检索结果-内蒙古大学图书馆

压电与声光 1978年第3期 61-69页

作者：刘一声

近几年来,随着化学工业特别是石油化学工业的飞跃发展,石油企业、煤矿、化学制品之类的爆炸,气体中毒以及大气污染公害等等的事故,日益增多。人们迫切要求研制一种气体检测器件,以便对这些污染环境的物质迅速地进行检测和分析,以资防止... 详细信息

近几年来,随着化学工业特别是石油化学工业的飞跃发展,石油企业、煤矿、化学制品之类的爆炸,气体中毒以及大气污染公害等等的事故,日益增多。人们迫切要求研制一种气体检测器件,以便对这些污染环境的物质迅速地进行检测和分析,以资防止或者控制事故的大量发生。

关键词：半导体气敏元件电阻值气敏半导体 SnO 氧化性半导体气体传感器还原性气体

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半导体气体传感器温度调制模式优化研究

半导体气体传感器温度调制模式优化研究

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作者：陈一山东工商学院

学位级别：硕士

温度调制技术具有提高半导体气体传感器选择性和稳定性的特点,但目前温度调制模式繁多,面临着调制模式优化选择的问题。本文在气体检测中使用温度调制技术对其进行优化研究。搭建了温度调制实验测试系统,该系统包括配气模块、温度调制... 详细信息

温度调制技术具有提高半导体气体传感器选择性和稳定性的特点,但目前温度调制模式繁多,面临着调制模式优化选择的问题。本文在气体检测中使用温度调制技术对其进行优化研究。搭建了温度调制实验测试系统,该系统包括配气模块、温度调制模块、采集模块。配气模块可设置被测气体的浓度及混合气体的浓度。温度调制模块可以实现0～5V加热电压可调,可输出正弦波、方波、三角波和锯齿波四种加热波形,加热频率0～450KHz可调。采集模块通过数据采集卡采集传感器的电压响应值并通过显示屏实时显示。针对温度调制模式的测试和优化问题,选择了一种广谱的商用半导体气体传感器(TGS2611),以甲烷、一氧化碳、二氧化碳以及乙醇四种气体为测试对象,测试了该传感器在正弦波、方波、三角波和锯齿波四种调制波形,8种周期(T=4s、10s、20s、30s、40s、50s、60s、80s)以及四种不同加热电压(0～5V、1～5V、2～5V、3～5V)等参数下的动态响应特性。采用离散小波变换对上述气体的动态响应信号进行小波特征提取,再利用主元分析法对小波特征进行降维处理,结合支持向量机和概率神经网络技术对被测气体进行定量分析。通过比较分析识别结果,建立温度调制优化算法。通过对所得实验数据的分析与处理,结果表明TGS2611传感器在2～5V加热电压、方波调制、20s周期下对上述气体的识别率最高。该数据分析和实验结果证明,本文提出的以小波特征为基础结合概率神经网络和支持向量机的温度调制模式优化方法是有效的,可以为复杂环境下低功耗气体检测提供新的检测思路。

关键词：半导体气体传感器温度调制模式优化小波特征提取模式识别

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用于半导体气体传感器的程控标定系统

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传感器技术 2002年第8期21卷 32-34页

作者：任术波唐祯安蒋国平张洪泉范茂军大连理工大学电子与信息工程学院辽宁大连116023 信息产业部电子第49研究所黑龙江哈尔滨150001

组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传... 详细信息

组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定。

关键词：程控标定系统半导体气体传感器质量流量控制器通用接口总线编程加热响应信号

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半导体气体传感器及其制造方法

半导体气体传感器及其制造方法

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作者：宇佐川利幸日本东京都

本发明提供一种上升响应速度快的半导体气体传感器及其制造方法。在Si层(5)上形成栅极绝缘膜(例如SiO2膜)(4)，在栅极绝缘膜(4)上形成改性TiOx(TiOx微晶)膜(1)。进而在改性TiOx膜(1)上形成Pt膜。该Pt膜由多个Pt晶粒(3)构成，在多个Pt晶... 详细信息

标准号: CN103424458B

本发明提供一种上升响应速度快的半导体气体传感器及其制造方法。在Si层(5)上形成栅极绝缘膜(例如SiO₂膜)(4)，在栅极绝缘膜(4)上形成改性TiOx(TiOx微晶)膜(1)。进而在改性TiOx膜(1)上形成Pt膜。该Pt膜由多个Pt晶粒(3)构成，在多个Pt晶粒(3)之间的晶粒边界间隙(7)存在Ti和氧(O)，特别是以晶粒边界(3)重心附近表面为中心形成TiOx微晶。

关键词：栅极绝缘膜晶粒晶粒边界改性微晶半导体气体传感器重心响应制造

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低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器研究进展

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微电子学 2023年第4期53卷 716-722页

作者：赵利强向星岩王刚李威刘建钢北京化工大学信息科学与技术学院北京100029 汉威科技集团股份有限公司郑州450001

电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用,但是受限于功耗较高的原因,这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展,分别... 详细信息

