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现代制造工程 2019年第6期 89-95页

作者：潘继生郑坤廖博涛阎秋生广东工业大学机电工程学院

为了实现蓝宝石基片的快速平坦化,对蓝宝石基片进行系统的单因素单面研磨试验,研究了磨料种类、磨料粒径、研磨盘转速、研磨压力以及磨料质量分数等研磨工艺参数对蓝宝石基片材料去除率和表面粗糙度的影响规律.试验结果表明:金刚石磨料... 详细信息

为了实现蓝宝石基片的快速平坦化,对蓝宝石基片进行系统的单因素单面研磨试验,研究了磨料种类、磨料粒径、研磨盘转速、研磨压力以及磨料质量分数等研磨工艺参数对蓝宝石基片材料去除率和表面粗糙度的影响规律.试验结果表明:金刚石磨料适合蓝宝石基片的单面研磨;随着磨料粒径的增大,材料去除率逐渐增大,表面越来越粗糙;随着研磨盘转速的增大,材料去除率先增大后减小,表面粗糙度值在20~60 r/min区间变化不大,稳定在Ra 0.12~Ra 0.13μm之间,而在60~100 r/min区间波动较大,当研磨盘转速为60 r/min时,材料去除率最大;随着研磨压力的增大,材料去除率逐渐增大,而表面粗糙度值越来越低;随着磨料质量分数的增大,材料去除率先增大后减小,表面粗糙度先增大然后趋于平缓,当磨料质量分数为3 wt%时,材料去除率最大,且表面粗糙度值相对较小;最后通过正交试验优化了工艺参数,在优化的工艺条件下依次选用粒径为W40、W14、W3的金刚石磨料对蓝宝石基片进行粗研、半精研及精研,取得了表面粗糙度为Ra 7.9 nm的平坦表面.

关键词：蓝宝石基片单面研磨材料去除率表面粗糙度

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陶瓷水阀片自动上料单面研磨系统设计

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现代制造技术与装备 2024年第8期60卷 195-197页

作者：师统陈波曾令城易书雅彭雪辉湖南工业职业技术学院机械工程学院长沙410208 复杂薄壁精密零件智能柔性加工技术湖南省工程研究中心长沙410208

针对传统陶瓷水阀片单面研磨工艺过度依赖人工的弊端和环保问题,设计一种自动上料单面研磨系统。该系统通过导入槽将被震动斗翻面后的陶瓷水阀片有序嵌入研磨行星轮。在主轴电机的带动下,研磨限位轮条将陶瓷水阀片进一步卡紧并限位,避... 详细信息

针对传统陶瓷水阀片单面研磨工艺过度依赖人工的弊端和环保问题,设计一种自动上料单面研磨系统。该系统通过导入槽将被震动斗翻面后的陶瓷水阀片有序嵌入研磨行星轮。在主轴电机的带动下,研磨限位轮条将陶瓷水阀片进一步卡紧并限位,避免陶瓷水阀片在研磨过程中发生窜动。该系统实现了陶瓷水阀片自动上料研磨,有效解决了传统陶瓷水阀片生产过程中的问题,提高了生产效率与精度,同时有利于生产工艺的标准化。

关键词：陶瓷水阀片自动上料单面研磨

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单面研磨机上盘传动装置

单面研磨机上盘传动装置

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作者：苏小海贺贤汉冯博 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号

本实用新型提供一种单面研磨机上盘传动装置，只需采用内外两层套合轴加特制传扭装置的方式即可满足加工盘的升降、加压、旋转及加工盘对加工条件自适应平衡三个功能，用市场标准的旋转接头在传动组件的顶端形成流体回路。该传动装置结... 详细信息

标准号: CN206952756U

本实用新型提供一种单面研磨机上盘传动装置，只需采用内外两层套合轴加特制传扭装置的方式即可满足加工盘的升降、加压、旋转及加工盘对加工条件自适应平衡三个功能，用市场标准的旋转接头在传动组件的顶端形成流体回路。该传动装置结构简单，施压传扭轴截面积是原来中心轴的3倍，特制传扭装置即可传递扭矩又能自适应平衡加工盘，整体钢性大大加强，可以施压更大压力以达到提高加工效率的目的；标准旋转接头行程流体回路，而旋转接头与加工盘采用软连接的方式，该方式安装简单不会影响传动轴的整体刚性且运行可靠。

关键词：加工盘旋转接头自适应平衡传扭装置流体回路施压传动装置结构本实用新型传递扭矩传动装置传动组件单面研磨加工条件加工效率内外两层市场标准整体刚性整体钢性传动轴大压力软连接套合轴中心轴扭轴加压升降

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单面研磨抛光机的晶片上蜡装置

单面研磨抛光机的晶片上蜡装置

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作者：洪志清 523400 广东省东莞市寮步镇上屯第三工业区凼坑路7号

