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    • 1 篇 信息与通信工程

主题

  • 2 篇 体硅微加工
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  • 1 篇 国网山东省电力公...
  • 1 篇 南京理工大学

作者

  • 1 篇 高慧
  • 1 篇 刘敬伟
  • 1 篇 王玮冰
  • 1 篇 尉志勇
  • 1 篇 陈硕
  • 1 篇 高运兴
  • 1 篇 单来支
  • 1 篇 郑天祥
  • 1 篇 舒辉
  • 1 篇 李璐
  • 1 篇 荆二荣
  • 1 篇 孟如男

语言

  • 5 篇 中文
检索条件"主题词=体硅微加工"
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体硅微加工工艺的定位方法
体硅微加工工艺的定位方法
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作者： 荆二荣 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
一种体硅微加工工艺的定位方法，采用双面光刻和步进式光刻相结合的方法，通过双面光刻机找到步进式光刻机在第一基片的步进式光刻对位标记，然后直接使用步进式光刻机对第二基片进行对位。步进式光刻机的对位精度就相当于下上基片表面... 详细信息
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形成MEMS热电堆探测器空腔结构的体硅微加工方法
形成MEMS热电堆探测器空腔结构的体硅微加工方法
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作者： 孟如男 王玮冰 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座
本发明提供一种形成MEMS热电堆探测器空腔结构的体硅微加工方法，包括：提供硅基底，在硅基底上热氧化生长二氧化硅膜，在二氧化硅膜上形成热电堆区域和红外吸收区域。热电堆区域上靠近红外吸收区域的一端为热结区，远离红外吸收区域的... 详细信息
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基于体硅加工技术的安培型微电极生物传感器研究
基于体硅加工技术的安培型微电极生物传感器研究
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作者： 刘敬伟 中国科学院研究生院（电子学研究所）
学位级别：硕士
本文提出了一种新型的硅基衬底体硅加工安培型微电极生物传感器。作者设计了传感器，并利用各向异性硅腐蚀技术制备了该传感器。硅片、金及SU-8分别用作制作衬底、电极及微反应池。铂化并聚合吡咯第一次被用作表面修饰。 该传感器的... 详细信息
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无线多传感器网络红外热释电传感器的微小型化设计与研究
无线多传感器网络红外热释电传感器的微小型化设计与研究
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作者： 舒辉 南京理工大学
学位级别：硕士
对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计，一方面利用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计，另一方面提出利用微机械电子系统制造(MEMS技术)进行整个模块的微型化设计是整个课题的构思设想。 根据课题的背景，... 详细信息
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一种SF<sub>6</sub>气体传感器及其放电电极的制备方法
一种SF&lt;sub&gt;6&lt;/sub&gt;气体传感器及其放电电极的制备方...
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作者： 李璐 陈硕 郑天祥 尉志勇 单来支 高慧 高运兴 102211 北京市昌平区小汤山镇大东流村路270号(未来科技城)
本发明提供一种SF6气体传感器及其放电电极的制备方法，SF6气体传感器的传感头中的放电电极为经MEMS工艺制备的放电电极阵列，且所述放电电极阵列为微纳结构；且其外围控制电路中设有传感器控制电路切换系统。放电电极的制备方法包括采... 详细信息
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