深度可控的高质量D形光纤;通过紫外激光相位掩模法和机械抛磨法制备出D形光纤有源微腔;通过大功率光纤熔接机制备出品质因子超过10～8的光纤微球腔。 (2)石墨烯光纤复合微结构制备方面:将化学气相沉积法制备的石墨烯通过湿法转移技术转移至D形光纤抛磨面制备出石墨烯异质D形光纤和石墨烯D形光纤有源微腔复合微结构;将机械剥离法制备的石墨烯通过干法转移技术转移至光纤微球腔表面制备出石墨烯光纤微球腔复合微结构。 3.实现了一系列具备新功能和高性能的石墨烯复合微结构新器件。具体包括: (1)实现了基于石墨烯复合微结构的非线性调控新器件。首先,采用脉冲激光泵浦实现了基于石墨烯光纤复合微结构的四波混频激发,并通过外加电压改变石墨烯费米能级实现了四波混频转换效率的调控;其次采用对向泵浦的方法实现了基于石墨烯光纤复合微结构的非线性差频激发,并通过外加电压改变石墨烯费米能级实现了非线性差频的幅频动态调控;最后利用金属超表面的局域场增强效应显著增强了太赫兹波与石墨烯的相互作用,并通过脉冲激光泵浦改变石墨烯电导率实现了高性能的全光太赫兹调控。 (2)实现了基于石墨烯复合微结构的传感新器件。首先基于石墨烯异质D形光纤复合微结构的非线性转换效率“陡降”特性,实现了探测极限达单分子量级的气体传感器;其次基于石墨烯D形光纤有源微腔复合微结构的“双模”特性,实现了高灵敏

关键词：石墨烯复合微结构非线性光学调控器件传感器件

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碳化硅薄膜材料及其在高温传感器件中的应用

碳化硅薄膜材料及其在高温传感器件中的应用

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作者：雷永明中国科学院上海冶金研究所

学位级别：博士

众所周知，单晶硅是当今微电子器件的主要基底材料。硅基器件占了IC和分立器件的绝大部分份额。然而，作为电子器件用材料，单晶硅存在以下不足：（i）带隙相对太小（Eg＝1．1eV）；（ii）带隙是间接带隙；（... 详细信息

众所周知，单晶硅是当今微电子器件的主要基底材料。硅基器件占了IC和分立器件的绝大部分份额。然而，作为电子器件用材料，单晶硅存在以下不足：（i）带隙相对太小（Eg＝1．1eV）；（ii）带隙是间接带隙；（iii）带隙不能通过合金化来调节；（iv）由于带隙相对较小，硅的化学稳定性较一般。这些缺陷限制了硅基电子器件只能在结温大致 150℃左右工作；限制了硅作为光学与光电子材料的应用；也限制了它在腐蚀性环境中的应用。由于它的这些缺点都与其能带大小与性质有关，人们开始在宽带隙的半导体材料，如碳化硅等，寻求对上述局限的突破。与硅相比，碳化硅具有更宽的禁带宽度，更高的击穿电场，高的热导率和高的饱和速率。这些特性使它可望用于紫外传感器以及高温、高频、大功率电子器件。此外，它的化学惰性以及抗辐射性能对于工作在恶劣环境下的传感器来说也颇具吸引力。本论文研究了利用直流磁控溅射法在硅和SOI上制备碳化硅薄膜的工艺，研究了各种沉积参数对薄膜质量的影响，包括组分、结晶质量、表面形貌等。研究发现衬底温度从850℃提高到900℃会较明显促进碳化硅薄膜的结晶。沉积薄膜时系统中的甲烷分压则对薄膜的组分起着重要的影响，薄膜中碳的含量随甲烷分压的增加而增加，在一定的甲烷分压范围，薄膜组分变化较小，而薄膜的结晶状况变化较大，说明甲烷分压，也即气氛中活性反应粒子的浓度对碳化硅薄膜的晶体结构也有一定的影响。最后我们通过优化的工艺过程，在相对较低的沉积温度下（约900℃）制得了由一定的择优取向的立方碳化硅晶体组成的薄膜。使用有效介质方法，结合常规的传递矩阵法计算多层介质膜系的反射谱，研究了磁控溅射碳化硅薄膜在中远红外波段的反射谱。用红外反射谱方法分析了薄膜的相组成，也分析了SICOI结构的红外反射谱，结果表明，红外反射谱对结构特征、薄膜组成等变化是敏感的。对碳化硅的离子束刻蚀进行了研究。使用宽束考夫曼源，混合氩氧（氧含量从0， 1／4到 1／2）离子束，以500eV的离子束能量，0．3mA／cm2的束流密度，得到了较好的结果。实验表明，氧的引入大大降低了铝掩膜和碳化硅薄膜的刻蚀速率，并且铝／碳化硅刻蚀速率比呈先下降后上升的趋势，表明铝在含氧离子束的刻蚀速率首先受到明显影响并很快达到饱和，在氧含量超过一定限度后，基本维持不变，而此时由于碳化硅刻蚀速率的下降而导致刻蚀速率比的上升。碳化硅簿膜材料及其在高温传感器件中的应用通过离子束溅射在碳化硅／硅和碳化硅／SOI薄膜上沉积金属镍，以及沉积后退火，研究了碳化硅与金属镍之间的扩散等相互作用。研究发现，离子束沉积

