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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

60 篇 专利
3 篇 期刊文献

馆藏范围

63 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

3 篇 工学
- 2 篇 机械工程
- 1 篇 材料科学与工程（可...
- 1 篇 电子科学与技术（可...
- 1 篇 计算机科学与技术...
- 1 篇 软件工程

主题

3 篇 压电振动传感器
1 篇 信号处理
1 篇 敏感元件
1 篇 电势分布
1 篇 骨折愈合状态模拟
1 篇 数值模拟
1 篇 实时检测
1 篇 多目标优化设计
1 篇 螺栓松动
1 篇 响应面法

机构

10 篇 中北大学
9 篇 苏州长风航空电子...
4 篇 成都凯天电子股份...
3 篇 国网电力科学研究...
3 篇 国家石油天然气管...
3 篇 国家电网公司
3 篇 南京中科煜宸激光...
3 篇 山西省电力公司
2 篇 慧石测控科技有限...
2 篇 桂林电子科技大学
2 篇 国网甘肃省电力公...
2 篇 三峡大学
2 篇 西安探管者探测技...
2 篇 山东大学
2 篇 北京金迈捷科技股...
2 篇 英飞凌科技股份有...
2 篇 苏州立瓷电子技术...
2 篇 山东本源晶体科技...
2 篇 中国科学院上海硅...
1 篇 国网甘肃省电力公...

作者

10 篇 丑修建
10 篇 耿文平
9 篇 章建文
9 篇 张慧毅
8 篇 乔骁骏
8 篇 李晓黄
7 篇 王天资
7 篇 张磊
4 篇 武晓慧
4 篇 毛利萍
4 篇 余楠鑫
3 篇 梁伽铭
3 篇 聂德鑫
3 篇 杨昌群
3 篇 冯婷
3 篇 卢文华
3 篇 田中山
3 篇 邢飞
3 篇 胡启凡
3 篇 唱丽丽

语言

63 篇 中文

检索条件"主题词=压电振动传感器"

共 63 条记录，以下是1-10 订阅

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压电振动传感器

压电振动传感器

引用

作者：席家福王斌姜梅李炜高健杨景建赵旭洲李军张昕苗兴白涛孙小平杨洁武广萍李小娟张鹏高世刚孙道明李涛何巍王政宏孟欢李辉钱亚勇 730000 甘肃省兰州市七里河区西津东路648号

本发明公开了一种压电振动传感器，包括传感器壳体、激振动力源、激振器腔体、激振钢锤、振动传感腔体、PVDF压电传感器薄膜和控制电路，所述激振器腔体和振动传感腔体均设置在传感器壳体内，所述激振动力源和激振钢锤设置在激振器腔体... 详细信息

标准号: CN105277617A

本发明公开了一种压电振动传感器，包括传感器壳体、激振动力源、激振器腔体、激振钢锤、振动传感腔体、PVDF压电传感器薄膜和控制电路，所述激振器腔体和振动传感腔体均设置在传感器壳体内，所述激振动力源和激振钢锤设置在激振器腔体内，所述激振钢锤与激振动力源连接，所述控制电路设置在振动传感腔体的顶部，所述PVDF压电传感器薄膜设置在振动传感腔体的底部，所述激振动力源与控制电路电连接，所述PVDF压电传感器薄膜与控制电路电连接。实现准确、实时获取被检测部件的磨损、断裂等结构失效信息的优点。

关键词：腔体激振动力源控制电路振动传感激振器钢锤激振薄膜设置压电振动传感器被检测部件传感器壳体传感器壳电连接。结构失效实时获取电连接腔体内一种底部磨损顶部断裂体内连接准确公开

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压电振动传感器

压电振动传感器

引用

本实用新型公开了一种压电振动传感器，包括传感器壳体、激振动力源、激振器腔体、激振钢锤、振动传感腔体、PVDF压电传感器薄膜和控制电路，所述激振器腔体和振动传感腔体均设置在传感器壳体内，所述激振动力源和激振钢锤设置在激振器... 详细信息

