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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 弯曲疲劳寿命
  • 1 篇 掺磷
  • 1 篇 单晶硅微梁
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 paris公式

机构

  • 1 篇 国防科学技术大学

作者

  • 1 篇 chen xun
  • 1 篇 tao junyong
  • 1 篇 刘彬
  • 1 篇 张云安
  • 1 篇 wang xiaojing
  • 1 篇 王晓晶
  • 1 篇 陈循
  • 1 篇 zhang yunan
  • 1 篇 liu bin
  • 1 篇 陶俊勇

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=单晶硅微梁"
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排序:
杂质磷对单晶硅微结构疲劳特性的影响——基于Paris公式的分析
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机械工程学报 2014年 第24期50卷 86-92页
作者: 刘彬 陶俊勇 张云安 陈循 王晓晶 国防科学技术大学装备综合保障技术重点实验室 长沙410073
硅基微机电系统中的单晶硅微结构常工作于循环加载状态,易发生疲劳失效。单晶硅微结构疲劳寿命的分散度较大,难以根据不同掺磷浓度试样的疲劳寿命测试数据对比分析出杂质磷对单晶硅微梁弯曲疲劳特性的影响规律,针对此问题进行研究。设... 详细信息
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