关键词：碳化硅薄膜直流磁控溅射法卢瑟福背散射磁控溅射红外反射谱传感器传感器件

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基于超薄纳米薄膜的传感器件研究

基于超薄纳米薄膜的传感器件研究

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作者：马喆中国科学院大学

学位级别：博士

纳米薄膜材料通常指厚度在纳米量级，而横向尺寸比其厚度至少大两个数量级，且可独立存在或附着在衬底上的固体薄膜。由于表面原子占比较高，纳米薄膜材料对外界环境的变化更为敏感，因此适合用于传感器件的制作。在众多纳米薄膜中，厚... 详细信息

纳米薄膜材料通常指厚度在纳米量级，而横向尺寸比其厚度至少大两个数量级，且可独立存在或附着在衬底上的固体薄膜。由于表面原子占比较高，纳米薄膜材料对外界环境的变化更为敏感，因此适合用于传感器件的制作。在众多纳米薄膜中，厚度仅为单个碳原子的石墨烯，更是自其被发现以来便因优异的物理化学性质而受到广泛关注。本论文使用CVD生长的石墨烯，实现了石墨烯自身三维微结构的塑造，并基于拉曼增强散射将其应用于高灵敏分子传感器;实现了对石墨烯上不同种类的薄膜的高效转移，并将这些薄膜与单晶硅纳米薄膜制备的柔性光电传感器相结合应用于柔性多功能传感器，主要取得如下研究成果:　　(1)使用锗衬底上的石墨烯，对单层石墨烯微管的制备以及石墨烯上薄膜的剥离和转移进行了研究。利用自卷曲纳米技术，通过电子束蒸发向单层石墨烯表面沉积带有预应变的应力层薄膜，并以腐蚀石墨烯下方衬底的方式进行释放，使应力层薄膜驱动单层石墨烯卷曲成三维微管结构。此外，利用石墨烯表面平整且无悬挂键的特点，我们探索了石墨烯上薄膜的剥离和转移。我们在石墨烯上制备了金属钯、氧化锆和水凝胶等不同材料组成的薄膜，并在聚乙烯醇(polyvinylalcohol，PVA)辅助下实现了高效剥离。剥离至PVA上的薄膜可复制石墨烯原子级平整的表面，并可进一步转移至不同的目标衬底上，且具有较高的转移成功率和形貌的完整性，可应用于微纳器件的制备。　　(2)基于石墨烯拉曼增强效应(GERS)，通过拉曼光谱的测试对单层石墨烯微管在光学分子传感方面的应用进行了研究。我们使用罗丹明分子(Rhodamine6G，R6G)作为探测目标分子对石墨烯微管的分子传感性能进行了表征。通过对石墨烯微管管径的调控，发现不同管径的石墨烯微管表现出了不同的探测性能，其中小管径的石墨烯微管由于具有更多的圈数，可吸附更多的R6G分子从而在拉曼光谱上具有更强的特征峰。我们制备的石墨烯微管对R6G溶液中R6G分子的可探测浓度低至1E-11M，表明其具有高灵敏度。同时，在持续激光照射和在空气环境中长时间暴露后，石墨烯微管仍可对R6G分子保持稳定的探测，而在多个器件的测试比较中，不同器件之间的拉曼光谱结果差异甚微，具有良好的可重复性。　　(3)通过转移具有刺激响应特性的薄膜材料，结合柔性硅纳米薄膜光电探测器，成功制备了柔性多功能传感器。基于“先器件后转移”的工艺思路，使用SOI顶层硅纳米薄膜制备了柔性硅纳米薄膜光电晶体管。在本研究中，柔性硅纳米薄膜光电晶体管的栅极位于沟道下方，通过利用其对入射光的反射作用，结合硅纳米薄膜沟道具有栅压下可全耗尽的特性，该光电晶体管实现了超高的光暗电流比和对微弱光强变化的分辨能力。之后，我们将具有刺激响应特性的薄膜转移至光电晶体管的沟道上方，基于光电检测机制可将材料吸附特定分子或接受环境刺激后引起的光透过率的变化转变成输出电流的变化，实现光学信号向电学信号的转变。进一步，我们通过转移不同的刺激响应薄膜材料以及阵列器件的制备实现了不同传感功能的扩展和能够实时监测并以数字信号读出的传感系统的制备。

关键词：传感器件超薄纳米薄膜气相沉积法性能表征

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压电层合圆板传感器件的非线性弯曲与振动分析

压电层合圆板传感器件的非线性弯曲与振动分析

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作者：石艺娜兰州大学

学位级别：硕士

该文考虑到压电材料的第二次电效应的影响,对采用压电材料作为传感信号的vonKarman型圆薄板层合结构的几何非线性弯曲变形和自由振动等机电-耦合问题进行了理论分析和数值计算.

