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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

109 篇 专利

馆藏范围

109 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

机构

3 篇 宁波日星铸业有限...
3 篇 安图实验仪器有限...
3 篇 山东东港彩意网络...
2 篇 铜陵有色金属集团...
2 篇 由田新技股份有限...
2 篇 中国航发动力股份...
2 篇 中机精密成形产业...
2 篇 北京宸控科技有限...
2 篇 中国船舶重工集团...
2 篇 厦门理工学院
2 篇 长江存储科技有限...
2 篇 太仓弘杉环保科技...
2 篇 北京北方华创微电...
2 篇 京东方科技集团股...
2 篇 广东电网有限责任...
2 篇 中国科学院宁波材...
2 篇 罗伯特·博世有限公...
2 篇 江苏科技大学
2 篇 宁波长华长盛汽车...
2 篇 明峰医疗系统股份...

作者

3 篇 李向广
3 篇 徐开拓
3 篇 闫全涛
3 篇 蔡克亚
3 篇 谢添建
3 篇 薛林芳
3 篇 王震
3 篇 王晓锦
3 篇 李闯
2 篇 王鹏浩
2 篇 高相毅
2 篇 乔海
2 篇 张杰
2 篇 刘露
2 篇 谭文静
2 篇 赖明正
2 篇 杨桂林
2 篇 方伟峰
2 篇 金康
2 篇 应晓伟

语言

109 篇 中文

检索条件"主题词=位置校准装置"

共 109 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

一种全自动加样系统及其机械臂位置校准装置和方法

一种全自动加样系统及其机械臂位置校准装置和方法

引用

作者：李闯蔡克亚王晓锦闫全涛李向广 450016 河南省郑州市郑州经济技术开发区经开第十五大街199号

本发明公开了一种全自动加样系统及其机械臂位置校准装置和方法，其中机械臂位置校准装置包括控制器、校准组件和安装在机械臂上并跟随机械臂移动的校准工具；校准组件包括支撑座以及设置在支撑座上用于对校准工具沿水平方向校准的对射... 详细信息

标准号: CN112198218B

本发明公开了一种全自动加样系统及其机械臂位置校准装置和方法，其中机械臂位置校准装置包括控制器、校准组件和安装在机械臂上并跟随机械臂移动的校准工具；校准组件包括支撑座以及设置在支撑座上用于对校准工具沿水平方向校准的对射型水平方向位置检测器；控制器用于获取校准工具对水平方向位置检测器发出的线型光电信号的阻挡状态信号来计算水平方向校准坐标。本发明所提供的机械臂位置校准装置，利用水平方向位置检测器来获取机械臂坐标信息，并将位置信息反馈给控制器，由控制器控制机械臂运动使其自动完成校准，从而降低对人员操作熟练度的依赖，排除人为校准误差，缩短校准时间，提高校准精度，避免仪器损伤。

关键词：机械臂校准检测器水平方向位置位置校准装置校准工具控制器校准组件支撑座位置信息反馈机械臂运动控制器控制光电信号加样系统人员操作校准误差仪器损伤自动完成阻挡状态坐标信息对射型移动

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匀胶显影系统、位置校准装置及其校准方法

匀胶显影系统、位置校准装置及其校准方法

引用

作者：杨钊 430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

本申请公开了一种匀胶显影系统、位置校准装置及其校准方法，该校准方法包括：获得晶片的实际中心点坐标；以及根据实际中心点坐标与理论中心点坐标控制机械手将晶片移动到预设位置，其中，获得晶片的实际中心点坐标的步骤包括：获取晶... 详细信息

标准号: CN112070836B

本申请公开了一种匀胶显影系统、位置校准装置及其校准方法，该校准方法包括：获得晶片的实际中心点坐标；以及根据实际中心点坐标与理论中心点坐标控制机械手将晶片移动到预设位置，其中，获得晶片的实际中心点坐标的步骤包括：获取晶片的部分边缘的初始图像；根据初始图像识别晶片的边界，并判断部分边缘是否存在预设缺口；根据边界获得多个边界点坐标；以及根据判断结果计算实际中心点坐标，在判断结果为否的情况下，采用多个边界点坐标计算实际中心点坐标，在判断结果为是的情况下，获得位于预设缺口的边界点坐标并剔除，利用剩余边界点坐标计算实际中心点坐标。

