检索结果-内蒙古大学图书馆

光学精密工程 2008年第9期16卷 1666-1672页

作者：李敏董宁宁刘震刘世界李旭范鲜红王丽辉马月英陈波中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组... 详细信息

为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08 nm,光源信号抖动范围<5%,光源稳定性好。反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60 nm的Mo/Si多层膜反射镜,相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70 nm。同时还用WYKO测量得到13.9和19.6 nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55 nm。

关键词： Mo/Si多层膜反射镜反射率测量表面粗糙度极紫外光源激光等离子体光源

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用于材料反射率测量的共轭反射计设计与分析

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光学精密工程 2010年第12期18卷 2521-2529页

作者：吴丽雄王立君林新伟刘峰西北核技术研究所激光与物质相互作用国家重点实验室陕西西安710024 国防科学技术大学光电科学与工程学院湖南长沙410073

为了研究激光辐照过程中材料的耦合特性及耦合特性随温度的变化规律,设计了一套主体为半椭球壳体,可用于激光辐照过程中材料反射率在线测量的共轭反射计实验装置,研制完成的初样其主体内壁在可见-长波红外光谱范围内镜面反射率优于70%... 详细信息

为了研究激光辐照过程中材料的耦合特性及耦合特性随温度的变化规律,设计了一套主体为半椭球壳体,可用于激光辐照过程中材料反射率在线测量的共轭反射计实验装置,研制完成的初样其主体内壁在可见-长波红外光谱范围内镜面反射率优于70%。介绍了测量原理和测试系统的设计方案,采用光线追迹模拟方法研究了主体部分的设计参数,分析了开孔位置、入射方向、光斑尺寸、收集孔径以及内壁反射特性对测量收集效率的影响。结果表明:在设计指标下选用探测光束直径为Φ10 mm、收集孔径为Φ38.1 mm时,收集效率可达到完全收集的97.8%,满足测量要求。另外,用短波激光测量内表面光洁度有更高要求;理想面型条件下,限定范围内的收集效率主要由内壁镜面反射率决定;因此,半椭球内壁的面型、光洁度、反射率及其均匀性是影响测量精度的主要因素。

关键词：共轭反射计反射率测量激光辐照耦合特性收集效率

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中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

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物理学报 2003年第4期52卷 809-812页

作者：黄文忠李英骏谷渝秋张杰尤永禄淳于书泰何颍玲雷安乐陈正林马月英金春水中国工程物理研究院激光聚变研究中心绵阳621900 中国科学院物理研究所中国科学院长春光学精密机械和物理研究所长春130022

在“星光 Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源 ,以平场光栅谱仪为分光元件进行了 2 8 5nm的Mo Si多层膜反射镜效率测量 .介绍了实验方法 ,给出了实验结果 ,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为 3 1%和 9.6 % .

关键词： X射线多层膜反射镜反射率测量 X射线激光实验研究

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高反射率测量中的测量精度与误差分析

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激光技术 1989年第4期13卷 26-32页

作者：庄大奎黄永楷杨天立中国科学院上海光机所

本文介绍了在研制红外高反射率测量仪过程中分析测量精度和误差的方法,使其总体性能达到并超过了预期的研制要求。

关键词：测量精度测量仪单次共振腔绝对精度折叠腔多次反射地震干扰反射率测量

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基于腔衰荡光谱技术的光纤Bragg光栅反射率测量

基于腔衰荡光谱技术的光纤Bragg光栅反射率测量

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作者：雷玮长江大学

学位级别：硕士

光纤Bragg光栅（缩写FBG）是在1978年由加拿大的***等人首次发明的,它是一种全光纤器件,经常用于过滤器和激光反射器,在光纤通信技术、光纤温度传感器、红外线遥感技术、光纤激光器的应用、微波通信技术、生物光学技术及光信息及其处理... 详细信息

光纤Bragg光栅（缩写FBG）是在1978年由加拿大的***等人首次发明的,它是一种全光纤器件,经常用于过滤器和激光反射器,在光纤通信技术、光纤温度传感器、红外线遥感技术、光纤激光器的应用、微波通信技术、生物光学技术及光信息及其处理等领域具有广泛应用。本文提出一种基于腔衰荡光谱技术（CRDS）测量FBG反射率方法,并就相关关键问题作详细研究,主要研究内容如下:1、利用耦合模理论探讨FBG的反射特性,讨论光栅长度L、耦合系数k对其反射特性的影响。研究结果表明:随光栅长度L的增加FBG的反射率逐渐变大,随着光栅长度L的增加FBG的反射带宽却逐渐变窄,随着耦合系数k的增加峰值反射率rmax也变得越来越大。2、提出一种研究FBG对不同线型光信号入射响应的线性系统分析方法,建立相应的系统分析模型。理论研究FBG对高斯线型光信号入射响应,实验研究FBG对准洛伦兹线型与高斯线型光信号入射的响应。高斯线型光信号源为InP/InGaAsP多量子阱半导体的自发辐射光,准洛伦兹线型光信号源为掺铒光纤的自发辐射光。研究结果表明:FBG对入射光信号的影响发生在FBG Bragg波长附近3 dB带宽范围内,只与FBG的透射函数有关,而与入射信号波形无关,同时验证了FBG的带阻滤波效应,表明FBG Bragg波长及其带宽范围内的所有光波被FBG反射回去,其它波长光波顺利通过FBG。3、提出并论证一种基于FBG-FP CRDS的高反射率FBG测量方法,给出其工作原理,导出腔衰荡（CRD）时间与FBG反射率之间的函数关系,并进行数值仿真,理论研究结果表明:FBG-FP腔的输出特性可分为建立、稳定和衰荡三个阶段。FBG反射率测量测量分三个步骤:1)确定模式（由波长表征）;2)测量某一模式下的CRD时间,根据CRD时间与FBG的反射率间的关系式,计算出FBG的反射率;3)重复1)、2)两步,测量FBG在其它模式（波长）下的反射率,利用拟合方法,得到FBG的反射特性曲线。实验研究结果表明:FBG的反射率是波长的函数,在1550.09 nm处的反射率为99.37%。当然,该方法也同样适用于测量FBG低反射率。