关键词：几何非线性压电层合圆板传感器件二次压电效应均布载荷感应电量载荷特征固有频率

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传感器件（37篇）

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国外传感技术 2005年第1期15卷 32-39页

应用有机高分子的电阻式湿度传感器；红外线传感器；半导体压力传感器；电容式压力传感器；

关键词：压力传感器红外线传感器湿度传感器电阻式光纤温度传感器电容式分布型传感器件有机高分子

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传感器件在智能监测服装中的应用

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产业用纺织品 2024年第1期42卷 8-14页

作者：汪婉婉赵蒙蒙上海工程技术大学纺织服装学院上海201620

从传感器件及其电池、储能系统入手,介绍了它们的研究现状以及在智能监测服装中的应用,同时对智能监测服装的发展前景进行了展望,指出传感器件的微型化与柔性化,电池及储能系统的安全化与舒适化,监测系统精确化与专业化,是智能监测服装... 详细信息

从传感器件及其电池、储能系统入手,介绍了它们的研究现状以及在智能监测服装中的应用,同时对智能监测服装的发展前景进行了展望,指出传感器件的微型化与柔性化,电池及储能系统的安全化与舒适化,监测系统精确化与专业化,是智能监测服装未来的重要发展方向。

关键词：智能监测服装传感器件电池与储能系统微型化柔性化

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外加电场诱导微纳晶体的图案化排列及其传感器件研究

外加电场诱导微纳晶体的图案化排列及其传感器件研究

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作者：邹斌苏州大学

学位级别：硕士

微纳晶体材料由于其分子或原子在空间上排列的长程有序性，从而使这些晶体材料的光学和电学性质较薄膜材料而言有明显的提高，这使得晶体材料在光电子器件，化学传感器等领域有很大潜在的应用前景。此外，大面积的有序自组装体或其图案... 详细信息

微纳晶体材料由于其分子或原子在空间上排列的长程有序性，从而使这些晶体材料的光学和电学性质较薄膜材料而言有明显的提高，这使得晶体材料在光电子器件，化学传感器等领域有很大潜在的应用前景。此外，大面积的有序自组装体或其图案化结构，对于这些晶体材料在上述器件当中的实际应用起着不可忽视的作用。因此，微纳晶体材料的自组装及图案化排列正受到越来越多的科学家们的关注。之前有关于制备微纳晶体图案化结构的方法主要包括：溶剂挥发法，真空气相沉积法以及通过外场诱导的方法等。然而，上述方法都有一定的局限性，往往某一种方法只适用于一些特定的化合物分子且操作过程较复杂。因此，研究实现微纳晶体图案化的新方法，从而促进这些晶体材料在光电器件，化学传感器中的实际应用是很有必要的。在这里，我们介绍一种使用外加电场的方法来制备微纳晶体大面积图案化结构的方法。区别于通过传统外加电场在局部区域内实现纳米线平行阵列的排列，我们通过在两片平行的导电玻璃之间施加交流电场，可以在很大面积上实现任意形状的图案化结构的排列。一、外加电场诱导有机微纳多面体晶体的可控自组装与图案化排列通过在两个电极之间施加交流电场来实现对随机分散的有机微纳多面体晶体的大面积组装及其图案化排列。通过调节基底表面光刻胶的几何图形，能够得到从网格状到各种复杂图形等不同形状的微纳晶体图案。在电极之间施加一个直流电可以有效地将图案固定在基底上。在此基础上，这些图案可以成功地被转移到绝缘的柔性基底上并构建器件。该器件具有出色的应力传感性能，并且拥有很高的稳定性和重复性，即使器件经过多次的弯曲与放平，其传感性能依然出众。同时，该方法也适用于其他不同尺寸的有机晶体大面积有序阵列的组装，从而为实现有机晶体材料在集成电子器件及传感器中的应用提供新的可能。二、外加电场诱导一维纳米结构的图案化排列通过在两片带有光刻胶图形的导电玻璃之间施加交流电场，实现了对硅纳米线大面积图案化结构的制备。通过对底电极的图案化光刻，能够得到以硅纳米线为组装单元的条状、圆环状、网格状以及方形等多种图案的排列结构。将基底上的光刻胶洗去后，所得图案仍然能够固定在导电玻璃上。通过使用聚二甲基硅氧烷（PDMS）可以将图案有效地转移到绝缘基底上并构建器件。该器件具有灵敏的湿度传感性能和光响应性能，且具有良好的稳定性和重复性。此外，通过在硅纳米线图案表面修饰银的纳米颗粒，发现该图案能够用作探测低浓度罗丹名6G分子表面拉曼增强信号的增强基底。

关键词：微纳晶体材料外加电场可控自组装图案化排列传感器件

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