关键词：点坐标实际中心边界点晶片判断结果初始图像坐标计算预设位置校准装置晶片移动理论中心显影系统预设位置机械手校准匀胶剔除申请

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一种晶圆位置校准装置及应用其的化学气相沉积设备

一种晶圆位置校准装置及应用其的化学气相沉积设备

引用

作者：罗屹民严翔闫晓晖 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号

本申请提供一种晶圆位置校准装置，其中，第一运动组件中的第一支撑部能够带动顶针沿第一方向运动，第二运动组件中的第二支撑部能够带动第一运动组件沿第二方向运动，从而使得顶针可以同时沿第一方向和第二方向运动，并且，第一支撑部... 详细信息

标准号: CN117467979A

本申请提供一种晶圆位置校准装置，其中，第一运动组件中的第一支撑部能够带动顶针沿第一方向运动，第二运动组件中的第二支撑部能够带动第一运动组件沿第二方向运动，从而使得顶针可以同时沿第一方向和第二方向运动，并且，第一支撑部或第二支撑部能够沿垂直方向运动，使得顶针能够沿垂直方向运动，因此，当晶圆位置发生偏移时，可以通过顶针准确的校准晶圆的位置；本申请还提供一种化学气相沉积设备，包括上述晶圆位置校准装置。

关键词：顶针运动组件垂直方向运动晶圆位置支撑化学气相沉积设备位置校准装置校准装置偏移校准晶圆种晶申请

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基于水下视觉定位的传感器相对位置校准装置及方法

基于水下视觉定位的传感器相对位置校准装置及方法

引用

作者：张亨达姚磊俞醒言王萧博吴德林高申平王宏远 310020 浙江省杭州市钱塘区下沙路300号1号楼

本发明公开了基于水下视觉定位的传感器相对位置校准装置及方法，装置包括：相机A、相机B、上位机、被测传感器三维姿态调整机构和探测传感器三维姿态调整机构；相机A和相机B均安装在支架上，且二者的摄像方向垂直布置，用于对被测传感... 详细信息

标准号: CN117930205A

本发明公开了基于水下视觉定位的传感器相对位置校准装置及方法，装置包括：相机A、相机B、上位机、被测传感器三维姿态调整机构和探测传感器三维姿态调整机构；相机A和相机B均安装在支架上，且二者的摄像方向垂直布置，用于对被测传感器和探测传感器进行拍摄，被测传感器固定在被测传感器三维姿态调整机构上，探测传感器固定在探测传感器三维姿态调整机构上；上位机均与相机A和相机B电连接，用于采集相机A和相机B的图像，并对图像进行处理；上位机均与被测传感器三维姿态调整机构和探测传感器三维姿态调整机构电连接，用于分别调整被测传感器和探测传感器的相对位置。该装置能够实现被测传感器和探测传感器的相对位置的高精度校准。

关键词：被测传感器探测传感器三维姿态调整相机上位机电连接位置校准装置图像方向垂直精度校准视觉定位传感器支架摄像采集拍摄

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步进电机的位置校准装置、射频匹配器及半导体设备

步进电机的位置校准装置、射频匹配器及半导体设备

引用

作者：刘建生张磊 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种可变电容步进电机的位置校准装置、射频匹配器及半导体设备，该可变电容步进电机的位置校准装置包括：校准组件，设置在所述步进电机的转轴上，随所述转轴同轴旋转，且所述校准组件上设置有用于标识所述转轴的单位旋转角... 详细信息

