检索结果-内蒙古大学图书馆

电子工业专用设备 1985年第2期 28-40页

作者： S.Wittekoek 童志义

菲利浦实验室设计用于直接在硅片上制作集成电路光掩模图形的分步重复投影曝光装置—Silicon Repeater,曾在早期发行的本刊中有过简结的叙述。经过对初始样机的不断改进,目前此技术已日趋成熟,能以更高的分辨率对硅片进行高速曝光。本... 详细信息

菲利浦实验室设计用于直接在硅片上制作集成电路光掩模图形的分步重复投影曝光装置—Silicon Repeater,曾在早期发行的本刊中有过简结的叙述。经过对初始样机的不断改进,目前此技术已日趋成熟,能以更高的分辨率对硅片进行高速曝光。本文阐述了Silicon Repeater 最佳的技术规格——主要由物理极限来确定的可见光光学系統的先进设计。

关键词：掩模图光栅线宽光源光栏辐射源光学系统抗蚀剂光学投影系统对准系统反差传递函数光学传递函数调制传递函数棒状透镜入瞳入射光瞳光刻设备投影光刻机粒子束光束硅片

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高性能投影光刻物镜MTF曲线平滑特性的探讨

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光电工程 1986年第6期 1-6页

作者：叶宝珠

用投影光刻法刻制大规模集成电路精细线条,必须顾及光学系统在一定离焦范围内均满足光刻工艺技术要求。本文以五倍光刻物镜为例,介绍了工作频率为300对线/毫米,象方线视场φ28毫米,轴上点及轴外点的波差传递函数MTF曲线一致性好,并在... 详细信息

用投影光刻法刻制大规模集成电路精细线条,必须顾及光学系统在一定离焦范围内均满足光刻工艺技术要求。本文以五倍光刻物镜为例,介绍了工作频率为300对线/毫米,象方线视场φ28毫米,轴上点及轴外点的波差传递函数MTF曲线一致性好,并在±2微米离焦范围内MTF曲线变化平滑,且满足MTF≥0.4关键性问题。

关键词：视场函数曲线投影光刻物镜调制传递函数反差传递函数光学传递函数离焦量 MTF 象差波差

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第一代和第二代自动跟踪/激光指示器吊舱的光学工程

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激光与光电子学进展 1980年第2期 32-38页

作者：孙占鳌

用作为从高性能飞机进行自动跟踪和激光指示目标的电光系统的光学设计和工程,要求对总系统的多方面进行考虑;例如,大的后视能力,最大通光孔径,精确瞄视和高的透射率。第一代和第二代电光吊舱已用一付多功用的物镜设计并制造出来,该物镜... 详细信息

用作为从高性能飞机进行自动跟踪和激光指示目标的电光系统的光学设计和工程,要求对总系统的多方面进行考虑;例如,大的后视能力,最大通光孔径,精确瞄视和高的透射率。第一代和第二代电光吊舱已用一付多功用的物镜设计并制造出来,该物镜作为双视场/双波照相系统,激光指示器,激光测距仪,和激光定点跟踪器的组合通光孔径。一块具有1、1.5和6度视场能力的衍射极限远距照相物镜是光学系统的心脏。该设计在满足激光器运转要求并用模结构容易维修的情况下能提供良好的成象质量。对于处在动态环境下用来固定吊舱中元件的光具座工程,需要用光学偏差容限和结构特性作仔细分析。光具座的数学模型提供了一种确定满足成象和瞄视要求的刚性要求方法。硅目标光导摄象管传感器给出一种极好的、自动的、在飞行中瞄视的能力。

关键词：调制传递函数光具座常平架反差传递函数光学传递函数视场公差分析激光指示器吊舱跟踪器有效焦距照相机系统光学工程第一代第二代

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用RCA P-300测试卡确定电视摄象管分辨率的新方法

引用

光电子学技术 1981年第1期 59-72页

作者：甘治华

确定电视摄象管分辨率是一项非常复杂的任务.摄象管只有放在整个摄象系统才能评价它的性能,而摄象系统的每个元件都对最终结果有影响.通常分辨率是利用给定行数的方波幅值响应来确定的.然而,现在认为电子束分辨孔径的几何形状一般是椭圆... 详细信息

确定电视摄象管分辨率是一项非常复杂的任务.摄象管只有放在整个摄象系统才能评价它的性能,而摄象系统的每个元件都对最终结果有影响.通常分辨率是利用给定行数的方波幅值响应来确定的.然而,现在认为电子束分辨孔径的几何形状一般是椭圆的,以及摄象管系统的幅值响应不是唯一的,因而研究了一种用新的测试卡和计算机程序来计算分辨孔径的几何形状的方法.根据这种方法提出了MTF(modulation transfer function)理论.用这种新测试卡测得的幅值响应来评价确定分辨率的三个参数:即有效的幅值响应、不对称率和MTF指数.对各种摄象管的测量证实了这种新方法和它的效果.