标准号: CN205193018U

本实用新型公开了一种压电振动传感器，包括传感器壳体、激振动力源、激振器腔体、激振钢锤、振动传感腔体、PVDF压电传感器薄膜和控制电路，所述激振器腔体和振动传感腔体均设置在传感器壳体内，所述激振动力源和激振钢锤设置在激振器腔体内，所述激振钢锤与激振动力源连接，所述控制电路设置在振动传感腔体的顶部，所述PVDF压电传感器薄膜设置在振动传感腔体的底部，所述激振动力源与控制电路电连接，所述PVDF压电传感器薄膜与控制电路电连接。实现准确、实时获取被检测部件的磨损、断裂等结构失效信息的优点。

关键词：腔体激振动力源控制电路振动传感激振器钢锤激振薄膜设置压电振动传感器被检测部件传感器壳体传感器壳电连接。结构失效实时获取电连接腔体内一种底部磨损顶部断裂体内连接实用准确公开

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压电振动传感器及拾音器

压电振动传感器及拾音器

引用

作者：陆尧高建立王朝阳刘小民陈矛 710065 陕西省西安市高新区丈八街办唐延路35号旺座现代城B座2806室

本实用新型实施例是关于一种压电振动传感器，该压电振动传感器包括：两端开口的金属管；压电元件，中心开有第一通孔，所述压电元件的周边搭接于所述金属管的其中一端口上；质量块，中心开有第二通孔；连接杆，依次穿过所述第二通孔和... 详细信息

标准号: CN211576349U

本实用新型实施例是关于一种压电振动传感器，该压电振动传感器包括：两端开口的金属管；压电元件，中心开有第一通孔，所述压电元件的周边搭接于所述金属管的其中一端口上；质量块，中心开有第二通孔；连接杆，依次穿过所述第二通孔和所述第一通孔，并通过一紧固件将所述质量块固定悬挂于所述压电元件上。本实用新型实施例可以提高信号响应速度及信号灵敏度，且不会出现信号饱和现象，可应用于地势起伏较大的复杂环境中。

关键词：通孔压电元件压电振动传感器本实用新型金属管质量块信号灵敏度复杂环境两端开口信号饱和信号响应紧固件连接杆搭接地势穿过悬挂应用

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压电振动传感器

压电振动传感器

引用

作者：梁树棠俞志海 315000 浙江省宁波市东钱湖工业区宝源路25号

一种压电振动传感器，包括壳体(1)及设于壳体(1)内的压电换能片(2)，其特征在于所述的壳体(1)内具有供压电换能片(2)设置的容置腔(11)，所述的压电换能片(2)为长条状，因一端粘接于前述容置腔(11)的端部，另一端为悬空自由端而形成悬臂... 详细信息

标准号: CN201583340U

一种压电振动传感器，包括壳体(1)及设于壳体(1)内的压电换能片(2)，其特征在于所述的壳体(1)内具有供压电换能片(2)设置的容置腔(11)，所述的压电换能片(2)为长条状，因一端粘接于前述容置腔(11)的端部，另一端为悬空自由端而形成悬臂梁结构。与现有技术相比，本实用新型的优点在于：采用条形的压电换能片形成的悬臂梁结构作为感应元件，有利于信号的拾取，具有体积较小，灵敏度较高及信号探测幅度范围大的优点。

关键词：压电壳体悬臂梁结构容置腔压电振动传感器灵敏度较高幅度范围感应元件信号探测长条状自由端拾取粘接

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压电振动传感器及拾音器

压电振动传感器及拾音器

引用

作者：陆尧高建立王朝阳刘小民陈矛 710065 陕西省西安市高新区丈八街办唐延路35号旺座现代城B座2806室

本发明实施例是关于一种压电振动传感器，该压电振动传感器包括：两端开口的金属管；压电元件，中心开有第一通孔，所述压电元件的周边搭接于所述金属管的其中一端口上；质量块，中心开有第二通孔；连接杆，依次穿过所述第二通孔和所述... 详细信息

