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  • 1 篇 光波分复用器/解复...
  • 1 篇 光波导
  • 1 篇 阵列波导光栅
  • 1 篇 硅基二氧化硅

机构

  • 1 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 1 篇 李广波
  • 1 篇 屈红昌
  • 1 篇 龙文华
  • 1 篇 唐衍哲
  • 1 篇 王跃林
  • 1 篇 杨建义
  • 1 篇 贾科淼
  • 1 篇 吴亚明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=光波分复用器/解复用器"
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1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2005年 第9期26卷 1798-1803页
作者: 龙文华 李广波 贾科淼 屈红昌 唐衍哲 吴亚明 杨建义 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行... 详细信息
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