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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

33 篇 专利
7 篇 会议
1 篇 期刊文献
1 篇 学位论文

馆藏范围

42 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

9 篇 工学
- 4 篇 力学（可授工学、理...
- 4 篇 机械工程
- 2 篇 兵器科学与技术
- 1 篇 仪器科学与技术
- 1 篇 电子科学与技术（可...
- 1 篇 控制科学与工程

主题

9 篇 压阻压力传感器
2 篇 冲击波超压
2 篇 空气动力学
2 篇 微机械加工
1 篇 动态试验
1 篇 微封装
1 篇 微型
1 篇 电磁干扰
1 篇 微机械加工制造
1 篇 检测装置
1 篇 硅压阻微压力敏芯...
1 篇 齐平封装设计
1 篇 爆破冲击波测量
1 篇 高频动态压力传感...
1 篇 爆炸冲击波
1 篇 微机械加工技术
1 篇 动态压力测试
1 篇 频率响应
1 篇 动态测量
1 篇 内置放大器

机构

6 篇 南京信息工程大学
4 篇 昆山双桥传感器测...
2 篇 山东省路桥集团有...
2 篇 河南科技大学
2 篇 纬湃科技美国有限...
2 篇 中国科学院微电子...
2 篇 北京自动化控制设...
2 篇 上海大学
2 篇 电子科技大学
2 篇 苏州伊欧陆系统集...
2 篇 苏州司南传感科技...
2 篇 华东光电集成器件...
2 篇 江苏万宝桥梁构件...
1 篇 石家庄兴和精密模...
1 篇 中国科学院半导体...
1 篇 复旦大学
1 篇 北京208研究所
1 篇 瑞安市福达汽车部...
1 篇 罕王微电子有限公...
1 篇 中国人民解放军63...

作者

7 篇 王文襄
6 篇 周莹
6 篇 钱志雅
6 篇 顾颖
6 篇 张燕
6 篇 张加宏
6 篇 杨天民
4 篇 王冰
3 篇 徐沪童
3 篇 王麦广
2 篇 尚海平
2 篇 陆骏
2 篇 吴如兆
2 篇 沈国军
2 篇 李海之
2 篇 张园圆
2 篇 费敏锐
2 篇 任宏图
2 篇 赵鹏
2 篇 韩红彪

语言

42 篇 中文

检索条件"主题词=压阻压力传感器"

共 42 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

一种微型MEMS压阻压力传感器的制备方法

一种微型MEMS压阻压力传感器的制备方法

引用

作者：王晓东宋培帅司朝伟何昱蓉魏江涛杨亮亮杨富华 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

本发明提供一种微型MEMS压阻压力传感器的制备方法，在顶硅层通过离子注入制备出压敏电阻，在背硅层通过刻蚀制备出空腔，并且在SOI晶圆正反两面进行两次键合，分别充当用作保护的临时键合片和用作空腔密封的基底，整体是三明治结构。... 详细信息

标准号: CN115367693A

本发明提供一种微型MEMS压阻压力传感器的制备方法，在顶硅层通过离子注入制备出压敏电阻，在背硅层通过刻蚀制备出空腔，并且在SOI晶圆正反两面进行两次键合，分别充当用作保护的临时键合片和用作空腔密封的基底，整体是三明治结构。这种结构保证了器件的刚度，降低在后续加工工艺中晶圆发生碎裂的概率，也可以实现更薄的器件厚度。实现微型化，减薄器件厚度及后续器件的保护，采用临时键合该微机械压阻压力传感器可以在SOI片磨抛减薄中起到正面保护的作用，同时由于键合后上层临时键合片的存在，保证了整体的刚度，避免后续工艺中因片子过薄引起的碎裂，并且易于后续分离。

关键词：制备压阻压力传感器碎裂临时键合减薄晶圆微型化三明治结构后续工艺后续加工结构保证空腔密封压敏电阻正反两面正面保护顶硅层临时键微机械次键硅层基底键合刻蚀磨抛离子上层概率保证

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一种高精度片上补偿的压阻压力传感器及其补偿方法

一种高精度片上补偿的压阻压力传感器及其补偿方法

引用

作者：方欢俞童 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12幢102室

本发明涉及一种高精度片上补偿的压阻压力传感器及其补偿方法，其中压阻压力传感器包含衬底、敏感膜、压阻层结构、补偿电阻结构、金属连接层、绝缘层；所述衬底设置有一空腔；所述敏感膜位于衬底上表面，完全覆盖整个空腔；所述压阻层... 详细信息

