咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 尺蠖式压电陶瓷电...
  • 1 篇 滑模控制
  • 1 篇 双模式驱动器
  • 1 篇 大电压低纹波

机构

  • 1 篇 复旦大学

作者

  • 1 篇 杨晓峰
  • 1 篇 韩硕

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=双模式驱动器"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
尺蠖式压电陶瓷电机的双模式驱动器开发与研究
收藏 引用
压电与声光 2024年 第4期46卷 562-569页
作者: 韩硕 杨晓峰 复旦大学集成电路与系统国家重点实验室 上海200433 复旦大学上海市超精密检测运动与控制中心 上海200433
尺蠖式压电陶瓷电机具有小尺寸,长行程,纳米级定位和大推力的特性,被广泛应用于集成电路装备和精密运动平台中。然而目前受其驱动器约束,难以实现长行程运动时高精度定位、位移可控和速度可控,因而无法应用到具有高推力、高速度和长行... 详细信息
来源: 评论