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主题

  • 3 篇 压电振动传感器
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  • 1 篇 电势分布
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  • 1 篇 数值模拟
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  • 1 篇 螺栓松动
  • 1 篇 响应面法

机构

  • 10 篇 中北大学
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  • 3 篇 国网电力科学研究...
  • 3 篇 国家石油天然气管...
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  • 1 篇 国网甘肃省电力公...

作者

  • 10 篇 丑修建
  • 10 篇 耿文平
  • 9 篇 章建文
  • 9 篇 张慧毅
  • 8 篇 乔骁骏
  • 8 篇 李晓黄
  • 7 篇 王天资
  • 7 篇 张磊
  • 4 篇 武晓慧
  • 4 篇 毛利萍
  • 4 篇 余楠鑫
  • 3 篇 梁伽铭
  • 3 篇 聂德鑫
  • 3 篇 杨昌群
  • 3 篇 冯婷
  • 3 篇 卢文华
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  • 3 篇 邢飞
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  • 3 篇 唱丽丽

语言

  • 63 篇 中文
检索条件"主题词=压电振动传感器"
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高灵敏度输出压电振动传感器被测激振力信号的方法
高灵敏度输出压电振动传感器被测激振力信号的方法
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作者： 金城 王瑞琪 黄鸿耀 杨汉东 610091 四川省成都市青羊区黄田坝
本发明公开的一种高灵敏度输出压电振动传感器被测激振力信号的方法，旨在解决目前传统悬臂梁式压电振动传感器不能准确测量较高频率振动信号的问题。本发明通过下述技术方案实现：将压电敏感元件重叠而成作为敏感元件的压电悬臂梁，质... 详细信息
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一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法
一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法
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作者： 耿文平 乔骁骏 丑修建 张慧毅 李晓黄 韩树棋 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
本发明属于半导体器件加工制造技术领域，涉及压电振动传感器，具体为一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过在低温环境下实现LiNbO3晶片和双抛Si片的异质集成，利用电极掩膜版图案刻蚀LiNbO3形成沟道结构，随后通过光... 详细信息
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一种新型高温压电振动传感器
一种新型高温压电振动传感器
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作者： 于法鹏 田世伟 马庆宇 张树君 李妍璐 程秀凤 段秀兰 陈菲菲 王正平 赵显 250199 山东省济南市历城区山大南路27号
本发明涉及一种新型高温压电振动传感器，包括：底座；外壳，底座上连接外壳，形成压电振动传感器的密封内腔；固定在底座上的陶瓷棒；依次套放在陶瓷棒上的多片压电晶片、金属块、绝缘片、穿有高温引线的预紧件；两路电极线，放置在压... 详细信息
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一种d15模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法
一种d<Sub>15</Sub>模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法
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作者： 耿文平 丑修建 魏慧芬 毕开西 穆继亮 何剑 侯晓娟 030051 山西省太原市学院路3号
本申请提供了一种d15模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过将底电极/二氧化硅层/硅基底与铌酸锂晶片进行键合，再依次进行减薄、化学机械抛光和清洗，得到铌酸锂单晶薄膜；在晶圆表面采用磁控溅射、离子束刻蚀剥离工艺制... 详细信息
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一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法
一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法
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作者： 耿文平 乔骁骏 丑修建 张慧毅 李晓黄 韩树棋 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
本发明属于半导体器件加工制造技术领域，涉及压电振动传感器，具体为一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过在低温环境下实现LiNbO3晶片和双抛Si片的异质集成，利用电极掩膜版图案刻蚀LiNbO3形成沟道结构，随后通过光... 详细信息
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应用于平面剪切式的压电振动传感器的工装
应用于平面剪切式的压电振动传感器的工装
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作者： 章建文 王天资 张磊 刘犇 215151 江苏省苏州市高新区建林路379号
本发明涉及压电振动传感器的工装领域，具体是应用于平面剪切式的压电振动传感器的工装，包括基座、两个压块和两个空心螺栓；基座设置有第一螺纹通孔和第二螺纹通孔，至少位于第一螺纹通孔和第二螺纹通孔之间的基座设置有基准平面；两... 详细信息
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基于d15和d22的叉指型压电振动传感器及制备方法
基于d<Sub>15</Sub>和d<Sub>22</Sub>的叉指型压电振动传感器及制...
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作者： 耿文平 丑修建 乔骁骏 张慧毅 李晓黄 030051 山西省太原市学院路3号
本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于d15和d22的叉指型压电振动传感器及制备方法，通过将铌酸锂和硅基片在低温条件下键合在一起，再进行减薄和抛光工艺；在铌酸锂表面通过溅射和剥离工艺制备叉指电极；此后，在铌酸... 详细信息
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基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法
基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法
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作者： 耿文平 丑修建 张慧毅 乔骁骏 李晓黄 武晓慧 陆昊 余楠鑫 张亦弛 游亚军 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法。所述传感器包括Si基底，Si基底表面生长一层SiO2薄膜后与LiNbO3晶片键合后构成Si‑LiNbO3键合片；Si‑LiNbO3键合片经MEMS工艺形... 详细信息
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一种压电振动传感器、自供电振动监测系统及方法
一种压电振动传感器、自供电振动监测系统及方法
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作者： 谢志刚 杨波 李明洋 谢伟栋 王蔚 曹少荣 何奕洁 张明栋 745000 甘肃省庆阳市西峰区朔州东路9号
一种压电振动传感器、自供电振动监测系统及方法，涉及振动能量收集技术以及振动监测领域，该压电振动传感器包括供能压电元件、监测压电元件和弹簧，供能压电元件和监测压电元件均设置在弹簧的螺旋线圈上，并与弹簧的轴向投影重合，供... 详细信息
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一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法
一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法
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作者： 钱满满 孙玉达 李方方 罗家栋 张国栋 刘军 刘欣 王晓伟 266000 山东省青岛市高新区名园路11号
本发明提供一种压电振动传感器的绝缘安装基座及其制备方法，涉及压电振动传感器相关技术领域，其在上座和下座之间采用熔焊的方式刚性连接一个绝缘垫片，通过绝缘垫片的阻隔实现上座和下座之间的电气绝缘，而且，绝缘垫片采用氮化铝陶... 详细信息
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