标准号: CN116539214A

本发明涉及一种高精度片上补偿的压阻压力传感器及其补偿方法，其中压阻压力传感器包含衬底、敏感膜、压阻层结构、补偿电阻结构、金属连接层、绝缘层；所述衬底设置有一空腔；所述敏感膜位于衬底上表面，完全覆盖整个空腔；所述压阻层结构位于敏感膜上方，且处在空腔范围之内，用于感测外界压力的信号；所述补偿电阻结构位于敏感膜上方，且处在空腔范围之外，包括至少一个零点补偿电阻、至少一个温漂补偿电阻、至少一个灵敏度校正电阻；所述金属连接层位于敏感膜上方；所述绝缘层位于传感器芯片最上层；本发明提供的补偿电阻均位于芯片上，所有调阻工艺也均是在芯片上进行的，不需要提供外围电路板，具有成本更低、封装面积更小的优势。

关键词：敏感膜补偿电阻绝缘层压阻压力传感器金属连接层层结构衬底电阻空腔压阻芯片零点补偿电阻衬底上表面传感器芯片灵敏度校正外围电路板片上补偿外界压力温漂补偿整个空腔一空腔最上层感测封装

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一种电缆线系SOI压阻压力传感器

一种电缆线系SOI压阻压力传感器

引用

作者：焦贵忠盛健陈信琦周宇飞 233030 安徽省蚌埠市经开区汤和路2016号

本发明涉及一种电缆线系SOI压阻压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻和互连线（2），感压膜片区域内制有互连线（6）与对应的敏感桥阻连接，围堰上的背封玻璃（50）... 详细信息

标准号: CN114136511A

本发明涉及一种电缆线系SOI压阻压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻和互连线（2），感压膜片区域内制有互连线（6）与对应的敏感桥阻连接，围堰上的背封玻璃（50）中设有微凹腔（51）构成压力参考腔，衬底硅正面连接封接玻璃（60）及测量接口（61），金属接嘴（62）与封接玻璃连为一体,金属空心插管（54）与金属焊盘（3）形成电连接，金属空心插管中嵌压焊接电缆线（55）。本发明具有如下优点：传感器线性压阻灵敏度正/反向对称一致性,无管座使传感器与芯片固有频率接近，尤其是适用高频的动态压力测量。

关键词：感压膜片衬底硅封接玻璃空心插管互连线金属围堰压阻压力传感器动态压力测量传感器线性焊接电缆线压力参考腔反向对称固有频率金属焊盘敏感电缆线电连接灵敏度微凹腔传感器背封管座接嘴嵌压微腔压阻背面测量芯片玻璃

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一种弹载电桥自平衡压阻压力传感器调理采集器

一种弹载电桥自平衡压阻压力传感器调理采集器

引用

作者：张鹏陈云鹏李孟委 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

本发明公开了一种弹载电桥自平衡压阻压力传感器调理采集器，涉及压力测量技术领域。包括：惠斯通电桥电路模块、电源模块、无线开关控制模块、恒流源模块、单片机模块、A/D转换模块、差分放大电路模块、反相放大电路模块、过压保护电... 详细信息

标准号: CN117870920A

本发明公开了一种弹载电桥自平衡压阻压力传感器调理采集器，涉及压力测量技术领域。包括：惠斯通电桥电路模块、电源模块、无线开关控制模块、恒流源模块、单片机模块、A/D转换模块、差分放大电路模块、反相放大电路模块、过压保护电路模块以及数据采存模块；惠斯通电桥电路模块与差分放大电路模块的两个输入端连接；差分放大电路模块的输出端分别与反相放大电路模块的输入端和A/D转换模块连接；反相放大电路模块的输出端通过过压保护电路模块与数据采存模块连接；A/D转换模块还与单片机模块连接；单片机模块与惠斯通电桥电路模块中的数字电位计连接。本发明能够以较小的体积实现高效率、高精确度的电桥平衡调节以及数据采集功能。

关键词：反相放大电路模块惠斯通电桥电路差分放大电路单片机模块过压保护电路模块输出端压阻压力传感器数据采集功能无线开关控制压力测量技术恒流源模块输入端连接数字电位计电桥平衡电源模块模块连接采集器高效率输入端自平衡调理弹载电桥

