检索结果-内蒙古大学图书馆

中国计量 2025年第3期 146-149页

作者：张顶厦门市计量检定测试院厦门市平板显示器件计量测试重点实验室

半导体材料的电阻率是半导体器件生产制造过程中的重要测量参数,四探针电阻率测试仪是测量半导体材料电阻率和方块电阻的主要测量器具,其测量不确定度的评定至关重要,而JJG 508-2004《四探针电阻率测试仪》并未对不确定度评定进行详细... 详细信息

半导体材料的电阻率是半导体器件生产制造过程中的重要测量参数,四探针电阻率测试仪是测量半导体材料电阻率和方块电阻的主要测量器具,其测量不确定度的评定至关重要,而JJG 508-2004《四探针电阻率测试仪》并未对不确定度评定进行详细说明。因此,文章分析了四探针电阻率测试仪影响测量结果的各个因素,并计算得到了合成标准不确定度和扩展不确定度,以提高测量结果的可靠性和准确性。

关键词：计量学四探针电阻率测试仪电阻率测量不确定度

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四探针电阻率测试仪电阻率参数的不确定度评定

引用

仪表技术 2011年第7期 38-39页

作者：卢春凤董亚峰上海市计量测试技术研究院上海201203 上海仪器仪表研究所上海200082

随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量提出了更高的要求,四探针电阻率测试仪作为测量电阻率参数的测量仪器被广大半导体元件生产企业广泛使用。文章分析了在校准过程中存在的不确定度来源并量化不确定度的分量,求出其合成不确定... 详细信息

随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量提出了更高的要求,四探针电阻率测试仪作为测量电阻率参数的测量仪器被广大半导体元件生产企业广泛使用。文章分析了在校准过程中存在的不确定度来源并量化不确定度的分量,求出其合成不确定度,确保四探针电阻率测试仪电阻率参数的校准更加准确。

关键词：四探针电阻率测试仪电阻率不确定度

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四探针电阻率测试仪示值基本误差的变通计量方法

引用

计量与测试技术 2009年第6期36卷 39-40页

作者：蔡卫平古建平深圳市计量质量检测研究院广东深圳518055

本文简要地介绍了在缺乏检定规程规定的设备情况下,利用方阻与等效四端电阻的比值关系,使用标准电阻对四探针电阻率测试仪示值基本误差进行校准的变通计量方法,绕开了对电阻率标准样片的依赖,利用标准电阻实现对四探针电阻率测试仪方阻... 详细信息

本文简要地介绍了在缺乏检定规程规定的设备情况下,利用方阻与等效四端电阻的比值关系,使用标准电阻对四探针电阻率测试仪示值基本误差进行校准的变通计量方法,绕开了对电阻率标准样片的依赖,利用标准电阻实现对四探针电阻率测试仪方阻示值误差的量值溯源。

关键词：四探针电阻率测试仪方阻仪方阻等效四端电阻标准电阻电阻率标准样片

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智能型双电测四探针测试仪研究

智能型双电测四探针测试仪研究

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作者：梁雪仪华南理工大学

学位级别：硕士

半导体材料的电阻率反映了补偿后的杂质浓度，与半导体中的载流子浓度有直接关系，它表征了半导体材料的导电性能、杂质分布，并可由此推算材料的迁移率，而这些特性决定了器件的工作速度和适用范围，这使得半导体材料可以制成各种分立... 详细信息

半导体材料的电阻率反映了补偿后的杂质浓度，与半导体中的载流子浓度有直接关系，它表征了半导体材料的导电性能、杂质分布，并可由此推算材料的迁移率，而这些特性决定了器件的工作速度和适用范围，这使得半导体材料可以制成各种分立电子元件、集成电路、太阳能电池、压力传感器、磁敏电阻、液晶显示器、高分子材料、以及各种新材料的基底材料，在现代社会的各个领域得以广泛应用。所以半导体材料的电阻率是半导体材料研究和集成电路生产中必须掌握的重要技术指标之一。四探针测量法是半导体电阻率的经典测试方法，它在测试中可以大大减少接触电阻的寄生效应，并且简便易行，适用性强，又有足够的测试精度，该技术自诞生以来一直是国内外半导体生产工艺和其他行业中应用最为广泛的工艺监控手段之一，四探针电阻率测试仪有着极其广阔的应用市场。近几年，随着电子信息时代的到来，半导体材料研究和集成电路生产技术受到世界各国的高度重视，研制新型的四探针电阻率测试仪势在必行。本文从研究常规直排四探针法和双电测直排四探针法测量半导体电阻率和薄层电阻的工作原理入手，深入研究了常规四探针法的边缘和厚度修正问题，并讨论两种方法各自的测准条件;然后根据双电测直排四探针法理论，设计了一种以8051单片机为核心，使用双电测直排四探针技术测量硅片薄层电阻的测试控制电路，详细分析了各电路模块的设计方案并完成各模块电路的调试;最后采用模块化结构，开展了测试仪软件设计，对各软件模块的功能和具体实现进行了说明，并给出了软件模块的流程图。本文采用的设计方案，A/D转换电路以高精度四位半CMOS双积分型A/D转换器为核心，通过合理设计外围电路，在A/D电路的工作范围内，转换相对误差达到0.3％左右，达到了高精度转换的目的。数字式恒流源采用分档输出的方式，输出电流值可通过外部设定，最小输出电流达到15μA左右，比现有的国产电阻率测试仪的恒流源的最低输出(100μA)降低了一个数量级，薄层电阻测试范围拓展到2000Ω/□以上，全部覆盖了权威测试标准ASTMl529-02所要求得测试范围。D/A转换电路在工作范围内达到了输出值与理论值的平均相对误差小于6％。8051单片机对测试量程切换、探针组态的控制也较好地满足了使用要求。

关键词：智能型半导体材料直排四探针四探针电阻率测试仪集成电路生产四探针法薄层电阻转换电路输出电流设计方案平均相对误差体电阻率软件模块技术工作范围测试范围材料研究应用恒流源高精度

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减少切片加工应力工艺的探讨

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上海金属.有色分册 1982年第1期 55-61页

作者：许志刚上海电子器材厂

减小硅片切割的加工应力,是半导体器件生产中的一重要环节。本文在定向切片,硅单晶压紧力影响,切割刀片选择和安装,以及晶棒的粘结方法,切割时冷却液的选择,冷却液位置的调节,四探针电阻率测试等方面进行了分析、讨论和工艺改进,在生产... 详细信息

减小硅片切割的加工应力,是半导体器件生产中的一重要环节。本文在定向切片,硅单晶压紧力影响,切割刀片选择和安装,以及晶棒的粘结方法,切割时冷却液的选择,冷却液位置的调节,四探针电阻率测试等方面进行了分析、讨论和工艺改进,在生产实践中对减小硅片切割中的机械应力和热应力取得了一定的效果。

关键词：硅片表面剥落裂纹高倍缺陷(金属) 蓄冷材料冷却液四探针电阻率测试仪晶向偏离刀片硅单晶片

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