检索结果-内蒙古大学图书馆

中国科学：信息科学 2015年第5期45卷 693-700页

作者：李新坤王飞飞梁德春金鹏王占国北京航天控制仪器研究所北京100039 中国航天科技集团公司量子工程技术研究中心北京100094 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室北京100083

本文设计了一套技术方案,用于制备量子传感仪表的核心物理组件芯片级铷原子气室,工艺流程包括微小型硅孔容器制备、叠氮化铷(Rb N3)填充、晶圆级气密封装,以及叠氮化铷光照分解等.利用阳极键合技术,通过改进的玻璃/硅片/玻璃三层晶圆气... 详细信息

本文设计了一套技术方案,用于制备量子传感仪表的核心物理组件芯片级铷原子气室,工艺流程包括微小型硅孔容器制备、叠氮化铷(Rb N3)填充、晶圆级气密封装,以及叠氮化铷光照分解等.利用阳极键合技术,通过改进的玻璃/硅片/玻璃三层晶圆气密封装工艺完成了芯片级铷原子池的封装制备.为实现玻璃/硅片/玻璃三层晶圆键合,在完成玻璃/硅片两层晶圆键合后,采用倾斜角度溅射的方法在玻璃/硅片键合结构的背面(即玻璃一面)和侧边镀制了一定厚度的Al金属膜,将电学接触引导至硅片,然后进行第二次阳极键合,以此获得高质量的玻璃/硅片/玻璃三层键合结构.通过显微镜、芯片剪切力测试和He检漏仪等手段对键合结构进行检测分析表明,三层键合结构的两个键合截面均具有良好的键合强度,键合结构的气密性优于2.5×10-8Pa·m3·s-1.完成气密封装后,采用光辐照分解的方法使腔室中的Rb N3分解成Rb和N2,获得了以N2作为缓冲气体的铷原子池.通过透射光谱表明Rb有效地存在于腔室之中,证明了该工艺方案对制备芯片级碱金属原子气室是简便可行的.

关键词：量子传感原子气室碱金属叠氮化铷阳极键合

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RbN_(3)分解时间对原子气室吸收光谱的影响

引用

计测技术 2023年第4期43卷 146-152页

作者：刘雅丽李维李昱东李小宽冯梁森李新良航空工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室北京100095

为了解决原子气室制备过程中碱金属原子定量填充难、稳定性差等问题,首先采用微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术,结合碱金属叠氮化物的光分解方法,通过深硅刻蚀、RbN_(3)溶液定量填充、两次阳极键合、紫外光辐... 详细信息

为了解决原子气室制备过程中碱金属原子定量填充难、稳定性差等问题,首先采用微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术,结合碱金属叠氮化物的光分解方法,通过深硅刻蚀、RbN_(3)溶液定量填充、两次阳极键合、紫外光辐照等工艺成功制备出不同RbN_(3)分解时间的原子气室,然后采用自行搭建的吸收光谱测试装置对不同RbN_(3)分解时间的原子气室进行测试,研究不同RbN_(3)分解时间对原子气室内Rb原子吸收峰强度、半高宽和频移的影响。实验结合理论分析发现:RbN_(3)分解时间为3.5 h时,Rb原子吸收峰强度最大,能够满足高质量原子气室制备的要求,为高质量原子气室的制备提供了重要技术借鉴,为推动基于MEMS原子气室的芯片化计量测试传感技术的发展奠定基础。

关键词：原子气室吸收光谱叠氮化铷半高宽频移

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高气密性芯片级原子气室的制备研究

引用

计测技术 2022年第4期42卷 51-56页

作者：刘雅丽李维李昱东李小宽冯梁森李新良航空工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室北京100095

高性能芯片级原子气室的制备是现阶段芯片级量子传感仪器研制急需解决的关键技术之一。为解决目前芯片级原子气室研制领域存在的碱金属定量填充难、气密性差等问题,开展了高气密性芯片级原子气室制备方法研究,利用微电子机械系统(MEMS)... 详细信息

高性能芯片级原子气室的制备是现阶段芯片级量子传感仪器研制急需解决的关键技术之一。为解决目前芯片级原子气室研制领域存在的碱金属定量填充难、气密性差等问题,开展了高气密性芯片级原子气室制备方法研究,利用微电子机械系统(MEMS)技术实现了芯片级原子气室的批量制备。采用深硅刻蚀技术制备硅气室腔,利用RbN的光分解实现碱金属单质的制备及定量填充,采用阳极键合技术对原子气室进行两次硅片/玻璃键合封装,成功获得了以N为缓冲气体的Rb碱金属原子气室。对所制备的原子气室进行键合强度、气密性、吸收光谱测试,结果表明原子气室的玻璃/硅片/玻璃键合强度均较高,其中B组原子气室的漏气率平均值为2.2×10^(-9)Pa·m^(3)·s^(-1),其气密性为目前行业内领先水平。最后从制备工艺上分析了两组原子气室的性能差异原因,为推动量子传感仪器的芯片级集成技术发展奠定重要基础。

关键词：芯片级原子气室芯片级传感器叠氮化铷阳极键合气密性

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