标准号: CN110768596B

本发明提供一种可变电容步进电机的位置校准装置、射频匹配器及半导体设备，该可变电容步进电机的位置校准装置包括：校准组件，设置在所述步进电机的转轴上，随所述转轴同轴旋转，且所述校准组件上设置有用于标识所述转轴的单位旋转角度的标识结构，所述单位旋转角度等于所述步进电机的步距角；测控单元，用于检测所述标识结构，根据检测结果生成位移脉冲信号，并根据所述位移脉冲信号确定所述步进电机的位置。通过本发明，提高了匹配器的可靠性。

关键词：步进电机转轴位移脉冲信号位置校准装置标识结构可变电容校准组件半导体设备射频匹配器测控单元检测结果同轴旋转步距角匹配器检测

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晶圆位置校准装置及方法

晶圆位置校准装置及方法

引用

作者：张道书刘晓钰 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

本发明提供了一种晶圆位置校准装置及方法，校准装置包括机械臂，用于承载并固定晶圆；第一压力传感器组，沿第一方向设置在机械臂上；第二压力传感器组，沿第二方向设置在机械臂上，第一方向所在直线和第二方向所在直线相交且均平行与... 详细信息

标准号: CN116598243A

本发明提供了一种晶圆位置校准装置及方法，校准装置包括机械臂，用于承载并固定晶圆；第一压力传感器组，沿第一方向设置在机械臂上；第二压力传感器组，沿第二方向设置在机械臂上，第一方向所在直线和第二方向所在直线相交且均平行与机械臂所在平面；驱动滚轮，分别设置在第一压力传感器组和第二压力传感器组的邻近位置；调节控制器，分别与第一压力传感器组、第二压力传感器组电连接以分别获取对应的电流信号，并传输至处理器进行处理；其中，在处理器根据电流信号输出控制信号至调节控制器之后，调节控制器根据控制信号驱动驱动滚轮的电机转动以调整放置在机械臂上的晶圆的位置。本发明能够快速完成晶圆位置的校准，提高晶圆加工效率。

关键词：机械臂第二压力传感器第一压力传感器调节控制器电流信号方向设置驱动滚轮处理器晶圆控制信号驱动位置校准装置电机转动晶圆加工晶圆位置邻近位置输出控制所在平面校准装置直线相交校准电连接种晶平行承载传输

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油石位置校准装置

油石位置校准装置

引用

作者：张志毅解来会 214000 江苏省无锡市嘉业路5号F栋3楼

本申请公开了一种油石位置校准装置，包括第一限位机构、第二限位机构和第三限位机构，第一限位机构构成第一通道，第二限位机构构成第二通道，第三限位机构包括第一滚轮和第二滚轮，第二通道从第一滚轮和第二滚轮之间穿过；油石传输时... 详细信息

标准号: CN220906340U

本申请公开了一种油石位置校准装置，包括第一限位机构、第二限位机构和第三限位机构，第一限位机构构成第一通道，第二限位机构构成第二通道，第三限位机构包括第一滚轮和第二滚轮，第二通道从第一滚轮和第二滚轮之间穿过；油石传输时，通过第一通道、进入第二通道，第一滚轮和第二滚轮反向旋转、能够促进油石向下游运动；通过第一通道和第二通道，既能够引导油石沿着预设方向向下游运动，又能够校准油石的位置和朝向，以便于油石以预设状态前往预设位置，从而方便下游设备对油石进行持续、高效、统一的处理。

关键词：油石限位机构滚轮下游运动位置校准装置下游设备预设位置预设状态校准预设穿过传输申请统一

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偏光片位置校准装置及偏光片位置校准方法

偏光片位置校准装置及偏光片位置校准方法

引用

作者：许嫦兰王智勇 611731 四川省成都市高新西区合作路689号N9栋4楼

本发明涉及一种偏光片位置校准装置及偏光片位置校准方法，其包括机架、光源、相机、透光的承载台和控制器。光源安装于机架上；相机沿第一方向设置于光源的一侧，且相机的镜头包括第一偏光片；承载台沿第一方向位于光源和相机之间，且... 详细信息

