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机构

  • 2 篇 德国电信股份有限...
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作者

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一种用于EDM的管理方法及系统
一种用于EDM的管理方法及系统
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作者: 方利 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
本发明公开一种用于EDM的管理方法,包括:当机台发生异常时,通过BS系统根据机台上记载的原始制程状况信息,对原始批次晶圆进行分组,并将分组数据发送至MES系统;MES系统将接收到的分组数据转换为分批批次晶圆数据;EAP系统调取并根... 详细信息
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