检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：张芸秋董海涛陈福刚 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号

一种半导体指纹传感器及其形成方法，所述形成方法包括：提供基底，所述基底包括像素区；在所述像素区的基底上形成顶部极板，所述顶部极板包括金属层以及位于所述金属层上的顶部防扩散层；对所述顶部防扩散层进行表面处理，在所述顶部... 详细信息

标准号: CN111753576B

一种半导体指纹传感器及其形成方法，所述形成方法包括：提供基底，所述基底包括像素区；在所述像素区的基底上形成顶部极板，所述顶部极板包括金属层以及位于所述金属层上的顶部防扩散层；对所述顶部防扩散层进行表面处理，在所述顶部防扩散层内形成空洞；进行所述表面处理后，形成覆盖所述顶部极板的第一钝化层。本发明实施例在提高半导体指纹传感器性能的同时，简化工艺流程。

关键词：防扩散层基底极板半导体指纹传感器金属层像素区工艺流程钝化层空洞覆盖

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半导体指纹传感器及其形成方法

半导体指纹传感器及其形成方法

作者：张芸秋董海涛陈福刚 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号

标准号: CN111753576A

关键词：防扩散层基底极板半导体指纹传感器金属层像素区工艺流程钝化层空洞覆盖

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作者：陈福刚茹捷 300385 天津市西青区中国天津市西青经济开发区兴华道19号

本发明公开了一种半导体指纹传感器及其制作方法，通过在半导体指纹传感器的像素区域中的第一金属互连层结构的顶层金属层上直接覆盖一保护层。这样，与现有技术相比，本发明形成的半导体指纹传感器的像素区域中，第一金属互连层结构和... 详细信息

标准号: CN109299629B

本发明公开了一种半导体指纹传感器及其制作方法，通过在半导体指纹传感器的像素区域中的第一金属互连层结构的顶层金属层上直接覆盖一保护层。这样，与现有技术相比，本发明形成的半导体指纹传感器的像素区域中，第一金属互连层结构和保护层之间就没有了钝化层，于是，在半导体指纹传感器中就不存在钝化层所产生的电容，即减少了半导体指纹传感器中的噪声电容，可以提高半导体指纹传感器性能。

关键词：半导体指纹传感器金属互连层像素区域保护层钝化层顶层金属层噪声电容直接覆盖电容制作

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作者：陈福刚 300385 天津市西青区西青经济开发区兴华道19号

本发明公开了一种半导体指纹传感器及其制作方法，通过在一基底的像素区域上形成一金属互连层结构，金属互连层结构至少包括一顶层金属层，顶层金属层至少有部分背离基底的表面为非平面表面，金属层位于半导体指纹传感器的像素区域中，... 详细信息

标准号: CN109299630A

本发明公开了一种半导体指纹传感器及其制作方法，通过在一基底的像素区域上形成一金属互连层结构，金属互连层结构至少包括一顶层金属层，顶层金属层至少有部分背离基底的表面为非平面表面，金属层位于半导体指纹传感器的像素区域中，像素区域用于采集指纹信息。因非平面表面的金属层能够有效增加像素区域的导电金属面积，基于电容公式，当像素区域的导电金属面积增加时，则半导体指纹传感器检测的电容也会提高，有利于精确的获得指纹信息。因此，本发明通过形成具有非平面表面的金属层的像素区域，能够提高像素区域的导电金属面积，相应的提高半导体指纹传感器的性能。

关键词：像素区域半导体指纹传感器非平面表面导电金属金属层顶层金属层金属互连层基底采集指纹信息电容公式面积增加指纹信息电容背离检测制作

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作者：陈福刚 300385 天津市西青区西青经济开发区兴华道19号

标准号: CN109299630B

关键词：像素区域半导体指纹传感器非平面表面导电金属金属层顶层金属层金属互连层基底采集指纹信息电容公式面积增加指纹信息电容背离检测制作

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作者：陈福刚茹捷 300385 天津市西青区中国天津市西青经济开发区兴华道19号

标准号: CN109299629A

关键词：半导体指纹传感器金属互连层像素区域保护层钝化层顶层金属层噪声电容直接覆盖电容制作

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一种半导体指纹传感器图像采集方法

一种半导体指纹传感器图像采集方法

作者：刘磊赵飞王露 215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇苇城南路1699号9层909-1室

本发明涉及一种半导体指纹传感器图像采集方法，其可缩短单幅图像采集时间，提高图像采集效率，该方法基于半导体指纹传感器系统实现，半导体指纹传感器系统包括：ADC电路、控制器、接口电路、异步FIFO存储器、选通电路、配置和状态寄... 详细信息