本实用新型提供一种单面研磨抛光机的晶片上蜡装置，包括安装在机台上的气压压床、滴蜡器、加热器、晶片摆放台以及晶片上料机构，所述加热器上设有陶瓷板，所述晶片摆放台与所述晶片上料机构之间设有支撑件，所述支撑件上安装有推料气... 详细信息

标准号: CN205436174U

本实用新型提供一种单面研磨抛光机的晶片上蜡装置，包括安装在机台上的气压压床、滴蜡器、加热器、晶片摆放台以及晶片上料机构，所述加热器上设有陶瓷板，所述晶片摆放台与所述晶片上料机构之间设有支撑件，所述支撑件上安装有推料气缸，所述机台上设有控制面板。本实用新型单面研磨抛光机的晶片上蜡装置形成半自动的晶片上蜡的加工流程，操作方便，以提高晶片上蜡的效率；其次，通过气压压床将晶片上的蜡层压平，以使晶片上的蜡层厚度均匀平整。

关键词：晶片上蜡加热器本实用新型单面研磨上蜡装置上料机构摆放台抛光机支撑件蜡层气压压床厚度均匀加工流程控制面板推料气缸滴蜡器陶瓷板压平在机平整

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一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置及方法

一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置及方法

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作者：张峰裴忠梁文朱勤超金志杰 314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路129号

本发明涉及一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置及方法，包括外圈加压机构和内圈加压机构的分区加压装置连接控制机构，控制机构连接气动机构；外圈加压机构包括与气动机构连接的气缸，气缸通过第一传动机构与研磨抛光组件连... 详细信息

标准号: CN105479325A

本发明涉及一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置及方法，包括外圈加压机构和内圈加压机构的分区加压装置连接控制机构，控制机构连接气动机构；外圈加压机构包括与气动机构连接的气缸，气缸通过第一传动机构与研磨抛光组件连接；内圈加压机构包括与气动机构连接的旋转接头，旋转接头与设于第一传动机构内部的第二传动机构连接，第二传动机构连接中心研磨板，中心研磨板可动设于研磨抛光组件底部中心。本发明的外圈加压机构整体加压，内圈加压机构完成中心部分加压，避免直径不同导致线速度不同时出现整盘晶片一致性差的情况，陶瓷盘上外、内圈成品晶片一致性高，研磨抛光精度高，生产效率大大提升，成品的合格率有显著的提高。

关键词：加压机构内圈气动机构研磨抛光第二传动机构第一传动机构连接加压装置旋转接头研磨板气缸加压分区连接控制机构晶片一致性成品晶片单面研磨连接中心抛光设备生产效率同时出现直径不同中心部分组件底部组件连接陶瓷盘线速度可动一种合格率提升导致内部涉及完成

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一种易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法

一种易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法

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作者：王永成 201201 上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室

本发明公开一种易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法，涉及研磨工艺技术领域，单面研磨方法：将牺牲件和易碎工件分别固定在单面研磨机的载盘上，并使牺牲件的材质与易碎工件材质相同，牺牲件的厚度大于易碎工件的厚度，再对易碎工件... 详细信息

标准号: CN116652815A

本发明公开一种易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法，涉及研磨工艺技术领域，单面研磨方法：将牺牲件和易碎工件分别固定在单面研磨机的载盘上，并使牺牲件的材质与易碎工件材质相同，牺牲件的厚度大于易碎工件的厚度，再对易碎工件进行研磨；双面研磨方法：将牺牲件和易碎工件分别放置在双面研磨机的游星轮上，并使牺牲件的材质与易碎工件材质相同，牺牲件的顶端高于易碎工件的顶端，再对易碎工件进行研磨。本发明的易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法避免陶瓷件和半导体晶片在研磨加工中发生破碎。

关键词：易碎工件牺牲件单面研磨双面研磨研磨工艺技术领域半导体晶片单面研磨机双面研磨机研磨加工陶瓷件游星轮载盘破碎

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一种薄膜电路陶瓷单面研磨方法

一种薄膜电路陶瓷单面研磨方法

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作者：赖辉信冯毅龙夏莹 511400 广东省广州市南沙区东涌镇昌利路六街6号

本发明公开一种薄膜电路陶瓷单面研磨方法，涉及陶瓷表面精磨加工工艺领域，包括步骤：步骤一，将贴有白膜的陶瓷基片对称贴合于涂抹有石蜡的陶瓷盘上；步骤二，将贴合陶瓷基片后的陶瓷盘冷却键合，用贴合白膜的胶垫压紧陶瓷基片与陶瓷... 详细信息

