相较于传统的厚晶硅太阳能电池,薄晶硅太阳能电池凭借其高成本效益和电池柔性等显著特性,成为了未来技术发展的重要趋势。然而,至今,该领域的研究进展仍显著滞后于传统晶硅太阳能电池技术。为了促进效率的进一步提升,采纳并执行先进设计至关重要。
本文首先以钝化发射极及后表面电池(Passivated Emitter and Rear Cell,PERC)结构为基础,创新设计了一款20μm厚度的薄晶硅太阳能电池。在这种新型设计中,太阳能电池的前表面采用Si Ox/Si Nx/Si O2多层复合薄膜结构,以取代传统PERC电池中的单层Si Nx薄膜结构,同时在电池的后表面增设了一层Si Ox薄膜。为了进一步提升电池性能,还应用了选择性发射极(Selective Emitter,SE)技术和局部背表面场(Local Back Surface Field,LBSF)技术。这些设计和技术的综合应用,不仅优化了太阳能电池前表面的钝化效果,还显著增强了电池整体的光吸收性能。通过仿真计算和迭代优化过程,确定了前后表面薄膜层的最佳厚度,验证了所设计薄晶硅太阳能电池设计的可行性。在实验室环境下,成功制备了尺寸为3×3厘米的薄晶硅太阳能电池,并对其进行了全面的参数表征和深入分析,结果强有力地证明了所做出的创新设计在提升薄晶硅太阳能电池性能上的显著功效。与基准电池相比较,实现了短路电流密度Jsc从34.3增加至38.2 m A/cm2、开路电压Voc从632提升至684 m V,以及最优样品电池填充因子从76.2%增至80.8%,从而实现了从16.5%至21.1%的光电转换效率提升。
随后采用相同的优化策略,对180μm厚的PERC太阳能电池进行了光学及电学上的改进,主要包括减少晶硅层至140μm厚度,并对电池前后表面的钝化层及减反射膜进行了精细调整。通过仿真分析,本研究对电池在经过优化前后性能的变化进行了评估。仿真结果表明,尽管电池厚度从180μm减少至140μm,优化后的电池性能不仅未受影响,反而相比参考电池有所提升,光电转换效率从22.0%增加至22.3%。在电池组件级别的仿真分析进一步证明了这一点,优化后的组件最大输出功率提升至390W,较参考组件增加了14W。
现如今雪崩光电二极管(Avalanche Photo Diode, APD)在光通信、测距、激光系统中应用的越来越广泛。它具有尺寸小、内部增益高、频率响应快、电压低等优点。雪崩光电二极管器件性能主要受器件结构和使用材料影响,用于制备雪崩光电二极管的材料主要有锗(Ge)、硅(Si)和Ⅲ-Ⅴ族化合物。Ge可探测800nm~1700nm波长的光信号,Si可用于探测200nm~1100nm波长的光信号。基本的Si-APD非常适合应用在光接收机中,具有电容小、暗电流低和噪声小等优点。但是由于光的吸收率受Si材料禁带宽度的影响,Si-APD通常限制在800nm~900nm范围内使用,所以如何通过结构设计拓宽APD器件探测波长范围已成为现在APD的研究重点。本文首先在典型SACM型APD结构模型下,推导了耗尽区的电场分布。从光吸收理论出发,研究了从入射光子到碰撞电离过程最后到产生雪崩倍增电流的微观行为。推导器件量子效率计算公式。基于SilvacoTCAD半导体工艺模拟仿真软件,对器件结构进行定义,描述了器件材料模型和载流子迁移率模型。通过菲涅尔方程推导了表面增透膜材料、厚度需要满足的条件,探讨了单层抗反射膜和双层抗反射膜的区别,器件采用双层抗反射膜。给出了器件保护环对器件性能的影响,分析不同结构的保护环的工艺制备流程和优缺点,最后提出了高电场植入型和沟槽型结合的保护环结构。接着,基于SilvacoTCAD半导体工艺模拟仿真软件,通过Atlas模块进行模型构建,对SACM型Si-APD器件的结构特性和光学特性进行仿真,分析其在探测波长范围时的局限性。进而,提出了 一种提出了 一种改进型APD( Integrated APD with Si and Ge material,IASG)器件结构,然后对该IASG器件进行基本光电特性模拟,对比讨论IASG器件的优越性。这里调用碰撞电离模型,载流子间接复合模型,载流子迁移率模型及光照注入模型。最后,给出了该器件工艺加工的可行性流程。
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