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  • 1 篇 会议

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 计算机科学与技术...
    • 1 篇 软件工程

主题

  • 1 篇 三维工艺层模型
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 器件掩模综合
  • 1 篇 表面微加工

机构

  • 1 篇 华东理工大学
  • 1 篇 浙江大学

作者

  • 1 篇 高曙明
  • 1 篇 李建华
  • 1 篇 刘玉生

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=器件掩模综合"
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排序:
基于三维工艺层模型的表面微加工MEMS器件掩模综合
基于三维工艺层模型的表面微加工MEMS器件掩模综合
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第十四届计算机辅助设计与图形学学术会议
作者: 李建华 刘玉生 高曙明 华东理工大学计算机科学与工程系 上海200237 浙江大学CAD&CG国家重点实验室 浙江杭州310027
本文针对表面微加工技术,提出了一种基于三维工艺层模型生成包括多层腐蚀在内的掩模和工艺序列的新方法。首先,分析了包括多层腐蚀的各种表面微加工步骤的几何特性及其对掩模综合的作用;在掩模综合时,先将多层腐蚀的相关信息从三维工... 详细信息
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