电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用,但是受限于功耗较高的原因,这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展,分别从气敏材料、传感器结构和传感器模组的集成电路等方面探讨如何实现低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器的制备,并展望低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器未来的发展方向。

关键词：低功耗微机电系统半导体气体传感器脉冲工作模式

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半导体气体传感器及其补偿方法、报警方法、报警器

半导体气体传感器及其补偿方法、报警方法、报警器

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作者：王向涛任春红朱彦峰王保超孙武邓家辉 450001 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号

本发明提出了一种半导体气体传感器及其补偿方法、报警方法、报警器，其中，补偿方法包括如下步骤：步骤1），根据半导体气体传感器上电时长D确定待补偿值C；所述待补偿值C在D≤E时，计算方法为：C=V*D*K；其中，V为当前气体浓度AD值；... 详细信息

标准号: CN114187745A

本发明提出了一种半导体气体传感器及其补偿方法、报警方法、报警器，其中，补偿方法包括如下步骤：步骤1），根据半导体气体传感器上电时长D确定待补偿值C；所述待补偿值C在D≤E时，计算方法为：C=V*D*K；其中，V为当前气体浓度AD值；D为上电时长，单位为天；K为补偿系数；所述补偿值C在D>E时，计算方法为：C=F；其中，E、F为预设常数；步骤2），根据待补偿值C对当前气体浓度AD值V进行补偿，得补偿后的气体浓度AD值V1=V+C。本发明通过确定半导体气体传感器的补偿系数K和工作时长D，对上电不同工作时间的传感器进行灵敏度补偿，解决了半导体气体传感器应用过程中经常遇到的灵敏度衰减导致的晚报警问题。

关键词：半导体气体传感器上电补偿系数时长灵敏度补偿报警器报警问题工作时长应用过程灵敏度传感器衰减预设报警

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半导体气体传感器及其制造方法

半导体气体传感器及其制造方法

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作者：宇佐川利幸日本东京都

标准号: CN103424458A

关键词：晶粒晶粒边界绝缘膜微晶半导体气体传感器响应速度重心

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半导体气体传感器及其补偿方法、报警方法、报警器

半导体气体传感器及其补偿方法、报警方法、报警器

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作者：王向涛任春红朱彦峰王保超孙武邓家辉 450001 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号

标准号: CN114187745B

关键词：半导体气体传感器上电补偿系数时长灵敏度补偿报警器报警问题工作时长应用过程灵敏度传感器衰减预设报警

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针对半导体气体传感器的电信号采集装置

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传感器与微系统 2024年第1期43卷 88-90,98页

作者：段奇王宇轩李栋辉刘东明韩丹桑胜波微纳传感与人工智能感知山西省重点实验室山西太原030024 太原理工大学电子信息与光学工程学院山西太原030024

针对半导体气体传感器对环境敏感、电阻跨度大的特性,设计了一种针对半导体气体传感器灵敏度高、体积小、适用性广的电信号采集装置。采用多档位分压法实现对欧姆(Ω)至吉欧姆(GΩ)范围的电阻测量,通过滤波与温湿度补偿消除物理、温湿... 详细信息

针对半导体气体传感器对环境敏感、电阻跨度大的特性,设计了一种针对半导体气体传感器灵敏度高、体积小、适用性广的电信号采集装置。采用多档位分压法实现对欧姆(Ω)至吉欧姆(GΩ)范围的电阻测量,通过滤波与温湿度补偿消除物理、温湿度干扰;同时装置具有本地报警、上位机报警、气室等设计。本文装置实现了半导体气体传感器的精确测量,同时设计集成电路,将传感器封装为可实际应用系统,采用国产EDA与核心芯片设计,有效填补了该领域的空白。

关键词：半导体气体传感器嵌入式大电阻测量

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流速对半导体气体传感器响应的影响分析

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仪表技术与传感器 2012年第5期 1-4页

作者：梁宏增余隽孙长宇唐祯安大连理工大学电子科学与技术学院辽宁大连116024

半导体气体传感器被广泛应用在电子鼻系统中用于检测可燃性气体。然而,半导体气体传感器对环境变化非常敏感,从而影响电子鼻识别目标气体浓度的精度。文章通过实验研究了气体流速对传感器响应曲线及特征参数的影响,研究结果表明,流过传... 详细信息

半导体气体传感器被广泛应用在电子鼻系统中用于检测可燃性气体。然而,半导体气体传感器对环境变化非常敏感,从而影响电子鼻识别目标气体浓度的精度。文章通过实验研究了气体流速对传感器响应曲线及特征参数的影响,研究结果表明,流过传感器的流速对传感器的动态响应和稳态响应都有影响。流速越大,传感器的响应时间和恢复时间越短,灵敏度越高,基线电压越小,不同传感器的稳态响应电压受流速的影响趋势不同。流量小于200 sccm时,传感器受流速变化的影响较大,当流量大于500 sccm以后,传感器受流速变化的影响已越来越小。

关键词：半导体气体传感器气体流速特征参数电子鼻

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