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  • 2 篇 原子混合-粗糙度-...
  • 1 篇 粗糙度-级联混合-...
  • 1 篇 柔性功能薄膜
  • 1 篇 动态特性
  • 1 篇 上下坡模型
  • 1 篇 解析表达式
  • 1 篇 辉光放电发射光谱
  • 1 篇 深度剖析定量分析
  • 1 篇 深度分辨率

机构

  • 2 篇 汕头大学
  • 1 篇 马克斯普朗克智能...
  • 1 篇 汕头万顺新材股份...

作者

  • 2 篇 王江涌
  • 2 篇 徐从康
  • 2 篇 wang jiang-yong
  • 2 篇 xu cong-kang
  • 1 篇 余云鹏
  • 1 篇 yang hao
  • 1 篇 吕凯
  • 1 篇 zheng jin-quan
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  • 1 篇 周刚
  • 1 篇 lv kai
  • 1 篇 刘远鹏

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=原子混合-粗糙度-信息深度模型"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
三种溅射深度剖析定量分析模型解析表达式的比较
收藏 引用
真空 2023年 第3期60卷 24-41页
作者: 钟凤敏 王穗鹏 郑锦权 杨浩 Siegfried Hofmann 徐从康 王江涌 汕头大学物理系 广东汕头515063 马克斯普朗克智能系统研究所 德国斯图加特D-70569 汕头大学半导体材料与器件研究中心 广东汕头515063
本文系统地讨论了三种广泛应用于溅射深度剖析定量分析的原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型、上下坡(UDS)模型粗糙度-级联混合-反冲注入(RMR)模型的解析表达式。先从定义、公式推导、仿真结果分析三方面逐一分析了这三种模型对应的... 详细信息
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柔性功能薄膜辉光光谱深度分辨率分析
收藏 引用
真空 2020年 第4期57卷 1-5页
作者: 周刚 吕凯 刘远鹏 余云鹏 徐从康 王江涌 汕头大学物理系 广东汕头515063 汕头万顺新材股份有限公司 广东汕头515078
本文首先通过脉冲射频辉光放电发射光谱定量表征了自然生长在Si(111)基片上约1nm的SiO2膜,表明射频辉光放电发射光谱具有纳米级别的深度分辨率。随后用原子力显微镜和分光光计对一款含有Ag层的柔性光学功能薄膜进行了表征,并利用脉冲... 详细信息
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