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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 1 篇 基于绝缘体上硅p型...
  • 1 篇 辐照传感器
  • 1 篇 剂量计

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 中国科学院新疆理...
  • 1 篇 中国科学院微电子...

作者

  • 1 篇 刘海涛
  • 1 篇 刘许强
  • 1 篇 郑齐文
  • 1 篇 何承发
  • 1 篇 郭旗
  • 1 篇 孙静
  • 1 篇 崔江维
  • 1 篇 刘梦新

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=基于绝缘体上硅P型金属氧化物半导体场效应晶体管"
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排序:
基于SOI结构的辐照传感器的辐照响应特性研究
收藏 引用
核技术 2019年 第12期42卷 43-48页
作者: 孙静 郭旗 郑齐文 崔江维 何承发 刘海涛 刘许强 刘梦新 中国科学院新疆理化技术研究所中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器件重点实验室 乌鲁木齐830011 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 绵阳621999 中国科学院微电子研究所 北京100049
绝缘体埋氧层(Silicon-On-Insulator Buried Oxide,SOI BOX)p金属氧化物半导体场效应晶体管(positive channel Metal Oxide Semiconductor,pMOS)是用于新高灵敏度辐射探测仪的一种关键器件。通过试验研究了SOI BOX pMOS的辐照... 详细信息
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