标准号: CN116125699A

本发明涉及一种偏光片位置校准装置及偏光片位置校准方法，其包括机架、光源、相机、透光的承载台和控制器。光源安装于机架上；相机沿第一方向设置于光源的一侧，且相机的镜头包括第一偏光片；承载台沿第一方向位于光源和相机之间，且承载台与机架转动连接，承载台靠近第一偏光片的一侧的表面用于承载待校准的第二偏光片；控制器与相机电连接，且控制器与承载台连接；控制器根据光源发出的光透过第二偏光片和第一偏光片之后的透光率，调整承载台相对机架的相对位置。由于本装置是通过偏光片自身的光学特性来实现对第二偏光片的安装角度的校准调整，因而当第二偏光片为圆形等任意较为规整的形状时，也能够非常容易的校准调整，且校准调整效果较好。

关键词：偏光片承载台控制器校准相机光源位置校准装置方向设置光学特性光源安装机架转动位置校准规整电连接光透过透光率透光承载镜头

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位置校准方法和位置校准装置

位置校准方法和位置校准装置

引用

作者：张琦郑瑞晨 215127 江苏省苏州市苏州工业园区长阳街259号钟园工业坊A1-1F、A0-1F东侧一半

本申请公开了一种位置校准方法和位置校准装置，属于设备校准技术领域。所述位置校准方法，包括：将标准定制块贴附于目标孔，所述标准定制块远离所述目标孔一侧的表面上设有中心点，且所述中心点位于所述目标孔的中轴线；控制电批移动... 详细信息

标准号: CN117182533A

本申请公开了一种位置校准方法和位置校准装置，属于设备校准技术领域。所述位置校准方法，包括：将标准定制块贴附于目标孔，所述标准定制块远离所述目标孔一侧的表面上设有中心点，且所述中心点位于所述目标孔的中轴线；控制电批移动至所述标准定制块的所述表面并控制所述电批的批头挤压所述表面，获取所述批头与所述表面挤压的位置点；所述电批的中轴线与所述表面所在平面垂直；基于所述位置点与所述中心点，校准所述电批的位置。本申请的位置校准方法，将位置偏移情况的判断从定性判断改为定量测量，代替传统的人眼观测，对精度要求高的设备进行更精准的调试，避免了个体调试时的定性差异，定量测量过程操作简单便捷。

关键词：标准定制位置校准中心点定量测量位置点中轴线批头调试位置校准装置表面挤压定性差异定性判断过程操作精度要求设备校准所在平面位置偏移传统的校准人眼贴附申请挤压垂直观测移动

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位置校准装置

位置校准装置

引用

作者：林宜龙刘飞水清林涛 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区翠景路33号格兰达装备产业园二期厂房一层至三层

本实用新型提供了一种位置校准装置，其包括第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、载板组件和检测件。载板组件包括载板以及沿第一方向间隔设于载板上的两个感应件，检测件用于感测感应件。第一驱动机构驱动载板组件在第一方向上... 详细信息

标准号: CN217561660U

本实用新型提供了一种位置校准装置，其包括第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、载板组件和检测件。载板组件包括载板以及沿第一方向间隔设于载板上的两个感应件，检测件用于感测感应件。第一驱动机构驱动载板组件在第一方向上移动，以使检测件检测两个感应件的相对位置。第二驱动机构驱动载板组件在第二方向移动。第三驱动机构用于驱动载板组件以第三方向为轴转动。通过设置相互垂直的第一驱动机构和第二驱动机构能够使得载板组件在平面上进行位置调节，通过设置第三驱动机构能够使得载板组件在平面上进行角度调节，从而达到对载板组件的全面校准的作用，使得载板组件上的待检测部件的检测位置精度更高，检测更加精准。

关键词：载板驱动机构第一驱动机构感应件检测驱动位置校准装置本实用新型待检测部件方向间隔方向移动检测位置角度调节位置调节组件包括垂直的上移动轴转动校准感测

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