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微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法
微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法
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作者: A·丹嫩贝格 T·亨 德国斯图加特
本发明涉及一种微机械压力传感器(10),具有在硅衬底(11)中在压力敏感区域(A)中构造的传感器芯,该传感器芯具有传感器膜片(12),其中,在所述传感器膜片(12)上构造有在所述硅衬底(11)中的第一腔(13);在所述硅衬底(11)的后侧表面和所... 详细信息
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