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文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 划痕损伤形貌模型
  • 1 篇 磁流变平面抛光
  • 1 篇 划痕损伤
  • 1 篇 抑制方法

机构

  • 1 篇 北京交通大学

作者

  • 1 篇 郭浩东

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=划痕损伤形貌模型"
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排序:
磁流变平面抛光晶圆表面划痕损伤形成机制与抑制方法研究
磁流变平面抛光晶圆表面划痕损伤形成机制与抑制方法研究
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作者: 郭浩东 北京交通大学
学位级别:硕士
半导体晶圆制造领域对工件表面的加工要求极高,尤其是针对于新一代的化合物半导体材料如碳化硅(Si C)、砷化镓(Ga As)、氮化镓(Ga N)等,使得实现高表面质量、高平坦度的加工难度不断增加。磁流变抛光方法应用于半导体晶圆加工过程,能获... 详细信息
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