标准号: CN111141381A

本发明实施例是关于一种压电振动传感器，该压电振动传感器包括：两端开口的金属管；压电元件，中心开有第一通孔，所述压电元件的周边搭接于所述金属管的其中一端口上；质量块，中心开有第二通孔；连接杆，依次穿过所述第二通孔和所述第一通孔，并通过一紧固件将所述质量块固定悬挂于所述压电元件上。本发明实施例可以提高信号响应速度及信号灵敏度，且不会出现信号饱和现象，可应用于地势起伏较大的复杂环境中。

关键词：通孔压电元件压电振动传感器金属管质量块信号灵敏度复杂环境两端开口信号饱和信号响应紧固件连接杆搭接地势穿过悬挂应用

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基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法

基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法

引用

作者：耿文平丑修建张慧毅乔骁骏李晓黄武晓慧陆昊余楠鑫张亦弛游亚军 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法。所述传感器包括Si基底，Si基底表面生长一层SiO2薄膜后与LiNbO3晶片键合后构成Si‑LiNbO3键合片；Si‑LiNbO3键合片经MEMS工艺形... 详细信息

标准号: CN116887662B

本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法。所述传感器包括Si基底，Si基底表面生长一层SiO₂薄膜后与LiNbO₃晶片键合后构成Si‑LiNbO₃键合片；Si‑LiNbO₃键合片经MEMS工艺形成基底边框、中心质量块及四条悬臂传动梁；悬臂传动梁由呈垂直布置的宽梁和窄梁构成，宽梁端部与中心质量块的侧面连接，窄梁端部与基底边框的侧面连接；四条悬臂传动梁规则布置于基底边框和中心质量块之间。本发明设计合理，由于铌酸锂在高温环境下可以保持很好的压电特性，这对于极端环境下的振动信号监测具有广阔的应用前景。

关键词：基底边框中心质量块悬臂传动侧面连接键合片铌酸锂宽梁窄梁半导体器件加工压电振动传感器振动信号监测垂直布置高温环境规则布置基底表面极端环境晶片键合压电特性传动梁传感器硅基制备生长应用制造

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一种高温压电振动传感器及压电元件制备方法

一种高温压电振动传感器及压电元件制备方法

引用

作者：王天资章建文张磊 215151 江苏省苏州市高新区建林路379号

本发明公开了一种高温压电振动传感器及压电元件制备方法。高温压电振动传感器包括质量块、压电元件等部件，其中，多片圆环形压电元件通过导电片串联并压紧安装在安装座上，质量块置于由多片圆环形压电元件与导电片构成的组合件上方，... 详细信息

标准号: CN109596209A

本发明公开了一种高温压电振动传感器及压电元件制备方法。高温压电振动传感器包括质量块、压电元件等部件，其中，多片圆环形压电元件通过导电片串联并压紧安装在安装座上，质量块置于由多片圆环形压电元件与导电片构成的组合件上方，质量块通过紧固螺栓压紧固定并安装在安装座上。压电元件制备时选用材料为铋层状结构压电陶瓷Bi₄Ti₃O₁₂的改性材料，选用无水乙醇为研磨介质，称重配料后经过粗磨、敞开合成、细磨、烘干等步骤，最终获得符合性能要求的压电元件。本发明解决了压电元件高居里温度和高压电系数不可兼得问题，传感器正常工作最高耐温500℃，在10～2500Hz频率响应范围内灵敏度偏差±5％以内。

关键词：压电元件质量块压电振动传感器安装座导电片圆环形多片制备灵敏度偏差铋层状结构改性材料紧固螺栓频率响应无水乙醇性能要求压电陶瓷压紧固定研磨介质高压电组合件传感器烘干称重粗磨耐温细磨压紧串联合成敞开

