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  • 1 篇 电子文献
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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
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主题

  • 1 篇 顶(底)端开口封装
  • 1 篇 低应力振动膜
  • 1 篇 电容式传声器
  • 1 篇 微电子机械系统(m...
  • 1 篇 防粘连结构

机构

  • 1 篇 上海交通大学
  • 1 篇 微米/纳米加工技术...

作者

  • 1 篇 wei zhifang
  • 1 篇 魏志方
  • 1 篇 邹逸飞
  • 1 篇 zhaing weiping
  • 1 篇 刘武
  • 1 篇 zou yifei
  • 1 篇 liu wu
  • 1 篇 沈国豪
  • 1 篇 张卫平
  • 1 篇 shen guohao

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=低应力振动膜"
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电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
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半导体技术 2018年 第12期43卷 912-917页
作者: 沈国豪 张卫平 刘武 魏志方 邹逸飞 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 上海200240
微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传... 详细信息
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