关键词： FBG 反射率测量腔衰荡光谱 FBG-FP腔响应

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基于频率锁定腔衰荡光谱技术及其在镜面反射率测量中的应用

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大气与环境光学学报 2015年第5期10卷 425-431页

作者：赵刚李志新谭巍邱晓东马维光董磊张雷尹王保贾锁堂山西大学激光光谱研究所量子光学与光量子器件国家重点实验室山西太原030006

腔衰荡光谱技术(CRDS)由于其具有高灵敏度、高精度、装置简单等特点,被广泛应用于痕量气体检测、镜面反射率测量等领域。建立了一套基于连续波频率的腔衰荡光谱(CW-CRDS)装置,基于Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定技术将激光器的频率锁... 详细信息

腔衰荡光谱技术(CRDS)由于其具有高灵敏度、高精度、装置简单等特点,被广泛应用于痕量气体检测、镜面反射率测量等领域。建立了一套基于连续波频率的腔衰荡光谱(CW-CRDS)装置,基于Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定技术将激光器的频率锁定到光学腔的纵模上,从而保证了激光功率到腔模的高效耦合。通过观测不同的声光调制器(AOM)关断频率对应的透射信号,得到光路最佳关断频率为60kHz。使用该系统测量了光学腔腔镜的反射率,通过与非锁定情况下测量得到的结果进行对比,得出锁定后的结果漂移减小,误差也压缩为非锁定情况下的1/3。

关键词：腔衰荡光谱 Pound-Drever-Hall锁频反射率测量

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光学膜层的低反射率测量

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光学仪器 1984年第2期 18-23页

作者：黄木贞上海交通大学

本文介绍和讨论了在激光器中一些低反射率的激光光学膜以及用来测定这类光学膜低反射率的一种自行设计低反仪。这类低反射率的测量数字是评价它们质量的重要参数和指标。

关键词：激光器 YAG 光激射器电子器件反射率测量增透膜抗反射膜光学薄膜偏振片干涉滤光膜光学膜剩余反射率

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用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台

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电子测试 2013年第5S期24卷 255-257页

作者：刘世界尼启良陈波何玲平王海峰中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033

用于探月二期工程的极紫外相机采用多层膜反射镜作为光学元件,多层膜反射镜整镜镀膜之前需进行样片镀膜并检测从而完善并确定镀膜工艺。本文介绍了搭建的一台样片反射率测量的小型真空试验台。该试验台由激光等离子体(LPP)光源系统、Mcp... 详细信息

用于探月二期工程的极紫外相机采用多层膜反射镜作为光学元件,多层膜反射镜整镜镀膜之前需进行样片镀膜并检测从而完善并确定镀膜工艺。本文介绍了搭建的一台样片反射率测量的小型真空试验台。该试验台由激光等离子体(LPP)光源系统、Mcpherson247单色仪、真空样品室探测系统、数据采集及处理系统组成。工作波段为1～120nm,光谱辐射稳定性好于±1%/h,角分辨率误差为0.015°。用本实验台对多层膜样片进行不同波长反射率测量,测量入射角一定时对不同波长的反射率曲线,根据测量结果完善多层膜镀膜工艺。

关键词：极紫外多层膜反射率测量

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影响晶硅电池绒面反射率测量仪校准的因素探讨

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中国计量 2018年第7期 96-98页

作者：郭刚王化鹏魏志明刘妍河北省计量监督检测研究院英利能源(中国)有限公司

一、引言晶硅电池绒面反射率测量仪又称D8积分式反射仪,是用来测量光伏晶硅电池绒面反射率的专用仪器,在光伏企业中广泛使用。主要应用在制绒、清洗、PECVD等工序中的反射率测量。目前此类绒面反射率测定仪没有国家标准,通常参照国际标... 详细信息

一、引言晶硅电池绒面反射率测量仪又称D8积分式反射仪,是用来测量光伏晶硅电池绒面反射率的专用仪器,在光伏企业中广泛使用。主要应用在制绒、清洗、PECVD等工序中的反射率测量。目前此类绒面反射率测定仪没有国家标准,通常参照国际标准化组织ISO7724和德国标准DIN5033制作。

关键词：反射率测量测量仪硅电池绒面国际标准化组织校准 PECVD 专用仪器

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基于光腔衰荡的反射率测量技术的研究

基于光腔衰荡的反射率测量技术的研究

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中国光学学会2004年学术大会

作者：孙宏波熊胜明高丽峰中国科学院光电技术研究所 610209

本文根据光腔衰荡原理开展了高反射率镜片反射率测量技术的研究。理论上给出了直型腔和折叠腔的反射率计算方法，构建了测量高反镜反射率的实验系统。实验结果表明：本技术结构简单，易调节，可以测量任意角度的反射率，测量结果精确，... 详细信息

本文根据光腔衰荡原理开展了高反射率镜片反射率测量技术的研究。理论上给出了直型腔和折叠腔的反射率计算方法，构建了测量高反镜反射率的实验系统。实验结果表明：本技术结构简单，易调节，可以测量任意角度的反射率，测量结果精确，可满足高反镜片的各种测量要求。

关键词：高反射率镜片反射率测量光腔衰荡测量精度

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