关键词：分辨率聚焦线圈鉴别率 RCA P-300 测试卡几何形状图象调制传递函数反差传递函数光学传递函数孔径摄象电视电信

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月球轨道飞行器摄影系统

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光学机械 1975年第5期 13-21页

拍摄月球表面的摄影系统是一个复杂的系统,该系统可提供双镜头照像,胶片处理,同时把胶片图像转换为视频信号通过宇宙飞船发射机发送出去,地面轨道跟踪站接收到信号后进行处理重现图像。月球轨道飞行器飞行的主要目的是获得月球表面的地... 详细信息

拍摄月球表面的摄影系统是一个复杂的系统,该系统可提供双镜头照像,胶片处理,同时把胶片图像转换为视频信号通过宇宙飞船发射机发送出去,地面轨道跟踪站接收到信号后进行处理重现图像。月球轨道飞行器飞行的主要目的是获得月球表面的地形数据以便选择和确定适合于阿波罗着陆的位置。除实现这一严格要求的镜头外,系统的设计是受一些约束的影响,即:尺寸,重量,功率消耗,外界压力,周围的热环境以及对系统控制和仪器的限制。对摄影系统的根本要求是选择适于处理胶片的化学方法和摄影镜头。以上这些都将详细评论。适合于这些摄影要求的地面设备也将简要的讨论一下。

关键词：摄影系统飞行月球轨道航空运动月球表面感光材料负片反差传递函数光学传递函数调制传递函数摄影设备摄影镜头图像质量胶片图像拖影视频信号航天飞船宇宙飞船

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透射式电视测试图

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真空电子技术 1988年第5期 48-54+47页

作者：胡振清郝元福吉重安

本文介绍了透射式电视测试图(测试卡)的基本工作原理和计算过程。着重讨论了综合卡、分辨率卡、线性卡及灰度卡等的主要性能参数及实际应用状况;说明了它们是电视摄象器件、部件及整机生产和使用部门的最简便最基本的检验工具。

关键词：摄象机传感器测试卡测试图彩色电视灰度极限分辨率透射式调制传递函数反差传递函数光学传递函数灰度等级

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放射影象技术中几个数学名词的物理意义

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中国医疗器械杂志 1979年第5期 33-39页

作者：何华昌上海第一人民医院放射科

(一)点布散函数、线布散函数和调制传递函数(影象质量)。 (二)迭代、反向投影、褶积和权以及富里埃变换(图象重建)。第一部分:影象质量近年来经常采用调制传递函数(MTF)这个名称,以评定X线影象系统的性能。这里以简单的曲线、图表形式,... 详细信息

(一)点布散函数、线布散函数和调制传递函数(影象质量)。 (二)迭代、反向投影、褶积和权以及富里埃变换(图象重建)。第一部分:影象质量近年来经常采用调制传递函数(MTF)这个名称,以评定X线影象系统的性能。这里以简单的曲线、图表形式,从点布散函数和线布散函数这两个概念出发,说明MTF的物理意义。 I、点布散函数(PSF)和线布散函数(LSF) PSF这个名称,起源于光学器件制造中,用来描述光学器件的特性。图1设在XY

关键词：图象重建 LSF PSF 褶积和影象质量反向投影调制传递函数反差传递函数光学传递函数投影矩阵物理意义

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媒体扫描

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激光与光电子学进展 2002年第8期 57-63页

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用多场累积技术改进热释电摄象管成象系统的性能

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红外研究 1983年第2期 103-110页

作者：黄铁侠华中工学院无线电系

用热释电摄象管构成的热象仪,按斩波调制方式工作时,利用信号的帧间相关性实行多场累积,能显著提高信噪比,从而提高温度分辨率和空间分辨率;降低最小可分辨温度。本文对多场累积的基本原理进行了讨论,导出了设计公式,提出了一种实施方案... 详细信息

用热释电摄象管构成的热象仪,按斩波调制方式工作时,利用信号的帧间相关性实行多场累积,能显著提高信噪比,从而提高温度分辨率和空间分辨率;降低最小可分辨温度。本文对多场累积的基本原理进行了讨论,导出了设计公式,提出了一种实施方案,并给出某些实验结果。

关键词：信噪比处理器空间分辨率温度分辨率信号噪声比空间分辨力热释电反差传递函数光学传递函数调制传递函数图象质量暗场空间频率场信号象差成像系统成象系统

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光学研究的现状和远景

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光学机械 1978年第3期 21-27页

作者：张联维

50年代在科学上似乎已成完局的成象光学,在最近几年中又经历了复兴期。从而真正开始了革命的发展阶段。由于在光学研究中使用了电子数据的处理。以激光做相干光源和新的介质。此外,根据科学仪器对光学提出的要求,即要有极高的分辨率和... 详细信息

50年代在科学上似乎已成完局的成象光学,在最近几年中又经历了复兴期。从而真正开始了革命的发展阶段。由于在光学研究中使用了电子数据的处理。以激光做相干光源和新的介质。此外,根据科学仪器对光学提出的要求,即要有极高的分辨率和对比度强的大象场无畸变的多色修正,而引起了光学的飞跃。1光学系统的自动(?)正装置大约直至1950年,光学系统的研究基础

关键词：显微物镜高分辨率分辨本领高分辨力风景透镜光学透镜消色差透镜图象质量象差光学系统物空间物方反差传递函数光学传递函数调制传递函数成象

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