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一种半自动高温压电振动传感器调试设备

一种半自动高温压电振动传感器调试设备

引用

作者：张昌金伍胜利孟祥强马文波 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创七街29号院7号楼

本发明属于半自动高温压电振动传感器调试技术领域，具体的说是一种半自动高温压电振动传感器调试设备，包括底座，底座上固定安装有背板，背板下端固定安装有工作台机构，工作台机构上方设置有上滑块，上滑块固定连接第一气缸的活塞杆... 详细信息

标准号: CN117817309A

本发明属于半自动高温压电振动传感器调试技术领域，具体的说是一种半自动高温压电振动传感器调试设备，包括底座，底座上固定安装有背板，背板下端固定安装有工作台机构，工作台机构上方设置有上滑块，上滑块固定连接第一气缸的活塞杆，第一气缸固定安装在背板上，背板背侧设置有电子光学放大镜头总成，背板一侧设置有显示器，工作台机构包括：平台，平台固定安装在背板的下端处，对称活动安装在平台上的两组整形夹具，通过对中工装对振动传感器零部件进行预装配，使各零件中心在同一条直线上，然后在通过两组整形夹具的规整，进一步保证各零件之间的同心度，从而避免组装过程中，振动传感器中敏感部分零部件被压损坏或不合格。

关键词：背板工作台机构压电振动传感器整形夹具上滑块两组气缸下端底座零部件对称活动安装对振动传感器同一条直线振动传感器背板背侧电子光学调试设备对中工装放大镜头零件中心组装过程规整活塞杆同心度预装配显示器调试敏感保证

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基于d₁₅和d₂₂的叉指型压电振动传感器及制备方法

基于d15和d22的叉指型压电振动传感器及制...

引用

作者：耿文平丑修建乔骁骏张慧毅李晓黄 030051 山西省太原市学院路3号

本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于d15和d22的叉指型压电振动传感器及制备方法，通过将铌酸锂和硅基片在低温条件下键合在一起，再进行减薄和抛光工艺；在铌酸锂表面通过溅射和剥离工艺制备叉指电极；此后，在铌酸... 详细信息

标准号: CN115697016A

本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于d₁₅和d₂₂的叉指型压电振动传感器及制备方法，通过将铌酸锂和硅基片在低温条件下键合在一起，再进行减薄和抛光工艺；在铌酸锂表面通过溅射和剥离工艺制备叉指电极；此后，在铌酸锂表面刻蚀压电悬臂梁和质量块；在硅基片背面进行空腔和器件释放从而完成压电振动传感器件的制备。本发明制备的压电振动传感器通过差分电荷的形式进行电荷采集，极大地改善了矩形悬臂梁应力分布不均匀导致的的电荷分布不均匀问题，制造工艺简单，成品率高和重复性好，适用于宽频高加速度的测试环境中，对于极端环境中振动信号采集具有很好的应用价值。

关键词：制备压电振动传感器铌酸锂电荷不均匀硅基片半导体器件加工振动信号采集矩形悬臂梁压电悬臂梁剥离工艺表面刻蚀测试环境叉指电极低温条件电荷分布极端环境抛光工艺应力分布制造工艺叉指型成品率质量块减薄溅射空腔宽频下键背面采集释放应用制造

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组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器

组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器

引用

作者： C·布雷特豪尔 S·戈斯瓦米 M·F·赫曼 G·洛伦茨 P·米什拉 D·诺伊迈尔 D·图姆波德德国诺伊比贝尔格

本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如，一种组合微机电结构(MEMS)，包括：第一压电隔膜，具有一个或多个第一电极，第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间；以及第二压电隔膜，具有惯性质量和一个或多个第... 详细信息

标准号: CN115585854A

本公开涉及组合波纹压电传声器和波纹压电振动传感器。例如，一种组合微机电结构(MEMS)，包括：第一压电隔膜，具有一个或多个第一电极，第一压电隔膜粘附在第一保持部和第二保持部之间；以及第二压电隔膜，具有惯性质量和一个或多个第二电极，第二压电隔膜粘附在第二保持部和第三保持部之间。

关键词：压电隔膜波纹粘附压电振动传感器压电传声器组合微机电第二电极第一电极

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