标准号: CN116259081A

本发明涉及一种半导体指纹传感器图像采集方法，其可缩短单幅图像采集时间，提高图像采集效率，该方法基于半导体指纹传感器系统实现，半导体指纹传感器系统包括：ADC电路、控制器、接口电路、异步FIFO存储器、选通电路、配置和状态寄存器，控制器用于控制选通电路进行单个像素选通、控制ADC电路对选通的单个像素采样、控制异步FIFO存储器存储采集的单个像素，采用数据并行的方式对单个像素进行选通、采集、保存，数据并行指：通过控制器控制选通电路选通像素矩阵中下一个像素，同时ADC电路采集已选通的当前像素，同时异步FIFO存储器存储ADC电路已采集的上一个像素。

关键词：选通单个像素半导体指纹传感器异步FIFO存储器采集选通电路像素图像采集控制器并行存储控制器控制状态寄存器单幅图像接口电路系统实现像素矩阵采样保存配置

一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置

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一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置

作者：陈福刚唐丽贤林保璋 201203 上海市浦东新区张江路18号

本发明提供一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置。所述方法包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括逻辑区和至少一个像素区；在所述逻辑区形成顶部互连线，在所述像素区形成顶部极板，所述顶部互连线和所述顶部极板位于同一... 详细信息

标准号: CN109711230A

本发明提供一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置。所述方法包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括逻辑区和至少一个像素区；在所述逻辑区形成顶部互连线，在所述像素区形成顶部极板，所述顶部互连线和所述顶部极板位于同一层；在所述像素区的顶部极板上形成表面凹凸不平的互连层，以增加所述互连层的表面积。通过在顶部极板上形成表面凹凸不平的互连层，增加了所述互连层的表面积，相应的增加了指纹识别时所形成的电容器的电容值，提高了半导体指纹传感器的性能，并且由于电容器的电容值增加，使得噪声电容(即前述C_钝化层、C_{聚酰亚胺层})在所测得的电容中占比减小，因而降低了噪声对指纹识别的影响。

关键词：互连层极板电容像素区半导体指纹传感器电容器凹凸不平指纹识别互连线逻辑区衬底半导体聚酰亚胺层电子装置噪声电容钝化层同一层减小噪声制作

一种半导体指纹传感器LGA颗粒测试装置及测试方法

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一种半导体指纹传感器LGA颗粒测试装置及测试方法

作者：陶长青 215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇苇城南路1699号9层909-1室

本发明公开了一种半导体指纹传感器LGA颗粒测试装置及测试方法，其可实现半导体指纹传感器LGA颗粒性能的准确测试，测试装置包括主控制器、电流表、芯片开关、测试点、假手指模，测试点包括电流测试点、主板测试点、假手指模测试点、图... 详细信息

标准号: CN114280446A

本发明公开了一种半导体指纹传感器LGA颗粒测试装置及测试方法，其可实现半导体指纹传感器LGA颗粒性能的准确测试，测试装置包括主控制器、电流表、芯片开关、测试点、假手指模，测试点包括电流测试点、主板测试点、假手指模测试点、图像通信测试点，第一电流测试点与电流表的负极连接，电流表的正极、主板测试点与主控制器连接，假手指模测试点通过图像通信测试点与主控制器连接，主控制器与上位机连接，测试方法包括：芯片开关开启，电流表采集第一电流测试点的电流信息，测试点4采集假手指模的图像信息，图像信息通过测试点13～26将图像信息发送给主控制器，主控制器将图像信息发送给上位机，通过上位机判断图像信息是否符合标准。

关键词：测试点主控制器图像信息电流表手指模电流测试上位机半导体指纹传感器图像通信芯片开关主板测试测试采集正极测试装置电流信息负极连接颗粒测试

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一种半导体指纹传感器及电路

一种半导体指纹传感器及电路

作者：李富民童红杰 315800 浙江省宁波市北仑区大碶街道宝山路1298号10层1008、1009室

本发明公开了一种半导体指纹传感器，涉及半导体芯片领域，包括M层多晶硅层和N层金属层，相邻金属层之间设置介质层(IMD)，除第N金属层和第N‑1金属层之间以外，其他相邻金属层之间设有通孔层，M为大于0的整数，N为大于1的整数。本发明... 详细信息

标准号: CN109886254A

本发明公开了一种半导体指纹传感器，涉及半导体芯片领域，包括M层多晶硅层和N层金属层，相邻金属层之间设置介质层(IMD)，除第N金属层和第N‑1金属层之间以外，其他相邻金属层之间设有通孔层，M为大于0的整数，N为大于1的整数。本发明通过优化半导体指纹传感器的结构，去除了第N金属层和第N‑1金属层之间通孔层，减少了芯片制造掩膜版层次，降低了半导体指纹传感器生产成本。

关键词：金属层半导体指纹传感器相邻金属层通孔层半导体芯片多晶硅层芯片制造介质层掩膜版生产成本优化