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一种可穿戴可水洗的压阻压力传感器及其制备方法和应用

一种可穿戴可水洗的压阻压力传感器及其制备方法和应用

引用

作者：王彦骆文波卢鹏宇陈畅张晓升 610000 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

本发明提供了一种可穿戴可水洗的压阻压力传感器及其制备方法和应用，涉及柔性可穿戴设备技术领域。该方法通过浸渍使CNT/CB附着在PU海绵的骨架上，进一步TPU颗粒在高温下融化后将CNT和CB牢固的结合在一起形成CNT/CB/TPU@PU传感器，该... 详细信息

标准号: CN117451225A

本发明提供了一种可穿戴可水洗的压阻压力传感器及其制备方法和应用，涉及柔性可穿戴设备技术领域。该方法通过浸渍使CNT/CB附着在PU海绵的骨架上，进一步TPU颗粒在高温下融化后将CNT和CB牢固的结合在一起形成CNT/CB/TPU@PU传感器，该传感器具有良好的灵敏度，稳定性以及可水洗性。本发明的传感器的力敏层是可显著清洗的；由于CNT和CB协同构建的导电网络，实现了该传感器在灵敏度(0.1KPa^‑1)，响应时间(119ms)，恢复时间(59ms)，重复性(1000)，稳定性方面表现优异。本发明的传感器在实时检测人体健康，人机界面交互方面具有很大的应用潜力。

关键词：传感器灵敏度可水洗压阻压力传感器制备方法和应用人机界面交互浸渍可穿戴设备导电网络人体健康实时检测应用潜力可穿戴附着构建敏层清洗融化协同响应恢复表现

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一种电缆线系SOI压阻压力传感器

一种电缆线系SOI压阻压力传感器

引用

作者：焦贵忠盛健陈信琦周宇飞 233030 安徽省蚌埠市经开区汤和路2016号

标准号: CN114136511B

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无线存储式爆炸冲击波压阻压力传感器研制

无线存储式爆炸冲击波压阻压力传感器研制

引用

第五届全国爆炸力学实验技术学术会议

作者：韩红彪王冰李济顺尤彩虹吴如兆王文襄河南省机械设计与传动省重点实验室(河南科技大学) 河南科技大学机电工程学院昆山双桥传感器测控技术有限公司

在进行爆炸冲击波的近场点压力检测时,动态压力传感器安装在爆炸现场,现场极强的光、电、热、电磁干扰给传感器准确的、高信噪比的信号采集与传输带来极大的困难。很长的传感器信号传输线更增加了这一困难。我们在过去的爆炸冲击波超压... 详细信息

在进行爆炸冲击波的近场点压力检测时,动态压力传感器安装在爆炸现场,现场极强的光、电、热、电磁干扰给传感器准确的、高信噪比的信号采集与传输带来极大的困难。很长的传感器信号传输线更增加了这一困难。我们在过去的爆炸冲击波超压测试实践中就曾多次发现爆炸化学反应产生的强电离电磁场对近场布置的传感器通过电缆耦合产生的负脉冲干扰,这一干扰虽然可以用良好的穿管或埋线接地来屏蔽,但敷设安装的困难是可想而知的,近场爆炸伴随的燃烧,高振动也给保护传感器

关键词：无线存储式爆炸冲击波压阻压力传感器检测装置

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空气动力学用微型压阻压力传感器

空气动力学用微型压阻压力传感器

引用

2004全国空气动力测控技术交流会

作者：许广军王文襄李水俠温争艳昆山双桥传感器测控技术有限公司(江苏昆山)

在江苏省2002年度重点工业攻关项目支持下完成的CYG503(φ3.5mm)微型动态压阻压力传感器即是专为空气动力学动态压力测试设计的.从MEMS硅压阻微压力敏芯片的设计,微机械加工制造到无应力微封装的完成,均是自主知识产权的结晶.它填补了... 详细信息

在江苏省2002年度重点工业攻关项目支持下完成的CYG503(φ3.5mm)微型动态压阻压力传感器即是专为空气动力学动态压力测试设计的.从MEMS硅压阻微压力敏芯片的设计,微机械加工制造到无应力微封装的完成,均是自主知识产权的结晶.它填补了国内微型传感器国产产品空白,结束了Kulite库利特公司,Endvco思特弗可公司独占我国这一需求领域市场的局面.在平时,替代进口,可节约大量外汇;当政治局势变化受到禁运限制时,能确保我国军事科学技术与尖端科研的需求.