标准号: CN117484376A

本发明公开一种薄膜电路陶瓷单面研磨方法，涉及陶瓷表面精磨加工工艺领域，包括步骤：步骤一，将贴有白膜的陶瓷基片对称贴合于涂抹有石蜡的陶瓷盘上；步骤二，将贴合陶瓷基片后的陶瓷盘冷却键合，用贴合白膜的胶垫压紧陶瓷基片与陶瓷盘，并使热融化的石蜡均匀挤出；步骤三，完成冷却后，取出陶瓷盘，测试贴蜡厚度误差，在陶瓷盘平面上较零，然后在陶瓷基片上五点测试法测试基片厚度至设定公差波动范围；步骤四，测量陶瓷盘的盘面达到设定平整度时，按照设定的固定间距时间进行研磨；步骤五，完成研磨，重测厚度，如合格则完成研磨；如不合格则翻转基片180°，继续等时间研磨，直至合格为止。本发明能够避免陶瓷基片出现划痕，降低了破损率。

关键词：陶瓷基片陶瓷盘研磨石蜡贴合冷却薄膜电路测量陶瓷测试基片单面研磨点测试法对称贴合厚度误差陶瓷表面公差平整度破损率翻转划痕键合胶垫精磨盘面压紧涂抹融化挤出取出陶瓷测试

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一种单面研磨抛光装置

一种单面研磨抛光装置

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作者：李正良郭政建朱枫项伟琪 314031 浙江省嘉兴市秀洲区加创路1509号17幢

本发明公开了一种单面研磨抛光装置，包括：筒体，其内壁底部固定安装有驱动电机和齿轮箱，所述驱动电机的输出轴固定连接在齿轮箱侧面的传动轴上以改变传动方向，且齿轮箱顶部的传动轴和内连接轴底端之间通过联轴器连接形成传动结构；... 详细信息

标准号: CN114454089B

本发明公开了一种单面研磨抛光装置，包括：筒体，其内壁底部固定安装有驱动电机和齿轮箱，所述驱动电机的输出轴固定连接在齿轮箱侧面的传动轴上以改变传动方向，且齿轮箱顶部的传动轴和内连接轴底端之间通过联轴器连接形成传动结构；还包括：积液筒，其侧壁贴合设置在所述筒体的内壁上，所述积液筒的底面中心处连接有支撑座的顶部，且支撑座的底部垂直连接在所述筒体的内壁底部，并且支撑座的顶部同轴连接有轴承座。该单面研磨抛光装置，其设置有水体收集结构，能够防止水体进入装置内部造成结构损坏，且装置能够对多个工件进行抛光，效率更高，并且装置能够重复利用水体，节约了水资源。

关键词：支撑座筒体单面研磨抛光装置驱动电机齿轮箱传动轴积液筒内壁水体齿轮箱侧面侧壁贴合传动方向传动结构垂直连接底面中心结构损坏进入装置水体收集同轴连接重复利用抛光联轴器内连接输出轴轴承座底端水资源节约

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一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置及方法

一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置及方法

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作者：张峰裴忠梁文朱勤超金志杰 314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路129号

标准号: CN105479325B

关键词：加压机构内圈气动机构研磨抛光加压装置旋转接头研磨板气缸加压分区连接控制机构晶片一致性成品晶片单面研磨底部中心连接中心抛光设备生产效率组件连接陶瓷盘可动合格率

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一种单面研磨抛光一体式设备

一种单面研磨抛光一体式设备

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作者：白向锋 315000 浙江省宁波市北仑区戚家山街道鹰山路35号4幢1号、5幢1号

本发明涉及一种单面研磨抛光一体式设备，包括机身、固定在机身顶部的底座、固定在机身上方的机架、以及设于机身上的驱动机构，底座的顶部开设有圆形沉腔；驱动机构包括横向设置并可转动的连接在圆形沉腔内的牵引盘以及固定在底座底部... 详细信息

标准号: CN118238062A

本发明涉及一种单面研磨抛光一体式设备，包括机身、固定在机身顶部的底座、固定在机身上方的机架、以及设于机身上的驱动机构，底座的顶部开设有圆形沉腔；驱动机构包括横向设置并可转动的连接在圆形沉腔内的牵引盘以及固定在底座底部的减速电机，减速电机的转动轴竖直向上穿过底座并同心固定在牵引盘的底部；驱动机构还包括同心并可拆卸的固定在牵引盘顶部且位于圆形沉腔内的研磨盘或抛光盘、以及同心并可转动的连接在研磨盘或抛光盘顶部的内从动轮；本发明极大的方便了使用以达到了省时省力的效果；而且防止了人工费用的增加以降低了加工成本；此外，本发明有效的把控了制造成本以兼顾经济性。

关键词：底座驱动机构牵引盘沉腔减速电机可转动抛光盘研磨盘机身同心一体式设备单面研磨横向设置机身顶部可拆卸的人工费用竖直向上同心固定制造成本从动轮转动轴抛光省时省力穿过加工

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